【課題】 被処理物の形状が複雑であっても、所望の領域の表面処理を実施することができるＣＡＤ／ＣＡＭ装置及び電子ビーム照射装置を得ることを目的とする。
【解決手段】 被処理物における電子ビームの照射領域の指定を受け付ける受付処理を実施し、データ入力部１により入力された３Ｄデータの中から、その照射領域の３Ｄデータを抽出する照射領域確定部２を設け、その照射領域確定部２により抽出された３Ｄデータとピッチデータにしたがって電子ビームを点照射する照射ポイントを設定するとともに、照射時間データにしたがって照射ポイントに対する電子ビームの照射時間を設定する。 （もっと読む）