【課題】イオン化ビームの試料への照射の時間的ばらつきによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる質量分布分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の質量分布分析方法は、一次イオンビームを試料に照射し、発生した二次イオンを検出する質量分析方法であって、この一次イオンビームは進行方向に対して垂直な方向への広がりを有し、かつ軌道を偏向することにより、一次イオンビームに含まれる各々の一次イオンの一次イオン源から試料表面までの行路長を調整したうえで、試料表面に対して斜めに入射される。 （もっと読む）

【課題】従来の質量分析装置では、測定対象物表面に垂直に一次ビームを入射させることができないため、その表面に凹凸がある場合は、一次ビームに対して影になる部分を生じた。その結果、試料から発生するイオンの分布と測定対象表面の物質分布に乖離が生じる問題があった。
【解決手段】一次イオン生成部、一次イオンを測定対象物に照射するための一次イオン光学系、二次イオンを検出するための検出器、および測定対象物から検出器までイオンを導く二次イオン光学系を有する質量分析装置において、
当該一次イオン生成部は当該二次イオン光学系のイオン光軸の外に設置し、偏向部を当該測定対象物と当該検出器との間に有することを特徴とする飛行時間型質量分析装置 （もっと読む）

【課題】周回軌道を回る間に追いつき、追い越しによって混在した異なる質量のイオンを分離して検出できるようにする。
【解決手段】周回軌道Ｐを離れたイオンを、一対の平板状の磁極７の間に形成される均一磁場Ｂ中を通過させ、ローレンツ力によりイオンを質量に応じてその進行方向と直交する方向に偏向させる。この偏向によって一次元的に広がったイオンを検出するようにアレイ状の検出器６を配置する。これにより、イオンは質量に応じてその進行方向に空間的に（検出器６に到達する時間的に）分離されるとともに、進行方向に直交する方向にも空間的に分離される。このようにして、周回軌道Ｐを周回する間に混在した異なる質量のイオンも確実に分離して検出できるから、高い質量分解能での分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】磁場作用によりイオンビームの軌道をイオン質量に応じて湾曲させ、導入イオンビームに含まれる一または複数種のイオン種を分離する質量分離装置において、イオンビーム電流量を低下させることなく質量分離性能を向上させる。
【解決手段】磁場作用によりイオンビームの軌道をイオン質量に応じて湾曲させ、イオンビームに含まれる一または複数種のイオン種を分離させる質量分離装置１３０において、イオンビームを質量分離装置１３０のイオンビーム入射面１３０ａに対して垂直方向から傾斜させて入射させることにより、イオンビーム電流を大きく低減させることなく質量分離性能を向上させて、より高精度に質量分離されたイオンビームを発生させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】イオン源で生成された電子がイオンとともにイオン光学系を通過して四重極質量フィルタに入射するとバックグランドノイズの原因となるおそれがある。
【解決手段】イオン源であるイオン化室４を出発したイオンを四重極質量フィルタ９まで輸送するイオン光学系７の静電場に、偏向磁場を重畳する磁場形成手段１１を配置する。偏向磁場を通過するイオンや電子にはローレンツ力が作用するが、イオンに比べて格段に質量が小さな電子は軌道を曲げてイオン光学系７を通過し得ないのに対し、イオンは磁場の影響を殆ど受けずに四重極質量フィルタ９に到達する。これにより、イオンの輸送効率を損なわずに四重極質量フィルタ９の手前で不要な電子を排除することができる。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムのイオン分析が可能であって高効率かつ安価なイオン分析装置を提供する。
【解決手段】イオン分析装置１は、イオン発生源９から発生したイオンの比電荷および運動エネルギを分析するトムソンパラボラ型のものであって、真空容器１０の内部に配置されており、コリメータ１１、電磁場発生部１２、金属箔１３ａ，１３ｂ、プラスチックシンチレータ１４、光フィルタ１５、光検出部１６、分析部１７、制御部１８および表示部１９を備える。プラスチックシンチレータ１４は、電磁場発生部１２により形成された電磁場により偏向され金属箔１３ａ，１３ｂを通過して到達したイオンを主面に入射して、そのイオン入射位置から光を発生する。 （もっと読む）