ゲッターポンプ（１２０；２２０）及びイオンポンプ（１３０；２３０）を含む複合型ポンプシステムは、説明される。ゲッターポンプ及びイオンポンプ（１２０，１３０；２２０，２３０）は、システムの真空レベルを改善するために、ゲッター及びイオンポンプ双方の伝導率が真空チャンバーのガス流量の源に向かって最大化されることができるように、同じフランジ（１１１；２１１）に直列に取り付けられており、それぞれそれに関して両側に配置される。
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