【目的】マルチビーム形成アパーチャによって散乱した荷電粒子によるブランキング偏向器アレイへの帯電とコンタミ成長を抑制する装置を提供することを目的とする。
【構成】描画装置１００は、荷電粒子ビームを放出する電子銃２０１と、マルチビームを形成するマルチビーム形成アパーチャ部材２０３と、マルチビームのうち、それぞれ対応するビームのブランキング偏向を行う複数のブランカーが配置されたブランキングプレート２０４と、マルチビーム形成アパーチャ部材２０３とブランキングプレート２０４との間に配置された、電磁レンズ２１２，２１４と、電磁レンズ２１２，２１４の間であってマルチビームの集束点位置に配置され、集束点から外れた荷電粒子の通過を制限する制限アパーチャ部材２１６と、複数のブランカーによってビームｏｆｆの状態になるように偏向された各ビームを遮蔽する制限アパーチャ部材２０６と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】使い勝手良く試料を荷電粒子技術及び光学技術にて的確に検査又は観察することが可能な検査装置、観察装置が提供される。
【解決手段】荷電粒子照射部から放出された一次荷電粒子線が試料に到達する間の少なくとも一部の領域となる真空状態に維持可能な第一空間の少なくとも一部を形成する第一の筐体と、該第一筐体に具備され前記試料を格納可能な第二空間の少なくとも一部を形成する第二筐体と、前記荷電粒子照射部から照射された一次荷電粒子線が試料上に照射する際の前記荷電粒子照射部の同軸上に配置され、前記第一空間と前記第二空間とを隔てる隔壁部と、前記試料に対し光を照射し、前記荷電粒子照射部と同方向から前記試料からの光を検出する光学式観察部と、を備える検査又は観察装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】 本願の目的は、ゲッタポンプを用いて荷電粒子源周辺を排気する構成において、荷電粒子源駆動中の排気性能の低下を抑制する。
【解決手段】 荷電粒子線の成形を行うアパーチャであって、前記アパーチャは表面に非蒸発型ゲッタポンプを有し、前記非蒸発型ゲッタポンプが前記荷電粒子線の照射を受ける位置に設置される。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡装置を操作するための使用しやすいユーザ・インタフェースを提供すること。
【解決手段】低倍率基準画像と高倍率画像とを同一スクリーン上で組み合わせて、電子顕微鏡の高倍率画像に慣れていないユーザが、サンプル上のどこで画像が得られているかを容易に判断し、その画像とサンプルの残りとの関係を理解できるようにする走査型電子顕微鏡装置を操作するためのユーザ・インタフェース。タッチ・スクリーンを介してユーザが指示を入力することにより、電子画像の視野を変えてサンプルの異なる画像を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】不純物導入層形成装置の静電チャックの性能劣化を抑制する。
【解決手段】静電チャック保護方法は、真空環境で揮発性を有する物質を含む異物の付着を妨げるための保護表面２３を、露出されたチャック面１３に提供することと、チャック面１３に静電吸着された基板Ｗに、真空環境で揮発性を有する物質を含む表層を形成するプロセスを実行するために、保護表面２３を解除することと、を含む。保護表面２３は、チャック面を取りまく真空環境に低真空排気運転を実施しているときに提供されてもよい。 （もっと読む）

【課題】試料の周囲を低真空に保持し、且つ、試料の周囲の構造が簡単な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置は、試料を支持する試料ステージと、荷電粒子線源からの荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子線光学系と、該荷電粒子線光学系を収納する荷電粒子線カラムと、前記荷電粒子線カラムに設けられた第１の差動排気用絞りと、該第１の差動排気用絞りを介して前記荷電粒子線カラムに接続するように配置された前試料室と、前記前試料室に設けられた第２の差動排気用絞りと、前記荷電粒子線カラムを真空排気する第１の真空ポンプと、前記前試料室を真空排気する第２の真空ポンプと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 真空室内のデバイスに高速かつ大量に信号を伝送するにあたり、該デバイスへの熱の流入の少なさの点で有利な技術を提供する。
【解決手段】 複数の荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置は、減圧室に配置され、前記複数の荷電粒子線をそれぞれブランキングするブランキング偏向器と、前記減圧室より気圧の高い外部室に配置され、前記ブランキング偏向器を制御するためのデバイスと、第１基板と、を備える。前記第１基板は、前記減圧室と前記外部室とを仕切る隔壁を構成し、かつ、該隔壁となる領域に形成された貫通孔に充填された電極を含む。前記デバイスは、前記電極を介して前記ブランキング偏向器と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】
ガス電界電離イオン源において，真空粗引き時のコンダクタンス増大化とイオンの大電流化の観点からの引き出し電極穴の小径化とを両立する。
【解決手段】
電界電離イオン源１において，ガス分子イオン化室１５を真空排気するコンダクタンスを可変とする機構を備える。すなわち、ガス分子イオン化室１５からイオンビームを引き出す時と，引き出さない時で，ガス分子イオン化室１５を真空排気するコンダクタンスを可変とする。このコンダクタンスを可変とする機構を構成する部材の一部であるふた３２を、バイメタル合金で形成することにより、ガス分子イオン化室１５の温度に対してコンダクタンスが可変となり、比較低温ではコンダクタンスが比較小となり，比較高温ではコンダクタンスが比較大となる。 （もっと読む）

【課題】高真空と低真空を切り替え自在な真空排気系を備えた卓上型電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】バックポンプ（補助排気ポンプ）で、本来とは別の空間を真空排気し、その真空の力により、シャフトがスライドする仕掛けを用意し、さらに同シャフトがスライドすることで別のシャフトが回転するような仕掛けを用意し、最終的にはシャフトの回転から、高真空側と低真空側の２つのバルブを切り替えられるような手法を取る。
【効果】試料室の真空状態を二段階に切り替え可能な卓上型顕微鏡を実現できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料ホルダの排気方法及び装置に関し、大気暴露を確実に防止したままで鏡筒に試料を挿入することができる試料ホルダの排気方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料を顕微鏡の鏡筒に挿入する試料ホルダシステムにおいて、真空排気シーケンスを制御するための排気制御手段を設け、該排気制御手段により前記気密室の気圧が一定の状態で、ゴニオメータ内を真空引きしてその内部が所定の低真空状態になるまで排気し、その内部が所定の低真空状態になったら、前記排気制御手段により前記気密室の仕切り弁を開いて気密室を前記低真空状態にし、その後、前記排気制御手段により前記ゴニオメータ及び気密室を高真空状態にし、その後、試料をゴニオメータの先端部まで移送して鏡筒に試料ホルダを挿入するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物に加工を施すことなく現状状態そのままでの観察を可能とする走査型電子顕微鏡の提供。
【解決手段】 鏡筒の開口先端部に観察対象物と接触させるシール部材を設け、真空ポンプにより鏡筒内が真空に引かれた場合にシール部材を介して当該鏡筒に観察対象物を吸着させ、鏡筒を観察対象物に直接接触させた状態で密着固定するようにした。すなわち、試料室がないかわりに吸着により観察対象物と鏡筒とが相対的に移動しないように密着固定させる。こうすると、試料室がないにも関わらず、鏡筒内を真空状態に確保することができ、また振動により鏡筒と観察対象物とは相対的に移動しないことから観察時の悪影響が生じない。こうして鏡筒を観察対象物に対し直接マウントすることで、従来では試料室に入りきらない観察対象物であっても加工を施すことなく現状状態そのままで観察を行うことができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームを試料に照射してミリングを行う際、試料におけるイオンビームの照射面を直接冷却することができるイオンミリング装置とイオンミリング方法とを提供する。
【解決手段】試料Sが設置される試料台1と、試料Sに照射するイオンビームを発生させるイオン源2と、試料台1の収納空間を所定の真空に保持する試料チャンバ3と、試料Sを冷却するための気体冷媒を試料チャンバ3内に供給する冷媒供給手段5とを備えるイオンミリング装置である。気体冷媒を試料チャンバ内に供給することで、試料Sにおけるイオンビームの照射面を直接気体冷媒で冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は除振機構に関し、装置の高さを増やすことなく、除振性能を向上させることができる除振機構を提供することを目的としている。
【解決手段】 精密装置で、ターボポンプ等の振動発生を伴う装置を利用する時に必要とされる除振機構であって、２段以上のダンパを直列構成で用いる真空シール用ベローズを利用するものにおいて、前記ベローズを同心状に配置する構成と、真空圧による力を支持するゴム部材の一方を除振対象の外側に配置する構成と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】大型試料も観察可能で、しかも小型試料の観察を行う場合にあっては、試料観察開始の待ち時間の短縮をはかることができる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】対物レンズ下部に小型試料観察用の空間制限機構３０を設けて、小型試料又は大型試料の試料観察に対応して、試料室４内で空間制限機構３０の内部空間３６を狭小空間として画成して空間制限機構３０の周囲の試料室４内の空間に対して密閉し、排気シーケンスを切り替えて試料室４内の空間制限機構３０の内部空間３６だけを真空排気する。 （もっと読む）

【課題】２個のＯリングからなる二重シール構造のＯリング間の真空引きを低コストに行うことのできる電子線装置を提供する。
【解決手段】電子銃部１６を排気するための第１の真空ポンプＲＰ２と、試料室１２を排気するための第２の真空ポンプＤＰとを設けると共に、電子銃部１６の開閉箇所をシールする二重シール構造の二重Ｏリング空間Ｓ１と第１の真空ポンプＲＰ２を繋ぐ第１の排気経路Ｄ７、Ｄ４と、二重Ｏリング空間Ｓ１と試料室１２を繋ぐ第２の排気経路Ｄ６とを設け、電子銃部１６を開放する際には、第２の排気経路Ｄ６を遮断し、電子銃部１６の閉鎖直後は、第１の排気経路Ｄ７、Ｄ４を連通させて二重Ｏリング空間Ｓ１及び電子銃部１６を第１の真空ポンプＲＰ２で粗引きし、その後、第１の排気経路Ｄ７、Ｄ４を遮断して第２の排気経路Ｄ６を連通させ、二重Ｏリング空間Ｓ１を試料室１２経由で第２の真空ポンプＤＰにより排気する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料交換から観察までのスループット向上を図ると共に、電子ビーム照射時には、必要なプローブ電流量が得られるようオリフィス径を従来より拡大することができる排気システムを備えた低真空電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】上記目標を達成するために本発明は、電子銃と、当該電子銃から放出された電子線が照射される試料が配置される試料室と、前記電子銃を含む電子銃室、及び前記試料室を真空排気する排気システムを備えた電子顕微鏡において、電子銃室と試料室の間に電子線が通過する複数の中間室を有し、当該複数の中間室の間の開口部にバルブを有し、前記バルブより試料室側の中間室及び試料室の圧力が、前記バルブより電子源側の中間室及び電子銃室の圧力より高くなるように排気する排気システムを有することを特徴とする電子顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、導入ガスを整流し効率よく排気する機構を備えた走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明では、電子源と、前記電子源から放出する一次電子線を収束するための収束レンズと、前記一次電子線を観察試料上にフォーカスするための対物レンズと、前記一次電子線の照射によって試料から発生した二次電子を検出する検出器によって構成される走査電子顕微鏡において、前記試料にガスを噴射するガス導入部と、当該噴射されたガスを排気する排気管を備え、当該排気管は、前記試料に衝突したガスを排気管内で整流するガス整流機構を有することを特徴とする走査電子顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】電子線鏡筒の先端部からの絞り部材の着脱動作を、単純な動作及び簡易な機構によって自動的に行うことのできる電子線装置を提供する。
【解決手段】基端側に位置する電子線源から放出された電子線５を先端側から放出する電子線鏡筒１と、電子線鏡筒１の先端側に接続された試料室２と、試料室２内において、電子線鏡筒１の先端部に着脱可能に配置される絞り部材とを備えた電子線装置において、電子線５の進行方向に沿う所定の平面に沿って絞り部材を回動動作させ、これにより電子線鏡筒１の先端部に対して絞り部材を着脱可能とするための回動機構２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。 （もっと読む）