【課題】ｎＡレベルのきわめて小さい電流値の電子線を利用して反射電子像回析パターンを生成することができる反射高速電子回析装置を提供する。
【解決手段】反射高速電子回析装置１０は、真空チャンバーの内部に着脱可能に設置された蒸着源１４ａ〜１４ｃと、試料１１に形成された薄膜に向かって電子線２８を発射する電子銃１５と、薄膜の表面において反射した反射電子から生成される反射電子像回析パターンを映し出す蛍光スクリーン１８と、反射電子を電流増幅するマイクロチャンネルプレート１７ａ，１７ｂとを有する。反射高速電子回析装置１０では、ｎＡのレベルのエミッション電流値の電子線２８を電子銃１５から薄膜に向かって発射する。 （もっと読む）

【課題】ｎＡレベルのきわめて小さいエミッション電流値の電子線を利用して反射電子像回析パターンを生成することができる反射高速電子回析方法を提供する。
【解決手段】反射高速電子回析方法は、蛍光スクリーン１８の直前に配置されて反射電子を電流増幅するマイクロチャンネルプレート１７ａ，１７ｂを含み、ｎＡのレベルのエミッション電流値の電子線２８を電子銃１５から薄膜表面に向かって発射し、マイクロチャンネルプレート１７ａ，１７ｂによって電流増幅された反射電子を蛍光スクリーン１８に入射させ、反射電子から生成される反射電子像回析パターンを蛍光スクリーン１８に映し出す。 （もっと読む）

【課題】高精度に試料の不純物濃度分布を測定する方法を提供する。
【解決手段】本発明の試料の不純物濃度分布を測定する方法は、走査工程、フィルタ工程、二次電子の強度を測定する強度測定工程、ハイパスフィルタ１７のカットオフエネルギー値Ｅｃを段階的にＮ−１回上昇させる工程、及び、二次電子の強度のエネルギー分布曲線ＲＬ、ＲＨを評価する工程とを備える。カットオフエネルギー値Ｅｃの各段階において、走査工程、フィルタ工程、及び、強度測定工程が行われる。ｍを１以上Ｎ以下の任意の整数、ｐを１以上Ｎ−１以下の任意の整数、ｍ段階目のカットオフエネルギー値ＥｃをＥ_ｍ、カットオフエネルギー値ＥｃがＥ_ｍである際に測定された二次電子の強度をＩ_ｍとしたとき、Ｉ_ｐ＋１−Ｉ_ｐの値を、Ｅ_ｐ以上Ｅ_ｐ＋１以下のエネルギーを有する二次電子の強度とみなす。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍ程度の有機微小異物をＳＥＭ中で高感度に分析できる質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ＳＥＭチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。こうすることにより、ＳＥＭ中で観察した異物をＳＥＭの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。またＥＤＸとの併用で無機／有機異物ともに同定可能となり、異物分析を高スループットに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】陰極軸方向（スピン偏極電子の進行方向）への磁気異方性を発現することができ、もってスピン偏極率の測定や磁性体試料の解析・表面分析などを効率よく行うことが可能な電子光学機器を提供すること。
【解決手段】スピン偏極率の測定や磁性体試料の解析を効率よく行うことができる電子光学機器は、スピン偏極電子のスピンの向きを電子の進行方向を含む面内に回転させるスピン回転器と、前記スピン回転器を通過したスピン偏極電子ビームの電子エネルギーを選別するスリットと、を備え、前記スピン回転器は、電場・磁場重畳型の９０°偏向器であり、前記スピン偏極電子のエネルギー分布を測定することができる。 （もっと読む）

本発明は、入射面と出射面とを有するトロイダルエネルギアナライザ、好ましくは半球アナライザを有する荷電粒子用結像エネルギフィルタに関する。位置及び角度の解像度レベルがより高く、より大きい受光角で動作可能な結像エネルギフィルタ、又は結像エネルギフィルタを有する分光器を提供するために、本発明によれば、荷電粒子用のミラー素子が設けられ、前記出射面を経て前記トロイダルエネルギアナライザから出射する荷電粒子が前記ミラー素子によって前記トロイダルエネルギアナライザへと反射されることによって、前記荷電粒子が反対の進行方向に前記トロイダルエネルギアナライザを再度通過するように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料の大きさに影響されない低転送倍率の試料測定装置を提供することである。
【解決手段】エネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射することにより生じる光ＣＬを測定する試料測定装置１であって、試料Ｗを収容する試料収容部２と、前記試料収容部２内の試料Ｗにエネルギ線ＥＢを照射するエネルギ線照射部３と、前記エネルギ線ＥＢが照射された試料Ｗから生じる光ＣＬを集光する集光ミラー４１と、前記集光ミラー４１により集光された光ＣＬを受光して、前記試料収容部２外に伝送する光ファイバ４２と、を備え、前記光ファイバ４２が、前記試料収容部２内において、前記集光ミラー４１に近い支持部４２ａと、前記集光ミラー４１から遠い支持部４２ｂとで支持されている。 （もっと読む）

【課題】コンタミネーションによる分析誤差を回避し、観察データや分析データの信頼性を向上させることができる電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
荷電粒子線装置は、荷電粒子線を集束させて試料に照射する対物レンズを有する照射系と、荷電粒子線を偏向走査する偏向走査系と、荷電粒子線の照射により試料から発生する信号を検出して走査像を生成する走査像生成系と、を有する。試料の分析を開始する前に得た第１の画像と試料の分析を開始した後に得た第２の画像を比較する。それによって、試料の像の変化が観測されたら、試料の表面にコンタミネーション被膜を生成するコンタミネーション被膜の生成処理を行う。 （もっと読む）

【課題】厚さが厚い試料の分析に好適でかつ凹部の形状が鮮明な画像を得ることができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の試料分析装置は、表面に部分的に凹部が存在するウエハ１８に合焦位置を変更可能にして荷電粒子を照射する照射系と、荷電粒子の照射に基づきウエハ１８の表面側から得られたルミネッセンスを集光する回転楕円反射鏡１７と、回転楕円反射鏡１７に導かれたルミネッセンスを検出する光検出器３３と、ウエハ１８の表面から反射された反射荷電粒子を検出する荷電粒子検出器２５と、荷電粒子検出器２５の検出信号に基づき凹部の位置を求める信号処理部２４とを備え、照射系により荷電粒子を凹部に照射するときに、信号処理部２４は光検出器３３の検出信号に基づいて荷電粒子の合焦位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら電子顕微鏡による高分解能観察及びカソードルミネッセンスの高分解能観察を可能としたカソードルミネッセンス測定装置を提供することである。
【解決手段】試料Ｗに電子線ＥＢを照射して生じるカソードルミネッセンスＣＬを測定するカソードルミネッセンス測定装置１であって、前記電子線ＥＢを収束して前記試料Ｗに照射する電磁型対物レンズ７５と、前記電子線ＥＢが照射された試料Ｗから生じるカソードルミネッセンスＣＬを集光する集光ミラー部４１１と、を備え、前記集光ミラー部４１１が、前記電磁型対物レンズ７５の試料Ｗ側の端部よりも上方に設けられており、前記電磁型対物レンズ７５の漏洩磁場が前記試料Ｗに印加されることを特徴とする。 （もっと読む）

インターフェース、走査型電子顕微鏡、および非真空環境内に配置される物体を観察する方法が提供される。本方法は、真空環境内で発生される少なくとも１つの電子ビームに、アパーチャ・アレイの中から少なくとも１つのアパーチャ、および少なくとも１つのアパーチャを密閉する少なくとも１つの超薄膜を通過させる段階であって、少なくとも１つの電子ビームが物体の方に向けられ、少なくとも１つの超薄膜が真空環境と非真空環境との間の圧力差に耐える段階と、少なくとも１つの電子ビームと物体との間の相互作用に応答して発生した粒子を検出する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 収差補正カソード・レンズ顕微鏡機器を提供すること。
【解決手段】 収差補正顕微鏡機器が提供される。機器は、第１の非分散電子回折パターンを受け取るように配置された第１の磁気偏向器を有する。第１の磁気偏向器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に第１のエネルギー分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に配置された静電レンズ、並びに、第１の磁気偏向器と実質的に同一の第２の磁気偏向器を有する。第２の磁気偏向器は、静電レンズからの第１のエネルギー分散電子回折パターンを受け取るように配置される。第２の磁気偏向器はまた、第２の磁気偏向器の第１の出射面に第２の非分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器は、１つ又は複数の収差を補正するように構成された電子鏡も有する。電子鏡は、第２の磁気偏向器の第２の出射面に第２のエネルギー分散電子回折パターンを投射するために第２の非分散電子回折パターンを第２の磁気偏向器へ反射するように配置される。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構成でありながら、エネルギ線の照射位置と集光ミラー部の焦点との位置調節を容易にすること及び振動などによる集光ミラー部の位置ずれを防ぐことである。
【解決手段】
エネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射することにより生じる光を測定する試料測定装置１であって、エネルギ線ＥＢを収束させる鏡筒部２３と、前記鏡筒部２３及び前記試料Ｗの間に設けられ、前記鏡筒部２３で収束されたエネルギ線ＥＢを通過させ、そのエネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射するためのエネルギ線通路３１２と、その通路３１２の軸線上に焦点Ｆが設定されたミラー面３１１と、を有し、試料Ｗから生じる光Ｌを前記ミラー面３１１により集光する集光ミラー部３１と、を備え、前記エネルギ線ＥＢの軸と前記焦点Ｆとを一致させるように、前記鏡筒部２３に前記集光ミラー部３１を支持させている。 （もっと読む）

【課題】 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で絶縁された導電体試料の分析・評価を高感度・高精度に行うことができる新規な元素分析・評価方法とその装置を提供する。
【解決手段】 ２から１００ｋｅＶの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素及び重元素の少なくともいずれかの元素を含む絶縁された導電体試料３へ照射することにより、導電体試料３中に含まれる軽元素又は重元素から４ｋｅＶ以下の低エネルギー特性Ｘ線を発生させ、発生した特性Ｘ線を検出することにより導電体試料３中に含まれる軽元素又は重元素の分析・評価を行うこととする。 （もっと読む）