【課題】メンテナンス作業後、及び、装置稼動前に行う装置性能の校正作業を迅速に安価に行えるようにする。
【解決手段】（１）イオン源８に流入させる試料ガス流量を常に一定にするため、イオン源、及び、質量分析部を有する真空チャンバー１３に設けた真空計２０ａ，２０ｂの真空度変化からバルブ６の絞り部径、オリフィス１５の径などを求め、基準値との差分を補正するため、試料導入部、イオン源、真空チャンバーの真空度を変化させる手段を有する。
（２）イオン源でのプラズマ生成状態を一定にするため、放電電圧、放電電流、プラズマ発光強度を計測し、現状の状態を把握し、基準値との変化分を補正するため、放電電圧などの放電条件を変化させる手段を有する。
（３）質量分離部に流入するイオン量を常に一定にするため、オリフィス径の変化分を補正するため放電時間などの放電条件を変化させる手段を有する。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームシステムで使用するための大開口のウィーンＥ×Ｂ質量フィルタを提供する。
【解決手段】Ｅ×Ｂウィーン質量フィルタが、質量分離するために必要な電気双極子の電場と組み合わされた独立して調整可能な電場を提供する。独立して調整可能な電場は、より大きな光学的アパーチャを提供でき、非点収差を補正し、かつ磁場に平行及び／又は垂直な方向にビームを偏向するように使用可能である。 （もっと読む）

【課題】固体試料がアブレーションされてできた試料エアロゾルをアブレーションチャンバーからICP-MS装置にスムースに提供することができ、しかもアブレーションチャンバー内の洗浄性能に優れたレーザーアブレーション質量分析装置を提供する。
【解決手段】ＬＡ装置１０とＩＣＰ−ＭＳ装置２０からなるレーザーアブレーション質量分析装置１００において、アブレーションチャンバー３は外管３２と内管３１の二重管構造の管路からなり、内管３１の内部が第１の流路３１ａ、その外側が第２の流路３２ａであり、流路３１ａとＩＣＰ−ＭＳ装置２０が導入路４で流体連通され、チャンバー３は固体試料Ｓとの間に隙間Ｇを設けた姿勢で固定され、流路３１ａおよび流路３２ａにキャリアガスを固体試料Ｓに向かう方向に導入し、流路３２ａを流れるキャリアガスが固体試料Ｓ表面で反射して流路３１ａに導かれ、試料エアロゾルＡＥを導入路４に導くようになっている。 （もっと読む）

運動エネルギー識別（ＫＥＤ）およびダイナミックリアクションセル（ＤＲＣ）の両方で操作するように構成可能な質量分析計システムを提供する。質量分析計に含まれる加圧セルまたは衝突セルは四重極を含み、不活性ガスおよび反応性ガスの両方の源に結合される。ＫＥＤモードで操作するために、衝突セルがある量の不活性ガスで充填され、エネルギー障壁が衝突セルと下流質量分析器との間に形成され得る。代わりにＤＲＣモードで操作するために、衝突セルは、干渉イオンのみと反応性であるある量のガスで充填され得る。次いで、生成物イオンの質量フィルタリングは、比例的に多くの分析物イオンを下流質量分析器に送ることができる。モード制御器は、２つの操作モードを協調させる。 （もっと読む）

セルベースの質量分析計のためのガス送達システムは、ガス源に連結された入力を有する質量流量コントローラを含む。三方弁は、質量流量コントローラの出力に連結された入力と、真空システムに連結された第１の出力と、通常、反応または衝突セルに連結された第２の出力とを含む。セルは、質量分析計の真空チャンバの内側に位置付けられ、三方弁の第２の出力は、セルの入口に連結され、質量流量コントローラは、セルにガスを提供し、真空チャンバ内の圧力に対してセル内側の圧力を増加させる。
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【課題】衝突セル（２４）内の不要人工イオンの形成あるいは再形成を最小にする。
【解決手段】本発明は誘導結合高周波プラズマ質量分析（ＩＣＰＭＳ）に関し、衝突セルを用いてイオン・ビームから不要な人工イオンを反応気体と選択的に反応させることにより除去する。本発明は、膨張チャンバ（３）と、衝突セル（２４）を内蔵した第二真空チャンバ（２０）の間に設けた高真空の第一真空チャンバ（６）を提供する。第一真空チャンバ（６）は第一イオン光学装置（１７）を有する。衝突セル（２４）は第二イオン光学装置（２５）を内蔵する。第一真空チャンバ（６）の設置は、プラズマ源（１）からの気体負荷に原因があると思われる衝突セル（２４）内の残留圧を最小にすることにより衝突セル（２４）への気体負荷を減少する。 （もっと読む）

【課題】衝突セル（２４）内の不要人工イオンの形成あるいは再形成を最小にする。
【解決手段】本発明は誘導結合高周波プラズマ質量分析（ＩＣＰＭＳ）に関し、衝突セルを用いてイオン・ビームから不要な人工イオンを反応気体と選択的に反応させることにより除去する。本発明は、膨張チャンバ（３）と、衝突セル（２４）を内蔵した第二真空チャンバ（２０）の間に設けた高真空の第一真空チャンバ（６）を提供する。第一真空チャンバ（６）は第一イオン光学装置（１７）を有する。衝突セル（２４）は第二イオン光学装置（２５）を内蔵する。第一真空チャンバ（６）の設置は、プラズマ源（１）からの気体負荷に原因があると思われる衝突セル（２４）内の残留圧を最小にすることにより衝突セル（２４）への気体負荷を減少する。 （もっと読む）

【課題】イオン透過率を維持しつつ、光子および中性粒子の除去率が従来に比べて向上したイオン偏向レンズを備えるプラズマイオン源質量分析装置の提供
【解決手段】イオン偏向レンズは、入射側プレート状電極と出射側プレート状電極と、入射側プレート状電極と出射側プレート状電極との間に配置される筒状電極とを具備する。筒状電極は、非点対称形状を成す。また、筒状電極は、筒状電極の中心軸が出射側プレート状電極後のイオンの進行軸よりも入射側プレート状電極前のイオンの進行軸に近いように配置される。 （もっと読む）

【課題】事前の分離操作を行うことなく、微量の貴金属を高周波プラズマ質量分析装置で高精度に分析するための方法を提供する。
【解決手段】（１）固体試料又はＮａを５００〜５０００質量ｐｐｍ含有する液体試料を準備する工程と、（２）固体試料の場合はナトリウム化合物を用いたアルカリ融解法によって試料を前処理し、Ｎａを５００〜５０００質量ｐｐｍ含有する試料溶液を調製する工程と、（３）液体試料又は試料溶液を、スキマーコーンを有するインターフェース部及び三段のイオンレンズを有するイオンレンズ部を備えた高周波プラズマ質量分析装置にて分析する工程とを含み、工程（３）において、インターフェース部に最も近い一段目のイオンレンズへの印加電圧を０Ｖとすること及び二段目並びに三段目の印加電圧をかけることにより感度を調整することを特徴とする試料中に含まれる貴金属の分析方法。 （もっと読む）

【課題】イオン強度のばらつきを低減させることができるレーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析装置を提供する。
【解決手段】レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析装置１は、試料にレーザを照射し、試料を気化させて試料ガスとし、その試料ガスをキャリアガスと共に放出するレーザアブレーション部３と、誘電結合プラズマをイオン化源として、試料をイオン化し、質量分析を行う誘導結合プラズマ質量分析部５と、レーザアブレーション部及び誘導結合プラズマ質量分析部の間に設けられ、試料ガスとキャリアガスとの均一な混合を行う混合室を有する混合部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】プラズマのイオン密度を低減して、イオンビーム中に含有される被分析物元素のイオンの量を増加させ、分析装置としての感度の向上を図る。
【解決手段】スキマーコーン３３の背面側でプラズマの側方への広がりを制限するように軸線方向に沿ってプラズマを包囲して延びる側壁３５と、当該側壁３５の後側に位置してイオンビームを通過可能にした開口５７を備えた第１の電極５３の平坦部５６とによって画定される小衝突室３６が設けられる。当該小衝突室３６では、追加のガスを導入することなく、その内部の圧力が高められるので、イオンと電子の衝突・再結合によってアルゴンイオンが中和されプラズマのイオン密度が低減される。これによって、イオンの引出・輸送時のビーム径が比較的小さく抑えられる。 （もっと読む）

【課題】微量のＰｄ、Ｒｈ及びＲｕを高周波プラズマ質量分析装置で高精度に分析するための方法を提供する。
【解決手段】微量Ｐｄ、Ｒｈ又はＲｕを測定対象元素として分析する方法であって、（１）ナトリウム化合物を用いたアルカリ融解法によって試料を前処理する工程と、（２）該前処理を行った試料を高周波プラズマ質量分析装置にて分析する工程とを含み、工程（２）において、サンプリングコーンとスキマーコーンの間隔を、Ｐｄと干渉する⁴⁰Ａｒ⁶⁵Ｃｕの濃度、Ｒｈと干渉する⁴⁰Ａｒ⁶³Ｃｕ及び⁴⁰Ａｒ⁴⁰Ａｒ²³Ｎａの濃度、並びにＲｕと干渉する³⁸Ａｒ⁶³Ｃｕ及び⁴⁰Ａｒ³⁸Ａｒ²³Ｎａの濃度のすべてが０.０５ｐｐｂ以下となる値に設定して分析することを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】IH2の干渉がないヨウ素分析方法および装置を実現する。また、ヨウ素１２７の測定が連続しても検出器が劣化しないヨウ素分析方法および装置を実現する。
【解決手段】誘導結合プラズマ質量分析装置を用いてヨウ素を分析するにあたり、土壌試料(300)をアルゴンガス雰囲気中で加熱(100)してサンプルを気相状態にし、前記気相状態のサンプルをリアクションセル(240)付の誘導結合プラズマ質量分析装置(200)にそのまま導入して質量分析する。前記質量分析を、リアクションセル(240)のパラメータ設定により、検出感度がヨウ素１２７に関しては相対的に低く、ヨウ素１２９に関しては相対的に高い状態で行う。 （もっと読む）

【課題】プラズマ条件に係る装置の特性を短時間で診断でき、装置の設定条件を最適なものとするよう自動的に較正可能な診断及び較正のシステムを提供する。
【解決手段】本発明の診断システムは、高周波電源の出力に係る第１のパラメータと、エアロゾル中のキャリアガスの流量に係る第２のパラメータと、プラズマトーチ及びインタフェース間の距離に係る第３のパラメータとからなるパラメータの組の集合であって、感度・酸化物イオン比グラフ上で、それぞれの組に対応する測定点が、全測定点の集合として描かれる図形の高感度側の端を成す弧状の包絡線の長さ方向に沿った位置に順に並ぶように所定の配列を成すパラメータの組の集合を記憶し、該集合を構成するパラメータの各組のパラメータ値を用いて所定の診断用試料による診断測定を行い、対応する実測定点の感度・酸化物イオン比グラフにおける包絡線上の位置によって装置特性を確認するよう構成される。 （もっと読む）

【課題】 測定試料中の所定の元素の濃度を誤って算出するのを防止することができる質量分析方法を提供する。
【解決手段】 この質量分析方法では、ステップＳ１１０において、ｍ／ｚ値ごとに（すなわち、質量数の異なる元素ごとに）単位時間当たりのカウント数（すなわち、検出強度）を測定すると共に、ステップＳ１１２において、ｍ／ｚ値ごとにカウント数が飽和しているか否かを判断する。従って、ステップＳ１１４において、或るｍ／ｚ値について（すなわち、或る元素について）カウント数が飽和している状態で測定試料中の所定の元素の濃度を算出するのを回避することができ、その結果、測定試料中の所定の元素の濃度を誤って算出するのを防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】大気雰囲気下、試料の表層のみを分析でき、しかも構成物質の分子量まで測定することのできる大気雰囲気測定表面分析装置を提供する。
【解決手段】先端から末端まで内部を貫通する貫通孔を有し、その先端部が試料表面に近接するように配置される探針と、前記探針の先端部周辺にプラズマを供給する手段と、前記探針と試料の間にパルス電圧を印加するための電源と、前記探針−試料間へのパルス電圧印加に起因して前記探針先端部と対する試料表面から脱離すると共に前記プラズマによる作用を受けて生成された試料イオンを前記貫通孔を介して真空室内へ導入するために前記探針の末端部の貫通孔開口部に近接して配置されるイオン導入手段と、前記真空室内に配置され前記イオン導入手段により導入された試料イオンを質量分析するための質量分析器とを備えた。 （もっと読む）

【課題】各種金属地金などの高マトリックス試料中に存在する微量元素分析の効率化と高感度化を目的として、前処理方法を従来よりも簡便な方法としながらも、現場ニーズを満たす迅速かつ高感度な分析方法を提供する。
【解決手段】金属元素Ｍ（例えばＣｕ、Ａｇ）の試料中に存在する微量元素を分析するに際し、フローインジェクション導入−ＩＣＰ質量分析装置を用い、下記（１）式を満たすように予め実験により定めたキャリアガス流量で分析を行う金属試料中の微量元素分析方法。Ｋ₁／Ｋ₂≧０.８５ ……（１）
ただし、Ｋ₁は元素Ｍのマトリックスを有する試料を用いた場合の被測定元素の分析強度、Ｋ₂は元素Ｍのマトリックスをもたない試料を用いた場合の被測定元素の分析強度である。 （もっと読む）

プラズマ装置と、分析測定においてかかるプラズマ装置を使用する方法とを開示する。いくつかの例において、低流量プラズマは、毎分約５リットル未満の総アルゴンガス流を、いくつかの実施形態においては毎分約４リットル未満のプラズマアルゴンガス流を用いて、作動可能である。別の例においては、誘導及び容量結合を用いて生成されるプラズマを開示する。
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【課題】 試料の表面状態の変化にかかわらず、試料の分析精度を向上させることを可能にするレーザーアブレーション装置及び方法、試料分析装置及び方法を提供する。
【解決手段】 試料分析装置１は、試料室５内の試料台６に支持される試料２にレーザー光を照射して、試料２の一部を微粒子化させるレーザーアブレーション・ユニット３と、試料室５内で微粒子化された試料２を導入し、試料２に含まれる構成元素を検出する元素検出ユニット４と、コントローラ３７とを備えている。試料室５の上方には、試料２の表面形状を検出するためのレーザー変位計１８が設けられている。コントローラ３７は、レーザー変位計１８の測定値に基づいて、試料２の表面に対してレーザー光のフォーカスを合わせるように試料台駆動部７を制御するレーザー制御部と、元素検出ユニット４の検出値を入力し、所定の分析処理を行う分析部とを有している。 （もっと読む）