【課題】ＦＩＢ動作用のイオン・モードまたはＳＥＭ動作用の電子モードで動作するユーザが選択可能な構成を有する単一カラム誘導結合プラズマ源を提供すること。
【解決手段】Ｘ線検出器が装着されていれば、エネルギー分散型のＸ線分光分析が可能である。ユーザは、イオン・モードまたはＦＩＢモードで試料を調製するようにＩＣＰを選択的に構成し、次いで電子モードまたはＳＥＭモードを選択するスイッチを実際に動かし、ＥＤＳまたは他のタイプの分析を使用して試料を分析することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分析方法及び装置に関し、ステージ走査でも良好なドリフト補正を行うことができるＸ線分析方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料上の面分析領域の内部を複数のブロックに分けて、ブロック内での各ラインのステージ走査に基づく特性Ｘ線の測定が第１ブロックから各ブロック毎に順次行うようにされており、各ブロックにおいて最初に走査が行われるラインについてのステージ走査の開始前に、試料の電子線走査画像を取得し、第２ブロック以降における特性Ｘ線の測定開始時においては、当該ブロックにおいて取得された電子線走査画像と、その直前のブロックにおいて取得された電子線走査画像との照合を行って、ステージのドリフト量を求め、該ドリフト量に基づいて電子線のビームシフトを行うことにより、試料上での電子線の照射位置を補正してから当該ブロック内での特性Ｘ線測定を開始するように構成する。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍ程度の有機微小異物をＳＥＭ中で高感度に分析できる質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ＳＥＭチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。こうすることにより、ＳＥＭ中で観察した異物をＳＥＭの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。またＥＤＸとの併用で無機／有機異物ともに同定可能となり、異物分析を高スループットに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 試料に電子線を照射してＸ線分析を行なう電子線装置において、高感度のＸ線検出を行なうと共に、試料とＸ線検出器の装置への脱着を簡易に行なうことのできる試料ホルダを提供する。
【解決手段】 サイドエントリー型の試料ホルダＳＨの先端部に試料台支持部材３１で支持されたシリコンドリフト型Ｘ線検出器を組み込む。Ｘ線検出素子１の上に分析試料Ｓを直接載置する。試料位置移動はレバー３２により試料台支持部材３１を動かすことにより行なう。電子線ＥＢにより試料Ｓから発生した特性Ｘ線は、試料の直下にあるＸ線検出素子１により高感度で検出される。 （もっと読む）

【課題】 電子線照射により試料から発生するＸ線を検出する分析方法において、試料が電子線照射により損傷を受ける前に測定を自動的に停止させる。
【解決手段】 電子線照射により試料から発生したＸ線、二次電子等をそれぞれＸ線検出器２４、電子検出器２３で検出し経過時間情報、座標位置とともに時系列的に組み合わせた時系列データとして記憶部３４に格納する。測定しながら、測定開始から一定の時間間隔で記憶部３４からＸ線信号を抽出しＸ線スペクトルを再生する。スペクトル全体又は任意に指定したエネルギー範囲のＸ線強度の時間経過に伴う変動をモニタし、異常を検知したら手動又は自動的に測定を中止する。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡の超微小焦点より発生するＸ線を用いて、Ｘ線拡大撮影を行うこと。
【解決手段】 電子顕微鏡で用いられる電子線の超微小焦点の位置に、台形の金属ターゲットを設置し、加速された電子をターゲットにあてることにより、発生する制動Ｘ線を、電子顕微鏡の加速筒（鏡筒）と直角方向に置かれたアダプター内に導き、ターゲットの近傍に設置された試料に当てる。透過したＸ線は、ターゲットから遠くに置かれたＸ線検出器によって拡大画像を得る。照射する電子線の焦点のターゲット上の位置を変えることにより、観察する試料部位と拡大率を決める。 （もっと読む）

【課題】コンタミネーションによる分析誤差を回避し、観察データや分析データの信頼性を向上させることができる電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
荷電粒子線装置は、荷電粒子線を集束させて試料に照射する対物レンズを有する照射系と、荷電粒子線を偏向走査する偏向走査系と、荷電粒子線の照射により試料から発生する信号を検出して走査像を生成する走査像生成系と、を有する。試料の分析を開始する前に得た第１の画像と試料の分析を開始した後に得た第２の画像を比較する。それによって、試料の像の変化が観測されたら、試料の表面にコンタミネーション被膜を生成するコンタミネーション被膜の生成処理を行う。 （もっと読む）

インターフェース、走査型電子顕微鏡、および非真空環境内に配置される物体を観察する方法が提供される。本方法は、真空環境内で発生される少なくとも１つの電子ビームに、アパーチャ・アレイの中から少なくとも１つのアパーチャ、および少なくとも１つのアパーチャを密閉する少なくとも１つの超薄膜を通過させる段階であって、少なくとも１つの電子ビームが物体の方に向けられ、少なくとも１つの超薄膜が真空環境と非真空環境との間の圧力差に耐える段階と、少なくとも１つの電子ビームと物体との間の相互作用に応答して発生した粒子を検出する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析装置を備える電子顕微鏡において専門的な知識や能力がなくても試料の観察および分析において精度の高い結果を得ることができるようにする。
【解決手段】 ＳＥＭハードウェア１と、Ｘ線検出器およびエネルギー分散型Ｘ線分析装置で構成されるＥＤＸハードウェア２とを制御するコンピュータ３に、ＳＥＭ制御データ８,７１の通信を高速化し、ＥＤＸ側の測定結果をフィードバックしてＳＥＭ側の条件をリアルタイムに制御するデータ共有オブジェクト７を追加して、ＳＥＭアプリケーション５を介さずに、ＳＥＭ制御データ８,７１を直接ＥＤＸアプリケーション６へ送信する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 ヨハンソン型Ｘ線分光器を用いた既存の波長分散型Ｘ線分析装置に対し、簡単な改造で以て検出感度及び波長分解能を改善させる。
【解決手段】 ローランド円５上に配置された湾曲結晶を平板結晶６に置き換え、試料２と平板結晶６との間に、入射端面側で点焦点を有し出射端面側で平行線束を出射する点／平行型のマルチキャピラリＸ線レンズ４を介挿する。電子線の照射に応じて試料２上の微小領域３から放出された固有Ｘ線をＸ線レンズ４で効率良く収集して平行線束に変換し、平板結晶６により同一波長のＸ線が平行線束となるように回折してＸ線検出器８により検出する。波長走査は、微小領域３を固定し、平板結晶６及びＸ線検出器８をローランド円５に沿って移動させる従来の機構をそのまま利用すればよい。 （もっと読む）

【課題】 ワーク領域が小さくかつ波長走査範囲の広い高分解能Ｘ線分光装置を提供すること。
【解決手段】 試料上のほぼ点とみなせる微小領域から放出されるＸ線をマルチキャピラリＸ線レンズで平行化し、互いに平行に配置した第１及び第２平板分光結晶５１，５２で分光及び反射させることにより、出射Ｘ線５５が常に入射Ｘ線５４に平行になるようにする。これにより、Ｘ線検出器５６は入射・出射Ｘ線５４，５５に垂直な方向に直線的に移動するだけでよいようになる。第１及び第２平板分光結晶５１，５２は、平行四辺形リンクAEFDを用いることにより、常に上記関係を維持して分光のための回転・移動を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 ＥＰＭＡ等、試料上の微小領域から発生するＸ線を分光分析する装置におけるエネルギー分解能を向上させる。
【解決手段】電子線の照射によりＸ線を放出する微小領域２に入射側端面の点焦点を合わせたマルチキャピラリＸ線レンズ６によりＸ線を効率良く収集し、平行光化して四結晶型分光器３０に導入する。四結晶型分光器３０はそれぞれ２枚の平行な単結晶を有するチャンネルカット結晶４０、４１を２個含み、入射されたＸ線を高精度で分光し、入射Ｘ線と平行な方向に出射する。マルチキャピラリＸ線レンズ６からの出射Ｘ線は若干の広がりを有しているが、四結晶型分光器３０はその入射Ｘ線の広がり角の影響を受けることなく高い波長分解能で以てＸ線を分光する。そのため、高いエネルギー分解能と高い分光強度とを達成できる。 （もっと読む）

【課題】 電子励起によるＸ線分析において、所望の分析感度に対する最適な分析条件を簡単かつ精度良く与える。
【解決手段】 装置の加速電圧に対して、Ｘ線分光器感度のデータ、照射電流と電子線径との関係データ、Ｘ線発生領域の広がりＤｘのデータを予めデータベース18に準備する。分析対象元素と所望のＸ線強度を入力装置19から入力すると、指定された特性Ｘ線種に応じてデータベース18から必要なデータが読み込まれ、計算手段17ｃにより所望のＸ線強度に対応する加速電圧と照射電流Ｉｐｘが求められ、計算手段ｄによってＩｐｘに対応する最小電子線径Ｄｐｘが求められ、計算手段17ｅによってＤｐｘとＸ線発生領域の広がりＤｘの加算値（Ｄｐｘ+Ｄｘ）が求められ、決定手段17ｆによって（Ｄｐｘ+Ｄｘ）の最小値を与える加速電圧と照射電流の組み合わせが求められる。これにより、所望の分析感度に対する最適分析条件が精度良く簡易に決定される。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、分析器の真空系と分析室の真空系を隔壁を用いて遮断した場合、低エネルギーのＸ線の検出が困難であったという点である。
【解決手段】試料を収容する真空に保持された分析室と、１次ビームを前記試料に照射する１次ビーム照射手段と、前記１次ビームにより前記試料から発生するＸ線を集束する集光手段と、前記Ｘ線の集束点に位置し、前記集束したＸ線を通過させるアパーチャと、前記アパーチャを通過したＸ線を分光・検出する真空に保持された分光手段と、を備える表面分析装置であって、前記分析室と前記分光手段を仕切る前記アパーチャにより前記分光手段内の真空度と異なる分析室内の真空度を保持することを特徴とする表面分析装置。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料の内部Ｘ線画像を取得するとともに、電子顕微鏡の機能も実現できるようにする。
【解決手段】
電子鏡筒１の電子線を可動式のターゲット９により遮蔽し、Ｘ線を発生させることで、Ｘ線発生器を電子線発生器と共用させる。これにより試料への照射Ｘ線と照射電子線が同軸上に落射されるため、同一視野で試料内部情報、表面情報の両方を観察することができる。また、試料全体の内部形態情報を示すＸ線画像に目的部位１５の元素分布像を重ねがきして表示することも可能となる。機械的切断手段１０を備えているため、試料内部の電子線画像などを表示することも可能である。 （もっと読む）