【課題】イオン化ビームの試料への照射の時間的ばらつきによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる質量分布分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の質量分布分析方法は、一次イオンビームを試料に照射し、発生した二次イオンを検出する質量分析方法であって、この一次イオンビームは進行方向に対して垂直な方向への広がりを有し、かつ軌道を偏向することにより、一次イオンビームに含まれる各々の一次イオンの一次イオン源から試料表面までの行路長を調整したうえで、試料表面に対して斜めに入射される。 （もっと読む）