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Fターム[5C030DE03]の内容

電子源、イオン源 (2,387) | プラズマイオン源の細部 (483) | 放電室 (155) | ホローカソード (4)

Fターム[5C030DE03]に分類される特許

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【課題】放電の開始(点火)を容易にする宇宙機用ホローカソードを提供すること。
【解決手段】キーパ電極板6に対面する先端部が、ナノカーボンの微小突起群構造、微細加工技術による微細突起(群)構造、電気伝導体と電気絶縁体が交互に隣接した複合部材、あるいは放電等の作用により自発的にナノカーボン構造が形成・維持されるカーボン系材料または熱電子放出特性に優れたカーボン系材料で構成された部材を放電開始促進板A〜E31,32,33,34,35としてオリフィス板4の下流側に取り付ける。
または、オリフィス板4自体を、キーパ電極板6に対面する先端部が上記微細突起(群)構造、電気伝導体と電気絶縁体が交互に隣接した上記複合部材、あるいは放電等の作用により自発的にナノカーボン構造が形成されるカーボン系材料または熱電子放出特性に優れたカーボン系材料によって成形する。 (もっと読む)


【課題】ホローカソード内のインサート材の交換が効率的に行えるホローカソード型放電管を提供する。
【解決手段】ホローカソード型放電管100は、カソードパイプ201と、放電ガス放出用の開口202Bが前端面202Aに形成されたカソードキャップ202と、の接続により構成されてホローカソード200と、前端面202Aに対向して配置され、開口202Bの中心軸S上にアノード穴302Aが形成されたアノード電極302と、ホローカソード200が内部を延びている筒状のアノードケーシング301と、接続部SPに配されたインサート材203と、を備える。そして、開口202Bとアノード穴302Aとの間で放電ガスによる放電が行われる。また、インサート材203が、接続部SPを構成するホローカソード200の筒状の内壁内から延びて、ホローカソード200の筒状の外壁と平行に、上記内壁外に突出している。 (もっと読む)


【課題】 長期にわたって正常な動作を行うことができるガスクラスターイオンビーム照射装置を提供する。
【解決手段】 照射装置50は、ガスクラスターを生成すると共にそのガスクラスターを被加工物10に向けて照射する手段としてガスクラスター生成室2およびノズル3を有している。ノズル3から噴射されたガスクラスター群はスキマー4を通過する際にビーム状のガスクラスター流8とされる。ガスクラスター流8に対しては電子銃12から電子が照射されるように構成されており、これによりガスクラスター流内のガスクラスターがイオン化される。 (もっと読む)


【課題】 放電開始後のホローカソードの暴走を防止することができるとともに、電源構成を簡素化して、低コスト化や小型化や軽量化を図ることができるホローカソードキーパ電源を得ることを目的とする。
【解決手段】 ホローカソード18が放電を開始するまでの間、電源回路5から定電圧がホローカソード18に印加されるようにスイッチング素子3を制御し、ホローカソード18が放電を開始すると、電源回路5から定電流がホローカソード18に流れるようにスイッチング素子3を制御する制御回路17を設ける。 (もっと読む)


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