【課題】集束イオンビームシステムで使用するための大開口のウィーンＥ×Ｂ質量フィルタを提供する。
【解決手段】Ｅ×Ｂウィーン質量フィルタが、質量分離するために必要な電気双極子の電場と組み合わされた独立して調整可能な電場を提供する。独立して調整可能な電場は、より大きな光学的アパーチャを提供でき、非点収差を補正し、かつ磁場に平行及び／又は垂直な方向にビームを偏向するように使用可能である。 （もっと読む）

【課題】高いデータレート（Ｄａｔｅｎｒａｔｅｎ）と短い分析時間とによる二次イオン形成の高い効率を達成するために、二次イオン質量分析器の操作のための、クラスターイオンに関し改善された生成量を有するイオン源を提供すること。
【解決手段】液体金属層は純粋な金属ビスマスまたは低融点のビスマス含有合金からなり、その際電場の影響下でイオンエミッタ１を用いてビスマスイオン混合ビームを放射可能であり、該ビスマスイオン混合ビームから、それらの質量が単原子の１重または多重に電荷されたビスマスイオンＢｉ_１^Ｐ＋の複数倍となる複数のビスマスイオン種のうちの１種が、フィルタ手段により、質量の純粋なイオンビームとしてろ過可能であり、該イオンビームは１種類のＢｉ_ｎ^Ｐ＋イオンのみから成っており、その際ｎ≧２およびｐ≧１であり、かつｎとｐはそれぞれ自然数であることを特徴とする質量分析器。 （もっと読む）

【課題】試料から２次イオンを効率良く発生させて、試料を高感度で分析する。
【解決手段】（１）イオン発生源と、パルス化手段と、ＯＮ状態の時にクラスターイオンの中から特定の質量数のイオンからなる測定用１次イオンを選別し、ＯＦＦ状態の時にクラスターイオンを通過させる選別手段であって、ＯＮ状態とＯＦＦ状態を切り替えることが可能な選別手段とを有するイオン照射手段と、（２）試料台と、（３）試料から生じた２次イオンの飛行時間を測定する飛行時間型質量分析部と、を備えたことを特徴とする飛行時間型２次イオン質量分析装置。 （もっと読む）

一次イオンビームを作り出すイオン源を有する質量分析器であって、イオン源は、加熱可能なイオンエミッタを有しており、イオンエミッタは、液体金属層で被覆されており、液体金属層は、主に純粋な金属性ビスマスまたは低融点の、主にビスマスを含有する合金からなり、電場の影響下でイオンエミッタを用いてビスマスイオン混合ビームが放射可能であり、ビスマスイオン混合ビームから、それらの質量が単原子の１重または多重に電荷されたビスマスイオンＢｉ_１^Ｐ＋の複数倍となる複数のビスマスイオン種のうちの１種が、質量の純粋なイオンビームとしてろ過可能であり、該イオンビームは１種類のＢｉ_ｎ^Ｐ＋イオンのみから成っており、その際ｎ≧２およびｐ≧１であり、かつｎとｐはそれぞれ自然数である。
（もっと読む）