【課題】小型で排気効率が高く、磁界シールド特性の向上したスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】ＳＩＰ５０は、ポンプ容器５１と、永久磁石５４と、第２陰極５５ｂと、陽極５６と、磁性体５９と、ポンプ容器に形成された開口部５２と、給電端子５７ａと、絶縁体５３と、を備えている。
給電端子５７ａは陽極５６に接続されているとともに開口部５２に挿通されている。絶縁体５３は開口部５２に充填され、給電端子５７ａを囲んでいるとともに開口部を気密に封止している。 （もっと読む）