【課題】 エッチングの進行に伴って形成されるクレーターが深くなっても、試料の深さ方向の組成プロファイルの正確な測定が行える二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、試料面内の一次イオンビームが照射される範囲内にマークを形成し、このマークを含む領域に対して一次イオンのラスタースキャンを行い、特定組成の二次イオンの信号強度について一次イオンビームのスキャン範囲とマークの位置関係とその変化を検出し、クレーター底部における二次イオン計測範囲の位置を試料面に平行な向きに移動しないように補正する二次イオン質量分析方法に関する。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／Ｎ比と迅速性の向上を図った質量分析装置を提供する。
【解決手段】パルス幅がピコ秒またはフェムト秒の紫外線領域の超短パルスレーザ光を出力する超短パルスレーザ装置８と、真空排気された真空容器２と、この真空容器内に配設されて、前記超短パルスレーザ光を複数回往復可能に反射させるように複数の凹面鏡をそれぞれ設けた一対の多面鏡を対向配置し、これら多面鏡の焦点に、前記超短パルスレーザ光を複数回通す多面鏡システム４と、多面鏡システムの焦点に向けてサンプルを含有した高温のサンプルガスを間欠的に噴射する高温パルスバルブ３と、多面鏡システムによりイオン化されたサンプルの質量を測定する飛行時間型質量分析器７と、真空容器内でイオン化されたイオンを質量分析器に導入させる電場を形成する電極５ａ，５ｂと、を具備している。 （もっと読む）

【課題】 安全かつ長寿命であるイオン源を提供する。
【解決手段】 イオン源１は、円形薄板又は芯線からなるアノード電極２と、その一端３ａと他端３ｂとの間に円環形状又は円筒形状に形成された本体部３ｃを有し、該本体部３ｃの中心軸上にアノード電極２を位置させるカソード電極３と、該カソード電極３の一端と他端との間に電源供給して加熱する加熱電源４と、アノード電極２の電位がカソード電極３の電位より高くなるように、アノード電極２とカソード電極３との間に電圧を印加する主電源５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で、高精度な質量分析が可能な質量分析装置を提供する。
【解決手段】測定試料４をイオン化するために外部から流入するガス２３をイオン化するイオン源と、イオン化した測定試料４を分離する質量分析部１０２とを有し、イオン源は、質量分析部１０２からの差動排気によって内部が減圧され、ガス２３を取り込み内圧が上昇して略１００Ｐａ〜略１００００Ｐａのときにガス２３をイオン化し、質量分析部１０２は、ガス２３の取り込みに連動して上昇した内圧がガス２３の取り込み後に略０．１Ｐａ以下に低下したときに、イオン化した測定試料４を分離する。イオン源が取り込むガス２３の流量を抑制する抑制手段９と、イオン源が取り込むガス２３の流れを開閉する開閉手段８とを有する。 （もっと読む）

【課題】レーザー脱離イオン化質量分析法において、測定試料を壊さずに脱離させてイオン化する。
【解決手段】有機分子の自己組織化単分子膜を表面に有する金属ナノ微粒子を分散あるいは２次元最密充填固着した基板の表面上に、測定試料を付着させる。そこに、金属ナノ微粒子に固有の波長のレーザー光を照射する。そして、金属ナノ微粒子に表面プラズモンを励起させて、有機分子を金属原子との化合物として金属ナノ微粒子の表面から脱離させる。この離脱のエネルギーにより、測定試料を脱離イオン化する。 （もっと読む）

【課題】SALDI-MSに有用な質量分析用基板であって、イオン化剤として有機多価カルボン酸を添加しなくてもMALDI-MSに匹敵するイオン化効率を達成でき、しかもMALDI-MSに匹敵するソフトイオン化を達成できる質量分析用基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】粗面化された半導体基板上に樹枝状白金ナノ構造体が形成されている質量分析用基板であって、前記樹枝状白金ナノ構造体は、前記粗面化された半導体基板を白金溶液に浸漬することにより自己成長により形成されることを特徴とする質量分析用基板。 （もっと読む）

【課題】高分子材料を高感度に分析可能であり、且つ、質量スペクトルと高分子の種類の選択性も高いレーザイオン化質量分析装置を提供する。
【解決手段】高分子材料をイオン化してその質量を分析するレーザイオン化質量分析装置は、試料台１０とイオンビーム源２０とレーザ光源３０と分析部４０とからなる。試料台１０は、高分子材料が配置される。イオンビーム源２０は、試料台に配置される高分子材料にイオンビームを照射する。レーザ光源３０は、試料台の表面に平行にレーザ光を照射するものであり、イオンビーム源からのイオンビームにより試料台に配置される高分子材料から放出される高分子材料由来の分子にレーザ光を照射し、高分子材料由来の分子をイオン化する。分析部４０は、レーザ光源からのレーザ光によりイオン化される試料を質量分析する。 （もっと読む）

【課題】照射面の二次元情報を保持したまま高質量数の二次イオンをパルス化できるガスクラスターイオンビームを用いた飛行時間型二次イオン質量分析装置を提供する。
【解決手段】
分析試料５の照射面から放出される二次イオンは、照射面の二次元情報を保持したまま引出電極１５で引き出され、パルスゲート電極部に入射する。第一の通過孔２３ａから第一、第二の電極２１ａ、２１ｂ間に進入した二次イオンはパルス電圧により加速される。第二の通過孔２３ｂを通過した二次イオンは空間的・時間的収束をおこなう複数の扇形静電型分析器からなる分析器４０に進入する。パルスゲート電極部で加速された二次イオンのみが選別されるとともに同一の電荷質量比を有する二次イオンは照射面の二次元情報を保持したままイオン検出器５０に同時に入射して位置と時刻が検出されるように複数の静電型分析器が配置される。 （もっと読む）

【課題】特別に加工された試料プレートを用いることなく、マトリクス付着後の試料プレートをステージに載置した際の位置ずれを精度良く検出し、その位置ずれを補正して分析者により指定された領域に対する正確な質量分析を実施する。
【解決手段】試料プレート３が試料ステージ２上に載置されると、照射痕形成制御部２２が試料ステージ２を適宜移動させ高パワーのレーザ光を短時間させることにより、試料プレート３上の所定位置に照射痕を形成する。照射痕は固有の形状を有するから、照射痕の顕微観察画像を取得しこれを画像保存部３２に保存しておく。一旦ステージ２上から取り出された試料プレート３が再びステージ２上に置かれたあと、その時点で得られる画像上の照射痕の位置と保存部３２に保存されている画像上の照射痕の位置との相違から位置ずれ量を算出し、分析位置補正部２４は求まったずれ量に応じて分析者により指定された領域の位置情報を修正する。 （もっと読む）

【課題】イオンのエネルギーを少なくとも１つのガス粒子に伝達する装置および／またはイオン輸送する装置であって、設計が簡素で各素子の接続が容易である装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのイオンのエネルギーをガス中の少なくとも１つのガス粒子に伝達するエネルギー伝達および／またはイオン輸送装置１２００，１３００であって、内部にガスを含有する容器１２００を設け、この容器１２００は輸送軸線を有する。さらに、少なくとも１つの第１多重極ユニットおよび少なくとも１つの第２多重極ユニットを設け、これら第１多重極ユニットおよび第２多重極ユニットを輸送軸線に沿って配置する。第１多重極ユニットおよび第２多重極ユニットはプリント回路基板により形成する。さらに、電子回路を設け、各多重極ユニットに電位を印加して電位勾配を発生させるようにし、特に、輸送軸線に沿って電位勾配を発生させる。 （もっと読む）

【課題】ＥＳＩイオン源において噴霧口近傍での電場強度を高めるとともに、生成された微細帯電液滴やイオンをイオン取り込み口まで移動させる効率を高めることで検出感度の向上を図る。
【解決手段】イオン化プローブ１０のノズル１１の先端に設けられた電極１２の周囲を包囲するように、円筒部１３１と円板部１３２が一体化されたカバー電極１３を設け、円板部１３２にあって中心軸Ｃと同軸の開口１３３を通して液体試料を噴霧する。カバー電極１３の電位をイオン取り込み口と同じ接地電位とすることで、カバー電極１３とイオン取り込み口２１との間の空間をほぼ一様にゼロ電位とし、カバー電極１３で囲まれる空間と噴霧口１１３付近に強い電場を形成する。これにより、帯電液滴の生成効率が上がるとともに、帯電液滴やイオンの移動に対する電場の悪影響がなくなるので、効率よく微細帯電液滴やイオンがイオン取り込み口まで輸送される。 （もっと読む）

【課題】 試料を高効率かつ長時間安定にイオン化するコロナ放電を用いたイオン源を提供する。
【解決手段】 高電圧を印加することにより針電極先端に生成するコロナ放電において、該コロナ放電の領域から試料ガス中の中性分子が移動する方向と、放電により生じたイオンの引き出し方向が異なる構成とすることにより、イオン生成効率を向上させると共に安定な放電を長時間持続させる。 （もっと読む）

【課題】レーザ共鳴イオン化質量分析装置において、分析目的のガス以外のガスのイオンが検出信号に影響するのを軽減する。
【解決手段】イオン化室に導入したカバーガスとタグガスの混合ガスにイオン引出し電極８１１２ａ，８１１２ｂの間においてレーザビーム８３を照射してタグガスを共鳴励起・イオン化するときに、レーザ光の散乱により放出される光電子等によってカバーガスが非共鳴反応によりイオン化されることにより制御電極の間の広い範囲で生成され、分析目的のタグガスイオンは、照射されるレーザビームに沿って生成されることに着目し、イオン引出し電極８１１２ｂにおけるイオン引き出し窓８１１２ｂ１をレーザビームの通路に沿ったスリット形状とすることにより、カバーガスイオンが引き出されるのを抑制する。 （もっと読む）

レーザースプレーイオン化（ＬＳＩ）を用いる質量分析のための系および方法を本明細書中に開示する。ＬＳＩは、分析のために大気圧で多荷電イオン（多価イオン）を生成することが可能であり、４０００ダルトンを超える分子を含む高分子量分子の分析を可能にする。該分析は、溶媒に基づく分析、または無溶媒分析でありうる。ＬＳＩによる無溶媒分析は、表面および／または組織イメージングにおいて有益な改善された空間分解能を可能にする。
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【課題】表面支援レーザ脱離イオン化質量分析法において、測定光を低パワー化し、難揮発性の物質や高分子量の物質の高感度な質量分析を可能にする。
【解決手段】質量分析装置１は、表面支援レーザ脱離イオン化質量分析法に用いられる質量分析用基板１１と、質量分析用基板１１の表面に接触された試料Ｓに測定光Ｌ１を照射して被分析物質Ｒを表面から脱離させる光照射手段２１と、測定光Ｌ１の照射により先端部に近接場光を生じる金属プローブ２２と、脱離した被分析物質Ｒｉを検出する検出器３１と、検出器３１の検出結果に基づいて被分析物質Ｒの質量分析をする分析手段４０とを備えている。金属プローブ２２の先端部は、測定光Ｌ１の照射により生じる近接場光が試料Ｓの測定光照射部分Ｐに接するように配置されており、金属プローブ２２は、測定光照射部分Ｐを基点として検出器３１と異なる方向に配置されている。 （もっと読む）

本発明は、第１および第２の電子入力溝（１１、２６）を備えるイオン化筐体（１０）であって、イオン化筐体（１０）の一側面（１６）がイオン化粒子（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）を通過させるための出力溝（１５）を有する、イオン化筐体（１０）と、前記第１の電子入力溝（１１）に対向して設置され、電子ビーム（１２）を生成するために供給されるように意図された、第１の作動フィラメント（１３）と、前記第２の電子入力溝（２６）に対向して設置され、第１の作動フィラメント（１３）が故障した場合に、電子ビームを生成するために供給されるように意図された、第２の予備フィラメント（２２）とを備え、前記入力溝（２６）が、前記第１の入力溝（１１）に対向して配置された前面領域（Ｆ）の外に設置される、質量分析計（２）のためのイオン化セルに関する。また、本発明は、そのような上で説明されたイオン化セルを備える、質量分析計を有する漏れ検出器に関する。
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【課題】エミッタからの安定したエミッション量を維持する。
【解決手段】本発明の一実施形態は、固体試料あるいは液体試料を加熱して、固体試料又は液体試料に含まれている測定対象物をガス化して中性気相分子とし、酸化表面を持つエミッタから放出された金属イオンを、前記中性気相分子に付着させることにより、前記中性気相分子をイオン化して、質量分析する。上記固体試料又は前記液体試料は加熱により還元性ガスを放出する試料である。上記測定対象物のガス化のための加熱は、固体試料又は液体試料の気化温度よりも低くかつ測定対象物の気化温度以上の温度で行われ、かつ、エミッタに酸化性ガスを付与する。 （もっと読む）

システム（２０）および方法が、レーザ・センサ（４２）を含む距離測定装置（４０）を利用して、例えば質量分光検出で使用される試料収集プロセス中に収集機器−表面間距離を制御する。レーザ・センサは、収集機器（２３）と固定位置関係で配置され、レーザ・センサと表面（２２）の間の実際の距離に対応する信号がレーザ・センサにより生成される。収集機器が表面から試料収集に望ましい距離で配置されたときに、レーザ・センサと表面の間の実際の距離が、レーザ・センサと表面の間のターゲット距離と比較され、必要に応じて、実際の距離がターゲット距離に近づくように調整される。
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システム（２０）および方法は、例えば質量分析検出で使用するためのサンプリング・システムにおける収集機器−表面間距離を制御するために画像分析手法を利用する。そのような手法は、収集機器（２３）又は表面（２２）に落ちたその影の画像を取得し、線平均輝度（ＬＡＢ）技術を利用して収集機器と表面との実際の距離を決定することを含む。次に、実際の距離は、必要に応じて自動化された表面サンプリング操作において収集機器−表面間距離を再最適化するためにターゲット距離と比較される。
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