【課題】 ３次元微細領域元素分析方法及び３次元微細領域元素分析装置に関し、試料に電界蒸発を起こすのに必要な高電圧パルスを印加することなく、一層ずつ制御された状態で、且つ、構成元素の蒸発電界の違いに影響されずに分析を行う。
【解決手段】 被分析試料１に飽和吸着し、且つ、エネルギービーム５の照射によってエッチングが進行するガス種３を被分析試料１に供給したのち、エネルギービーム５を照射して前記被分析試料１のガス種３の吸着した部分のみを脱離させ、脱離した被分析試料１由来の粒子６の質量分析を行なうことによって被分析試料１表面の元素分析を行なう。 （もっと読む）

質量分析計のイオントラップ（１０４）は、ＲＦトラップ電圧をイオントラップ（１０４）の複数の電極（１０２、１０６、１１０）の少なくとも１つに印加して、イオントラップ（１０４）内のイオンの少なくとも一部をトラップするためのＲＦトラップ電圧源（１１２）と、共鳴励起電圧パルスを電極（１０２、１０６、１１０）に印加して、選択されたイオンの組の少なくとも一部を衝突させ、イオンフラグメントに破壊されるようにするための共鳴励起電圧源（１１４）と、共鳴励起電圧パルスの終了に続く所定の遅延期間の後で、ＲＦトラップ電圧を第２の振幅に減少させて、後の分析のために、低質量イオンフラグメントをイオントラップ（１０４）内に保持するようにＲＦトラップ電圧源（１１２）を制御するためのコンピュータ（１１６）とを含む。
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イオン検出器１１を含み、イオンビームを質量分散による２の分離したイオンビームの方向に分割するために反射電極１３を用いる、磁場型質量分析器を開示する。前記２のイオンビームは２つの検出器上に向かい、それらは、好ましくは、２つのまたはそれよりも多いコンバージョンダイノード１５ａ、１５ｂ、および、前記コンバージョンダイノード１５ａ、１５ｂにより発生させられた電子を検出するための、２つのまたはそれよりも多い対応するマイクロチャンネルプレート検出器１４ａ、１４ｂを含む。前記２つの検出器からのシグナルが実質的に異なる場合、前記イオンビームは妨害イオンを含むと決定することができる。反対に、前記２つの検出器からのシグナルが実質的に等しい場合、前記イオンビームは妨害イオンを実質的に含まないと決定することができる。
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イオン化エレメントとしてコロナ放電放射源（２００；３００）を具備することを特徴とするイオン移動度分光器を開示していて、前記コロナ放電放射源（３００）が：入口（３０９）と少なくとも一つの第一連通開口部（３１１）とを備えた第一チャンバ（３０８）であって、前記入口（３０９）は分析するガス用のものであり、前記少なくとも一つの第一連通開口部（３１１）は、前記第一チャンバにより画成された内表面とＩＭＳ分光器の反応区画との間を連通するためのものである、第一チャンバ（３０８）と；前記第一チャンバの中に含まれている第二チャンバ（３０３）であって、高純度ガス又は高純度ガス混合体用の入口（３０６）を備え、前記第一チャンバと前記第二チャンバとの間の少なくとも一つの第二連通開口部（３１０，３１０′）を備えた第二チャンバ（３０３）と；前記第二チャンバに配置されていて、少なくとも一つがが針状である一対の電極（３０４，３０２′）と；を含んでいて、前記一対の電極及び前記第二連通開口部は、ＩＭＳ装置におけるコロナ放電区画とイオン検出器区画との間に光路がない幾何学的形状になるように配置されている。本発明の装置は、²³Ｎｉイオン源を備えた分光器により再現性のある結果が得られるようになっていて、一方で放射性材料を輸送し使用することに関連する問題を回避できるようになっている。
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【課題】イオン源側真空領域内のイオン軌道部周辺の部品を大気中に取り出して、洗浄等の操作を行なっても、短時間で装置の再使用が可能となり、また、アイソレーション・バルブを設けても、安定した測定が可能となるようなＯＡ−ＴＯＦＭＳを提供する。
【解決手段】イオン源と、イオン源で発生したイオンを輸送させる空間とを配置した、真空度の低い第１の領域と、該領域から輸送されてきたイオンをパルス的に加速して取り出すためのイオン溜と、該イオン溜から取り出されたイオンを質量分離する飛行時間型分光部とを配置した、真空度の高い第２の領域とを備えた垂直加速型飛行時間型質量分析装置において、前記２つの領域を連通する孔部に隔離弁を設け、両領域を遮断できるようにした。 （もっと読む）

結合されたシリコンオン絶縁物（ＢＳＯＩ）ウエハから、マイクロエンジニアリングされた質量分析器を製造する方法が、四極子分析器を参照して記載される。四極子幾何形状は、モノリシックブロック４１０を形成するようにともに結合される２つのＢＳＯＩウエハ２００を使用して達成される。外側シリコン層に形成されたディープエッチングされた特徴及びばねは、円筒状金属電極ロッド３００を位置付けるために使用される。アセンブリの精度は、リソグラフィとディープエッチングとの組み合わせにより、かつ結合されたシリコン層の機械的構成度合により決定される。内側シリコン層に形成されディープエッチングされた特徴は、イオン入口及びイオン収集光学部品を画定するために使用される。また、流体チャネルなどの他の特徴を組み込むことができる。
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イオン源の陽極内部に適合するような取外し可能な陽極ライナー：陽極ヘ放出するような電子、ここで任意の絶縁堆積物が、陽極ライナーの内部に付着する、そのため、早期の取り替え又は取り除きをしないで効果的に使用可能年数を増大させること。
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質量分析計に使用されるイオン源で、電子ビームを放出する電子エミッタアセンブリ、イオン化室、電子レンズおよび少なくとも１つの電極を具備する。前記電子エミッタアセンブリは、基板に固定されており前記電子ビームを放出するカーボンナノチューブ束と、前記電子ビームの放出を制御する第１制御格子と、前記電子ビームのエネルギーを制御する第２制御格子を含む。前記イオン化室は、前記電子ビームを導入させる電子ビーム入口と、試料を導入する試料入口と、イオン化試料分子を出すイオンビーム出口を含む。前記電子レンズは、前記電子エミッタアセンブリと前記イオン化室の間に配置され、前記電子ビームを集束する。前記少なくとも１つの電極は、前記イオンビーム出口の近傍に配置され、前記イオン化室から出る前記イオン化試料分子を集束する。

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【解決手段】
多重反射飛行時間型質量分析計（ＭＲ−ＴＯＦ ＭＳ）及び分析方法を開示する。イオンの飛行経路が、静電ミラーによって軌道に沿って折り返される。適度な機器サイズを維持しながら飛行経路が長いほど分解能が高くなる。 （もっと読む）

質量分析を行うための装置および方法は、イオンインターフェースを用いて、エレクトロスプレー源またはＭＡＬＤＩ源などの大気圧イオン源からのイオンの流れが質量分析器を含む真空チャンバーに入る前に、該イオンの流れから望ましくない粒子を除去する機能を提供する。イオンインターフェースは、エントランスセルおよび粒子選別セルを含む。該エントランスセルは、イオン源がエレクトロスプレー源である場合に、荷電液滴を脱溶媒和するために加熱され得るボアを有する。該粒子選別セルは、エントランスセルのボアの下流で、かつ真空チャンバーに通じるアパーチャーの前に配置されたボアを有する。粒子選別セルは、イオンの流れからの望ましくない荷電粒子の分離を可能にする気体力学的および電界条件を作り出す。 （もっと読む）