【課題】ウエハー内の領域別に相異なる注入エネルギーでイオン注入を行う、不均一なイオン注入エネルギーを得られるイオン注入装置及びイオン注入方法を提供する。
【解決手段】イオンビームを発生するイオンビームソース１１０と、第１時間の間は相対的に小さい第１注入エネルギーのイオンビームを作り、第２時間の間は相対的に大きい第２注入エネルギーのイオンビームを作る注入エネルギー調節器１２０と、前記注入エネルギーが調節されたイオンビームを加速するビームライン１３０と、前記ウエハー１５０を前記イオンビームに対して垂直方向に移動し、前記ウエハー１５０の第１領域には前記第１注入エネルギーのイオンビームを注入し、前記ウエハーの第２領域には前記第２注入エネルギーのイオンビームを注入するためのエンドステーション１４０と、を備えてイオン注入装置を構成する。 （もっと読む）