【課題】イオン化ビームの試料への照射の時間的ばらつきによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる質量分布分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の質量分布分析方法は、一次イオンビームを試料に照射し、発生した二次イオンを検出する質量分析方法であって、この一次イオンビームは進行方向に対して垂直な方向への広がりを有し、かつ軌道を偏向することにより、一次イオンビームに含まれる各々の一次イオンの一次イオン源から試料表面までの行路長を調整したうえで、試料表面に対して斜めに入射される。 （もっと読む）

【課題】従来の質量分析装置では、測定対象物表面に垂直に一次ビームを入射させることができないため、その表面に凹凸がある場合は、一次ビームに対して影になる部分を生じた。その結果、試料から発生するイオンの分布と測定対象表面の物質分布に乖離が生じる問題があった。
【解決手段】一次イオン生成部、一次イオンを測定対象物に照射するための一次イオン光学系、二次イオンを検出するための検出器、および測定対象物から検出器までイオンを導く二次イオン光学系を有する質量分析装置において、
当該一次イオン生成部は当該二次イオン光学系のイオン光軸の外に設置し、偏向部を当該測定対象物と当該検出器との間に有することを特徴とする飛行時間型質量分析装置 （もっと読む）

【課題】イオン化ビームの照射方向依存性、或いは、試料への照射むらによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る、質量分布計測方法では、該試料表面にイオン化ビームを照射する方向を変化させ、複数の照射方向における複数の質量分布像を取得し、イオン化ビームの入射方向と基板面との成す角度に応じてこの質量分布画像に対して画像変換を行い、複数の変換画像を合成し、合成された質量分布画像を出力する。 （もっと読む）

【課題】 エッチングの進行に伴って形成されるクレーターが深くなっても、試料の深さ方向の組成プロファイルの正確な測定が行える二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、試料面内の一次イオンビームが照射される範囲内にマークを形成し、このマークを含む領域に対して一次イオンのラスタースキャンを行い、特定組成の二次イオンの信号強度について一次イオンビームのスキャン範囲とマークの位置関係とその変化を検出し、クレーター底部における二次イオン計測範囲の位置を試料面に平行な向きに移動しないように補正する二次イオン質量分析方法に関する。 （もっと読む）

【課題】従来の遅延引出し法ではイオンを加速する際にm/zの相違が考慮されないため、適切なエネルギ収束が達成されるm/z範囲が狭く、分解能が改善されるm/z範囲も狭い。
【解決手段】試料Ｓにレーザ光を照射してイオンを発生させる時点で、試料プレート１から引出し電極３に向けて緩やかに下がる電位勾配をもつ引出し電場を形成しておく（Ｕ）。この電場の作用により、イオンは引出し領域中でm/zに応じて略分離され、m/zが大きなイオンは試料Ｓ近くに残る。遅延時間ｔ経過後に試料プレート１及び補助電極２への印加電圧を上げて折れ線様の電位勾配Ｒを有する加速電場を形成する。この電場は理想的な電位勾配曲線Ｑに近いため、m/z毎に適切なポテンシャルエネルギ変化をイオンに与えることができ、幅広いm/zに亘ってエネルギ収束を適切に行い分解能を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】試料表面の分析部位における元素の挙動を解析するに際し、試料表面の分析部位の温度を簡便に素早く、精度良く測定する。
【解決手段】集束イオンビームを用いる微細部位解析装置において、イオン種がGaのGa集束イオンビーム３の前照射によって試料４の表面に注入されたGaを、試料４の表面温度の測定のための参照元素とし、分析時の試料４の表面の微細部位の温度を決定する。予め適当な試料４の表面温度毎にGa集束イオンビーム３を一定量試料４に前照射することにより試料４から放出された２次Gaイオンの収量を測定して、試料４の表面温度に対する２次Gaイオンの収量の関係を得る。この関係を一度調べれば、複数の試料４の分析時に、２次Gaイオンの収量を測定することで、試料４の表面の微細部位における温度を決定することができる。 （もっと読む）

【課題】高いデータレート（Ｄａｔｅｎｒａｔｅｎ）と短い分析時間とによる二次イオン形成の高い効率を達成するために、二次イオン質量分析器の操作のための、クラスターイオンに関し改善された生成量を有するイオン源を提供すること。
【解決手段】液体金属層は純粋な金属ビスマスまたは低融点のビスマス含有合金からなり、その際電場の影響下でイオンエミッタ１を用いてビスマスイオン混合ビームを放射可能であり、該ビスマスイオン混合ビームから、それらの質量が単原子の１重または多重に電荷されたビスマスイオンＢｉ_１^Ｐ＋の複数倍となる複数のビスマスイオン種のうちの１種が、フィルタ手段により、質量の純粋なイオンビームとしてろ過可能であり、該イオンビームは１種類のＢｉ_ｎ^Ｐ＋イオンのみから成っており、その際ｎ≧２およびｐ≧１であり、かつｎとｐはそれぞれ自然数であることを特徴とする質量分析器。 （もっと読む）

【課題】基板上の試料分子の質量に関する情報を取得するための質量分析装置において、試料成分やマトリックスより産出されるプロトンを無駄なく捕獲し、該プロトンを飛翔中の中性試料分子に有効に付着させることにより、試料分子の検出感度を向上させる質量分析装置を提供すること。
【解決手段】一次ビームの軌跡を一次ビーム軸とし、該一次ビーム軸と基板上の試料表面が交わる点を中心点とし、中心点を通り基板法線方向に延びる軸を中心軸としたときに、中心軸に対し該一次ビーム軸と線対称をなす軸に対して３０度の角度で円錐状に広がる領域内に電極を配置する。この電極を使い発生させた電界により、一次ビームの照射により飛翔するプロトンを捕獲し、該プロトンを同様に飛翔する中性試料分子に付着させる。 （もっと読む）

【課題】照射面の二次元情報を保持したまま高質量数の二次イオンをパルス化できるガスクラスターイオンビームを用いた飛行時間型二次イオン質量分析装置を提供する。
【解決手段】
分析試料５の照射面から放出される二次イオンは、照射面の二次元情報を保持したまま引出電極１５で引き出され、パルスゲート電極部に入射する。第一の通過孔２３ａから第一、第二の電極２１ａ、２１ｂ間に進入した二次イオンはパルス電圧により加速される。第二の通過孔２３ｂを通過した二次イオンは空間的・時間的収束をおこなう複数の扇形静電型分析器からなる分析器４０に進入する。パルスゲート電極部で加速された二次イオンのみが選別されるとともに同一の電荷質量比を有する二次イオンは照射面の二次元情報を保持したままイオン検出器５０に同時に入射して位置と時刻が検出されるように複数の静電型分析器が配置される。 （もっと読む）

【課題】飛行時間型二次イオン質量分析装置において、試料へ照射される一次試料へ照射される一次ビームの広がりを、数値あるいは実験的で求め、この広がりをボケ関数として用い、画像復元することにより、ボケを低減する。
【解決手段】収束し短パルス化させたイオンビームまたはレーザービーム（一次ビーム）を試料表面へ位置を変えながら照射し、飛行時間型二次イオン質量分析計により取得した質量スペクトルから質量/電荷比ごとに信号強度を二次元表示した質量分析顕微鏡像の画像処理方法において、試料表面に到達する一次ビームの形状を理論的に、または実験的に求め、これをボケ関数として表現し、該ボケ関数を用いて画像を復元することである。 （もっと読む）

【課題】イオンをできるだけ小径上に集束することができ、２つの圧力領域を良好に分離できるイオンを集束および蓄積する装置を提供する。
【解決手段】イオンを集束および蓄積する装置１３０１、および第１圧力領域を第２圧力領域から分離する装置に関し、特に、イオンの分析装置１４００に関する。上記の装置のうち少なくとも１つを有する粒子ビーム装置で、イオンを収容する容器１２０１と少なくとも１つの多重極ユニット１３０１を設ける。多重極ユニット１３０１は、長手方向軸線１３０７を有する貫通口１３０２を有し、また複数の電極を有する。これら電極の第１組は、長手方向軸線１３０７から第１径方向距離にあり、これら電極の第２組は、それぞれ、長手方向軸線１３０７から第２径方向距離にある。第１径方向距離は、第２径方向距離よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】イオンのエネルギーを少なくとも１つのガス粒子に伝達する装置および／またはイオン輸送する装置であって、設計が簡素で各素子の接続が容易である装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのイオンのエネルギーをガス中の少なくとも１つのガス粒子に伝達するエネルギー伝達および／またはイオン輸送装置１２００，１３００であって、内部にガスを含有する容器１２００を設け、この容器１２００は輸送軸線を有する。さらに、少なくとも１つの第１多重極ユニットおよび少なくとも１つの第２多重極ユニットを設け、これら第１多重極ユニットおよび第２多重極ユニットを輸送軸線に沿って配置する。第１多重極ユニットおよび第２多重極ユニットはプリント回路基板により形成する。さらに、電子回路を設け、各多重極ユニットに電位を印加して電位勾配を発生させるようにし、特に、輸送軸線に沿って電位勾配を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 二次イオン収率を低下させることなく試料の損傷を改善することができる質量分析器を提供する。
【解決手段】 二次イオンおよび後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器において、試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニットとを設け、一次イオンを構成する原子１個あたりの運動エネルギーを20eV以下の領域で制御できる機能を装備させる。前記一次イオンとして、気体原子がファンデルワールス力で凝集したガスクラスターイオンを用いるとよい。 （もっと読む）

【課題】イオン分布画像の画質を保持しつつ、飛行時間を収束させる。
【解決手段】試料１８をパルス的にイオン化するレーザー光源１５と、試料１８の上流に位置するサンプルプレート１１と、試料１８の下流に位置し、レーザー光源１５が試料１８をイオン化した時点において、サンプルプレート１１と自身との電位差により、生成されたイオンを試料１８の表面から引き出す引き出し電極１２と、引き出し電極１２よりも下流に位置し、当該引き出し電極１２と自身との電位差により、引き出し電極１２によって引き出されたイオンを加速する引き込み電極１３とを備えている。引き出し電極１２は、自身と引き込み電極１３との電位差によってイオンが加速されている間に、当該イオンが正イオンの場合には自身の電位を所定量上げ、当該イオンが負イオンの場合には自身の電位を所定量下げる。 （もっと読む）

試料（１０１）を収容する手段と、試料（１０１）の表面からイオンを抽出する手段と、第１の方向における第１の曲率および第１の曲率中心（１０５）と第１の方向と垂直な第２の方向における第２の曲率および第２の曲率中心とによって等電位線が規定されるトロイダル静電界を生成するリフレクトロン（１０３）とを含む、特に質量分析計または原子プローブ顕微鏡型の、広い角度受け入れを有する質量分析装置（１００）であって、第１の曲率中心（１０５）の近くに試料（１０１）が位置決めされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イオン化効率が向上した質量分析方法を提供する。
【解決手段】試料から放出されるイオンを検出して質量分析を行う質量分析方法において、その試料近傍に設けられた導電体へ光を照射してプラズモン共鳴を発生させた状態で、その試料へエネルギービームを照射してイオン化を行う。 （もっと読む）

二次イオン質量分析法のための装置が提供され、該装置は、標的面上の試料を支える、標的面と、一次イオンのビームを試料の方に導き、試料から二次イオンと中性粒子とをたたき出すように構成されるイオン源とを有する。入口を有する第１のチャンバは、二次イオンと中性粒子とを冷却するために試料の位置において高い圧力を維持するために気体を提供し、高い圧力は、約１０^−３〜約１０００トルの範囲内である。二次イオン質量分析法の方法が提供され、該方法は、試料を支える標的面を有し、一次イオンのビームを試料の方に導いて、試料から二次イオンと中性粒子とをたたき出し、二次イオンと中性粒子とを冷却するために試料の位置に高い圧力を提供し、高い圧力は、約１０^−３〜約１０００トルの範囲内である。
（もっと読む）

【課題】試料と検出器とにおける所望の検出条件を変えることなく、試料に対する一次イオンの入射角度を変更することが可能となる二次イオン質量分析装置を提供する。
【解決手段】本二次イオン質量分析装置は、照射方向可変イオン照射装置と試料台と質量分析器とを含んでなる。この照射方向可変イオン照射装置は、固定されたイオン銃と、照射されるイオンの進行方向の変化を制御可能な偏向板であって、照射経路においてイオン銃に近い方の第一の偏向板と、照射されるイオンの進行方向の変化を制御可能な偏向板であって、照射経路においてイオン銃から遠い方の第二の偏向板とを含んでなり、第一の偏向板と第二の偏向板とが、それぞれ独立に、ある点を中心にして回転し得る機構を有する。 （もっと読む）

【課題】大気雰囲気下、試料の表層のみを分析でき、しかも構成物質の分子量まで測定することのできる大気雰囲気測定表面分析装置を提供する。
【解決手段】先端から末端まで内部を貫通する貫通孔を有し、その先端部が試料表面に近接するように配置される探針と、前記探針の先端部周辺にプラズマを供給する手段と、前記探針と試料の間にパルス電圧を印加するための電源と、前記探針−試料間へのパルス電圧印加に起因して前記探針先端部と対する試料表面から脱離すると共に前記プラズマによる作用を受けて生成された試料イオンを前記貫通孔を介して真空室内へ導入するために前記探針の末端部の貫通孔開口部に近接して配置されるイオン導入手段と、前記真空室内に配置され前記イオン導入手段により導入された試料イオンを質量分析するための質量分析器とを備えた。 （もっと読む）

【課題】大気圧雰囲気下で粒子線を試料に照射してイオン化を行う場合、粒子線の照射範囲を絞ることができないため空間分解能を高めることが困難であった。
【解決手段】大気圧雰囲気にあるイオン化室１内でノズル８から噴射される粒子線の経路に小孔６を穿設した粒子線遮蔽板５を配設し、該小孔６を通過した一部の粒子線を試料３に照射する。そして、試料３上の粒子線の照射部位４から発生したイオンをイオン輸送管７で収集して質量分析部に送る。さらに、この遮蔽板５の位置を固定し試料３を保持する試料ステージ２を二次元面内で移動させることにより、試料３上での粒子線の照射部位４を移動させる走査を行い、それにより試料３上の所定範囲の定性情報や定量情報の二次元分布を取得可能とする。 （もっと読む）