【課題】 電界放出型電子源の寿命を延長するために、拡散補給源であるジルコニアの容積あるいは、重量を増すと、拡散補給源自体やタングステン針にダメージを与えやすくなるという課題がある。更なる課題として、上記課題を避けるために拡散補給源を薄膜で形成することも考えられるが、８，０００時間を越える実用的な寿命を安定して得ることは困難である。
【解決手段】 拡散補給源の欠けや割れがなく、少量の拡散補給源の増量で寿命を延長可能な電界放出型電子源を提供し、８，０００時間を越える実用的な寿命を安定して得ることを明らかにした。 （もっと読む）

【課題】冷電極を用いてシート状のビームを発生させることのできる、シート状ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】平板型電極１と、接地電極７と、平板型電極１と接地電極７との間に電圧を印加する電源３と、平板型電極１と接地電極７が収容される真空容器４と、真空容器４の外部に設けられ平板型電極１から発生する粒子ビームを誘導する磁場を発生させる磁場発生コイル６とを備えた。平板型電極１の表面に粒子ビームを発生させるための粒子ビーム発生部２を形成した。粒子ビーム発生部２は略均一の粗さを有する。 （もっと読む）

【課題】簡便にパルス光を整形することができるパルス整形装置、パルス整形方法、及びそれを用いた電子銃を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかるパルス整形装置は、パルス光の直交する偏光成分間に時間遅延を与える複屈折素子１２３と、複屈折素子１２３からのパルス光のパルス形状を調整する可変ミラー４０と、複屈折素子１２３から出射したパルス光の直交する偏光成分の一方を他方の偏光成分から取り出すＰＢＳ１２５と、可変ミラー４０によりパルス形状を調整するために、ＰＢＳ１２５によって取り出された一方の偏光成分に応じた測定を行うビームモニタ５５と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】放出電流が安定で低雑音の電子顕微鏡用の冷陰極電界放出型電子源を提供する。
【解決手段】冷陰極電界放出型エミッタ先端５０３の後方に配置された開口５５４を有するエミッタ包囲電極５５２と、引出電極５０８とにより閉空間を形成し、閉空間の内部に配置された円形フィラメント５３０を加熱する事により放出される電子５２０による衝撃と熱的励起により、引出電極５０８とエミッタ包囲電極５５２の吸着物質５２２、５２６を離脱させ、ギャップ５６０より排気し除去する。 （もっと読む）

【課題】低コストで分割数の多い偏光ビームに変換することができる偏光ビーム変換素子、及びそれを用いた偏光ビーム変換方法、電子銃、ビーム測定装置、電子発生方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる偏光ビーム変換素子は、第１の波長板１０には、４分割された分割領域１１〜１４が設けられ、分割領域１１〜１４のそれぞれにλ／８板が設けられ、λ／８板の軸方位が、隣接する２つの分割領域では略直交しており、かつ対向する２つの分割領域では略平行であり、第２の波長板２０には、４分割された分割領域２１〜２４が設けられ、分割領域２１〜２４のそれぞれにλ／４板が配置され、λ／４板の軸方位が、隣接する２つの分割領域では略直交しており、かつ対向する２つの分割領域では略平行であり、分割領域のそれぞれがずれて配置され、λ／８板とλ／４板の軸方位がずれているものである。 （もっと読む）

【課題】磁場界浸型Cold-FE電子銃において、長時間の観察においても電子銃や電子光学系の再調整の必要が無く、効率のよい観察を可能とする。
【解決手段】永久磁石を備えた磁路を持ち収束作用を有する磁石レンズ１２０と電子源１０１を備える電子銃１の周辺または内部にゲッターポンプ１６aを備えることで電源を必要とする真空ポンプの設置を不要とし、電子銃１内部の真空度を高く維持する事により、電子源１０１を清浄化しプローブ電流の回復機能を持たせ、電子光学系の再調整を不要とする。 （もっと読む）

【課題】ブランカを用いない光スイッチング電子源及びそれを用いた電子線描画装置を提供する。
【解決手段】光スイッチング電子源１は、光源２と、光源２からの断続光が照射されることで電子を発生する電子発生部３と、を備え、電子発生部３は、光励起によって電子を発生する電子源９と、電子源から電子を引き出す電極７と、電子を引き出す電源８と、を備えている。電子源９は、ｐｎ接合又はｐｉｎ接合９ａ等を用いることができ、ｐｎ接合９ａｐ層６ａ又はｎ層６ｂが突起形状を有していてもよい。ｐｎ接合９ａがアレイ状に配設されていれば、複数の電子線１２を発生することができる。さらに、電子発生部３の電子出射側に電子線整形部４が配設されていてもよい。電子線整形部４は、アインツェルレンズ４１と、アインツェルレンズ用電源１１と、から構成することができる。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム発生装置及びこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置方法は、カソード；カソードが一側開口部に結合されて内側に共振空洞が設けられたハウジング；及び、カソードとハウジングとの間に設けられ、カソードとハウジングとの間の結合強度に応じて圧縮され、共振空洞を外部と遮断するガスケット；を含む。前記共振空洞は、互いに連結されている第１の共振空洞と第２の共振空洞を含み、前記第１の共振空洞と前記第２の共振空洞は、前記カソードで発生された電子ビームが放出される方向に配列される。 （もっと読む）

【課題】Ｗ（３１０）面からの放出電流の減衰の仕方の特徴を用いて、電界放出型電子源をより安定して使う方法の開示を目的とする。
【課題手段】本発明では、タングステンの＜３１０＞単結晶からなる電界放出電子源と、当該電子源が配置される真空室と、前記真空室を排気する排気系と、前記電子源と接続され、電流を流して前記電子源を加熱するフィラメントと、当該フィラメントに電流を流す電源と、当該電子源から放出される総電流量を測定する電流計と、を備える荷電粒子線装置であって、前記総電流量を定期的に測定し、当該総電流量が、最初の電子線放出直後の前記電子源からの総電流量、または前記フィラメントに電流を流した直後の前記電子線からの総電流量に対して所定の比率以下になったときに、前記電源が前記フィラメントに電流を流すように制御する制御部を備えることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】現用のＺｒ／Ｏ／Ｗ電子源よりも電子放出面の仕事関数を減少させ、狭エネルギー幅かつ高電流密度の放出電子が得られ、長寿命な電子源を提供し、高分解能像が短時間に得られる電子顕微鏡や高スループットな電子線描画装置を実現する。
【解決手段】先端を針状にした金属からなる針状電極１０４と、前記針状電極を加熱する発熱体１０３からなる電子源において、前記電子源は前記発熱体により加熱可能な拡散源を有し、酸素を含むバリウム化合物と炭素粒子の混合物を拡散源１０６とする。 （もっと読む）

【課題】ベローズを用いることなく、光電面を所定の位置まで移動させることができるようにして、光電面の移動可能な距離を長くし、また、コストを低減し、装置の小型化を図ることができる電子線発生装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る電子線発生装置１は、光電面収容カートリッジ２と、膜破り器３２と、カソードプラグ移動用ロッド３とを備えている。光電面収容カートリッジ２は筒状部材であり、この筒状部材の開口部には、封止膜１５，１６が取付けられている。この筒状部材内には、カソードプラグ保持用リング１１が取り付けられていて、光電面を取付けたカソードプラグ１０がカソードプラグ保持用リング１１に保持されている。カソードプラグ１０とカソードプラグ移動用ロッド３には両者を結合する結合手段が設けられていて、カソードプラグ１０はカソードプラグ移動用ロッド３を用いて光電面収容カートリッジ２から取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】電子ビームのエミッタンスを減少させることができる電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置は、電子ビームが生成される後面部と、生成された電子ビームが外部に排出されるように電子ビーム排出ホールが形成された前面部と、後面部と前面部を連結する側面部と、を含み、側面部には第１のホールが形成され、第１のホールにより誘発される電場不均衡を減少させるように第１のホールと向かい合う反対側側面部に第２のホールが形成されたハウジング、及び第１のホールを介してハウジング内部に電磁気波を供給するように側面部に設置されるウェーブガードを含み、ハウジング内部に入射されたレーザーによって電子ビームが生成され、ハウジング内部に供給された電磁気波によって電子ビームが加速される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低収差の冷陰極型電子銃を提供することで、大電流においても高輝度の電子銃を提供することを目的とする。
【課題手段】本発明は、電子線を陰極から引き出し、引き出された電子線を収束する電界放出型電子銃において、レンズ磁界中に陰極が配置されるように磁場レンズを備え、陰極から電子を引き出すための引出電極を、絞り構造のない円筒形で構成したことを特徴とする。
【効果】本発明によれば、磁場を用いて電子線を収束する機能を持つ電子銃において、付随して発生する静電レンズ作用を低減し、収差が少なく輝度が高い電子銃を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】偏極電子ビームを簡便に発生させることができる偏極電子銃、偏極電子線の発生方法、電子銃の評価方法、及び逆光電子分光方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる偏極電子銃は、レーザ光源１１と、レーザ光源からの光を分岐する光分岐手段１２と、光分岐手段１２で分岐された一方のレーザ光に入射位置に応じた位相差を与える偏光変換素子３６と、偏光変換素子３６を介して入射した一方のレーザ光を集光するレンズ１８と、レンズ１８によって集光された一方のレーザ光が他方のレーザ光と同期して入射する半導体のフォトカソード２１と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡や加速器に用いることができる、磁気特性の耐久性に優れて、且つ、室温動作可能なスピン偏極電子源を提供する。
【解決手段】スピン偏極電子源として、フェリ磁性体の酸化鉄ウィスカーを用いる。特には、当該フェリ磁性体の酸化鉄の種類が、マグネタイト又はマグヘマイトであり、ウィスカーの直径が、１０ｎｍ〜２μｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エミッション電流の長期的な安定化が可能で、高歩留まりな電子放出素子，電子銃、それを用いた電子顕微鏡装置及び電子線描画装置を提供する。
【解決手段】電子放出素子は、炭素と化合物を形成する金属元素を少なくとも１つ含有する金属基材の表面の少なくとも一部に、グラフェン構造の炭素被膜２０７を有している。また、電子放出素子は、炭化物層あるいは炭素−金属固溶体層を有する金属基材の表面の少なくとも一部に、グラフェン構造の炭素被膜を有している。 （もっと読む）

【課題】
簡便に電子ビームの高品質化を図ることができる電子銃、電子顕微鏡、及び電子発生方法を提供する。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる電子銃１００は、レーザ光が入射してきた方向に向けて電子を放出する電子銃であって、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光が入射し、入射光が全反射を繰り返しながら内部を伝播する中空の導光部材と、前記導光部材から出射した光を屈折する中空のレンズと、前記レンズによって屈折されたレーザ光が入射するフォトカソードと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】
タンパク質等の高分子構造におけるカイラリティ分布や、磁区構造の解析を高分解能で行うことが可能な走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
レーザー201と半導体202を備えたスピン偏極電子源等を搭載した走査電子顕微鏡を用いて、スピン偏極電子線203を照射した試料208からの反射電子209の強度やスピン偏極度を反射電子検出器210などを用いて測定することにより、試料208内部の高分子のカイラリティ構造や磁化ベクトルを可視化することができる。 （もっと読む）

【課題】基板、バッファ層、歪み超格子層の材料選択の自由度を持たせた状態で、スピン偏極度と外部量子効率の高いスピン偏極電子発生素子を実現すること。
【解決手段】基板と、バッファ層と、バッファ層上に形成された歪み超格子層とを有するスピン偏極電子発生素子において、基板とバッファ層との間に、バッファ層を構成する結晶の格子定数よりも大きな格子定数を有する結晶から成る中間層を介在させた。これにより、バッファ層には、引張歪みにより基板に垂直な方向へのクラックが発生し、モザイク状となる。この結果、バッファ層上に成長させる歪み超格子層には、斜め方向の滑り転位が伝播しないために、歪み超格子層の結晶性が改善される。この結果、励起される電子のスピン偏極度と偏極電子の外部量子効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】エミッタ表面を有する冷陰極電界エミッタを含む荷電粒子ビーム照射デバイス、特に電子ビーム照射デバイスを動作する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、（ａ）所与の引き出し電界下で高い初期照射電流と低い安定平均照射電流とを示す冷陰極電界エミッタを真空中に配置する段階と、（ｂ）エミッタ表面から電子を照射するために冷陰極電界エミッタに引き出し電界を印加して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射電流よりも高くなるようにする段階と、（ｃ）少なくとも１つの加熱パルスを印加してエミッタ表面を温度にまで加熱することにより清浄化処理を行い、清浄化処理は、冷陰極電界エミッタの照射電流が低い安定平均照射値にまで低下する前に行われるようにする段階と、（ｄ）清浄化処理（ｃ）を繰返して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射値を連続的に上回るように維持する段階とを含む。 （もっと読む）