Fターム[5C034AA00]の内容
荷電粒子線装置 (3,257) | 粒子線装置 (143)
Fターム[5C034AA00]の下位に属するFターム
ビーム発生部、加速部 (37)
加工室 (51)
光学観察系 (4)
真空排気系 (6)
大気中加工装置 (3)
加熱処理装置(アニール装置) (2)
その他 (40)
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