【課題】電子線を走査して試料を観察するにあたって、高い分解能を有するとともに、電子線の走査に要する時間を短くできる試料観察装置を提供する。
【解決手段】ステージに載置された試料ＳＭに電子線ＩＢを照射して、試料ＳＭからの電子線を検出することにより試料を観察する電子線検査装置に於いて、１つの電子筒体５０は、試料ＳＭに照射される複数の電子線ＩＢ及び試料ＳＭからの電子線が通る電子線路を形成する複数の電子線照射検出系により構成される。ここで、複数の電子線照射検出系を同時に用いることで、検査の高速化を実現する。 （もっと読む）

【課題】低プローブ電流であっても、反射電子と二次電子とを弁別検出できる低加速の走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
電子銃２９と、アパ−チャ２６と、試料台３と、電子線３１を試料２上に収束するための電子光学系４−１と、偏向手段１０と、二次電子検出器８、反射電子検出器９と、電子銃２９と試料２の間となる位置に筒状の電子輸送手段５を備え、反射電子検出器９は電子輸送手段５の内部であって、二次電子検出器８及び偏向手段１０よりも電子銃２９に対して遠方側に設置され、反射電子検出器９の感受面９−１は電子輸送手段５と同電位となるように電気的に配線されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、SEM用の複合静電/磁気対物レンズ内に設けられた鏡筒内後方散乱電子検出器に関する。
【解決手段】 当該検出器は、荷電粒子に敏感な表面−好適には静電集束場を生成する電極面(110)の1つとして機能するシンチレータディスク(406)−として形成される。前記シンチレータ内で生成された光子は、光子検出器(202,408)−たとえばフォトダイオード又は多画素光子検出器−によって検出される。前記対物レンズには、軸付近に保持される2次電子を検出する他の電子検出器(116)が備えられて良い。導光体(204,404)が、前記光子検出器とシンチレータとの間での電気的絶縁を供するのに用いられて良い。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物に加工を施すことなく現状状態そのままでの観察を可能とする走査型電子顕微鏡の提供。
【解決手段】 鏡筒の開口先端部に観察対象物と接触させるシール部材を設け、真空ポンプにより鏡筒内が真空に引かれた場合にシール部材を介して当該鏡筒に観察対象物を吸着させ、鏡筒を観察対象物に直接接触させた状態で密着固定するようにした。すなわち、試料室がないかわりに吸着により観察対象物と鏡筒とが相対的に移動しないように密着固定させる。こうすると、試料室がないにも関わらず、鏡筒内を真空状態に確保することができ、また振動により鏡筒と観察対象物とは相対的に移動しないことから観察時の悪影響が生じない。こうして鏡筒を観察対象物に対し直接マウントすることで、従来では試料室に入りきらない観察対象物であっても加工を施すことなく現状状態そのままで観察を行うことができるようになる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルを提供すること。
【解決手段】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルは、Ｘ−Ｙステージ上に取り付けられたセルと集束カラムの光軸との間の相対運動を可能にし、それによってセル内に副ステージを配置する必要性を排除する。後退可能な蓋などの柔軟なセル構成は、ビーム誘起プロセスおよび熱誘起プロセスを含むさまざまなプロセスを可能にする。荷電粒子ビーム・システム内において光電子のガス・カスケード増幅を使用して実行される光子収率分光法は、セル内の材料の分析およびセル内の処理の監視を可能にする。後退可能な鏡を使用してルミネセンス分析を実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】 正イオン及び負イオンの検出効率を向上させることができるイオン検出装置を提供する。
【解決手段】 イオン検出装置１は、正イオン及び負イオンを進入させるイオン進入口３が設けられたチャンバ２と、チャンバ２内に配置され、負電位が印加されるコンバージョンダイノード８と、チャンバ２内に配置され、コンバージョンダイノード８と対向しかつコンバージョンダイノード８から放出された二次電子が入射する電子入射面１１ａを有するシンチレータ１１と、電子入射面１１ａに形成され、正電位が印加される導電層１３と、二次電子の入射に応じてシンチレータ１１で発せられた光を検出する光電子増倍管１５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折格子により回折させてイメージセンサでスペクトルを採取するシステムにおいて、幅広いエネルギー領域の測定を行う。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子と、前記回折Ｘ線のエネルギー分散方向と直交方向の複数の位置に前記回折Ｘ線の結像面を振り分けるように前記回折Ｘ線の進行を振り分けるスプリッタと、前記スプリッタにより振り分けられた複数の結像面のそれぞれに配置された異なるエネルギー感度特性の複数のイメージセンサと、を有する。 （もっと読む）

【課題】走査電子像と光学像との同時観察が可能であり、而も構造も簡単な電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを走査する走査手段１０と、電子ビームが走査された試料８から発せられる電子１１を検出する電子検出器１２を有し、該電子検出器からの検出結果に基づき走査電子像を得る走査型電子顕微鏡２と、照明光を射出する発光源１３を有し、試料に照明光を照射して該試料からの反射光を受光して光学像を得る光学顕微鏡３とを具備し、前記電子検出器は電子／光変換する蛍光体層と、該蛍光体層からの蛍光の波長帯域の全て或は略全てが透過する様に制限した波長フィルタと、該波長フィルタを透過した前記蛍光を受光し、光／電気変換する波長検出素子を有し、前記照明光の前記波長フィルタを透過する波長帯域の光量が前記走査電子像の劣化限度を超えない様にした。 （もっと読む）

【課題】試料像の取得時における分解能の低下をもたらすことなく、試料からの低角度放出反射電子の検出を効率良く行う。
【解決手段】走査電子顕微鏡は、電子線を放出する電子線源と、電子線源から放出された電子線を試料上で集束させるための対物レンズと、集束した電子線を試料上で走査するための走査偏向器と、電子線源からの電子線が通過するインナーチューブとを備え、インナーチューブの内壁に第１のシンチレータを設けるとともに、電子線の走査に応じて試料から発生する第１の被検出電子が第１のシンチレータに衝突して発光が生じ、該発光によりインナーチューブの内部において電子線源側に向かって進む第１の光を検出するための光検出器を設置し、該光検出器による検出結果に基づいて走査像を形成する。 （もっと読む）

【課題】多分割ＳＴＥＭ検出器のゲイン及びオフセット調整を精度良く、且つ容易に実行する。
【解決手段】走査透過電子顕微鏡の光軸上に配置された円状のシンチレータ６０１の検出面ＤＦ全体に電流密度が均一な電子線を照射し、各光電子増倍管６０３が、シンチレータ６０１から出力される光を光ファイバ束６０２を介して受光し、各光電子増倍管６０３から出力される検出信号の強度を測定し、各光電子増倍管６０３から出力される検出信号の強度が、シンチレータ６０１の検出面ＤＦを動径方向及び偏角方向に分割された各検出領域ＤＲの面積に比例するように、検出領域ＤＲ毎に多分割ＳＴＥＭ検出器のゲイン及びオフセットを調整する。 （もっと読む）

【課題】走査電子顕微鏡としての機能と真空紫外発光検出の機能を両立させた、簡便で小型化された一体型の高性能の電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】フィールドエミッション方式或いはフィラメント方式の電子線源を有する走査電子顕微鏡に加えて、真空紫外発光材料を低真空雰囲気に保持して電子を照射する低真空試料室、該発光材料から発光した真空紫外線を含む光を集光する集光ミラーを有する集光伝送部、並びに真空紫外線を検出するための回折格子などの分光器およびＣＣＤや光電子増倍管などの検出器からなる分光装置を具備し、該集光伝送部が集光ミラーにより集光された真空紫外線を含む光を窒素ガスなどの雰囲気下に直接分光装置に伝送する集光伝送部であることを特徴とする電子線励起真空紫外線を検出する機能を兼ね備えた走査電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡に関し、更に詳しくは光伝導媒体に光ファイバを用いて光検出器の形状を任意の形状に加工できるようにした透過型電子顕微鏡に関する。
【解決手段】試料５０を透過した透過電子から高角度散乱像や暗視野像を得るようにした透過型電子顕微鏡において、試料５０を透過した透過電子信号を光信号に変換するシンチレータ１と、該シンチレータの光信号出力を光検出器３０に接続する光ファイバ２０とを具備し、該光ファイバ２０の光検出器３０との接続部分を任意の形状に加工するように構成する。 （もっと読む）

【課題】低真空下における光を検出信号源とした検出方法と従来技術であるイオンを検出信号源とする検出方法それぞれの性能・機能を最大限に引き出し、検出部の最適構成を考案することで、得られる画像に付加価値を与えて、その観察画像を幅広い分野のユーザに提供すること。
【解決手段】低真空下における画像情報を持った光の性質を最大限に生かし、この検出器構成の最適化と従来検出方法との融合を図る。本発明の構成により、ガスシンチレーションによる光を使った画像の特徴と、従来技術のイオン電流検出法の画像の特徴を併せ持った検出器を構成し、同時に観察することを可能にする。さらに、高真空用検出器と併用可能となる最適な構成により、真空モードに捉われずに幅広いユーザに画像を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】走査電子像と光学像との同時観察が可能であり、更に走査電子像観察と走査電子像観察以外の観察、作業とを同時に行える様にし、而も構造も簡単な電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを走査する走査手段１０と、電子ビームが走査された試料８から発せられる電子１１を検出する電子検出器１２を有し、該電子検出器からの検出結果に基づき走査電子像を得る走査型電子顕微鏡２と、試料に照明光を照射して該試料からの反射光を受光して光学像を得る光学顕微鏡３とを具備し、前記電子検出器は電子／光変換する蛍光体層と、該蛍光体層からの蛍光の波長帯域の全て或は略全てが透過する様に制限した波長フィルタと、該波長フィルタを透過した前記蛍光を受光し、光／電気変換する波長検出素子を有し、前記照明光は前記波長フィルタの透過波長帯域から外れた波長を有する様に設定された。 （もっと読む）

電子検出装置は、電子銃から放出される電子ビームを通過させる光軸上に開口を有した１つのシンチレータ３１と、シンチレータと接合され、光軸に対称に配置された複数の同形のホトガイド２２と、各ホトガイド２２の光軸側と対向する側に接続され、ホトガイド２２を介して受光したシンチレータ３１により発光された光を電気信号に変換する光電子増倍管とを有する。各ホトガイド２２はシンチレータ３１を光軸対称に等分に分割するように接合され、各ホトガイド２２のシンチレータ３１と接合する部分の位置及び面積は各ホトガイド２２で同一である。複数のホトガイド２２による前記シンチレータ３１の分割数は、少なくとも２以上である。
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【課題】本発明は２次電子・反射電子検出装置及び２次電子・反射電子検出装置を有する走査電子顕微鏡に関し、２次電子信号と反射電子信号を選択的に検出することを目的としている。
【解決手段】電子顕微鏡の試料から発生する２次電子又は反射電子を検出する２次電子・反射電子検出装置であって、コロナリング３１と２次電子を受けるシンチレータ３２とライトパイプ３３よりなる２次電子検出部３０と、反射電子を受けるシンチレータと該シンチレータの発生光を案内する所定の長さのライトガイド２１よりなる反射電子検出部２０と、前記ライトガイド２１と前記ライトパイプ３３とを接合する接合部３４と、２次電子又は反射電子を受けた前記何れかのシンチレータからの光を受ける光電子増倍管３５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 電子の入射に応じて蛍光を発する蛍光体を提供する。
【解決手段】 電子線検出器では、ライトガイドにより、化合物半導体基板の蛍光出射表面を光検出器の光入射面に光学的に結合し、且つ、化合物半導体基板と光検出器とを物理的に接続し、もって、化合物半導体基板と光検出器とを一体化している。化合物半導体基板が入射した電子を蛍光に変換すると、ライトガイドが当該蛍光を光検出器に導き、光検出器が蛍光を検出することで、入射した電子線を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線の軸上色収差が補正でき、非点収差や偏向収差も低減できる電子線装置及びこれを用いたパターン評価方法を提供すること。
【解決手段】一次電子線を放出する電子銃と、前記一次電子線の一部が通過する複数の開口を有するマルチ開口板と、前記開口を通過する一次電子線を縮小するコンデンサレンズと、縮小された一次電子線を試料の表面に結像させる対物レンズとを備える一次光学系と、前記試料から放出される二次電子線を偏向する偏向器群と、前記偏向器群で偏向された二次電子線を拡大する拡大レンズと、拡大された二次電子線を検出する二次電子線検出器とを備える二次光学系とを備え、前記一次光学系に、前記対物レンズで生じる軸上色収差に対応した軸上色収差を発生させる非分散ウィーンフィルタからなる軸上色収差補正レンズを備えること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子ビームを受けた際に発生するＸ線の量を低減することができるＸ線低減ミラーを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のＸ線低減ミラー１０は、樹脂フィルム１６と、前記樹脂フィルム１６上に形成された金属薄膜１７とを備えている。このＸ線低減ミラー１０は、電子ビームを受けた際に発生するＸ線の量が、従来のミラーと比較して小さいので、高解像度ＣＣＤカメラに内蔵されたＣＣＤ素子のＸ線による影響が低減される。その結果、このＸ線低減ミラー１０を使用する荷電粒子線装置によれば、試料の可視化像に基づいて試料をデジタルデータで評価および分析を行う際に高精度で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】フレーム数／ｓｅｃの小さいエリアセンサを用いても高速の画像取得を可能にする。
【解決手段】評価領域を複数の副視野に分割し、１次電子線を副視野に順次照射し、副視野毎に試料面の情報を含んだ２次電子を検出手段により検出することにより、評価領域の情報を得る電子線装置において、検出手段２６は、エリアセンサＣＣＤ１〜ＣＣＤ１４と、エリアセンサの検出面に一端が結合されたオプティカルファイバ束２５と、オプティカルファイバ束の他端に塗布され、副視野の２次電子線が結像されるシンチレータが形成されたＦＯＰとからなる単位検出器２４−１を複数備える。電磁偏向器により、電子線を照射する副視野が移る毎に、該副視野からの２次電子線を偏向して、単位検出器のＦＯＰ面上を移動させる。各単位検出器から、他の単位検出器の露光中に画像情報を取り出すことができるので、高速画像取得ができる。 （もっと読む）