【課題】 エッチングの進行に伴って形成されるクレーターが深くなっても、試料の深さ方向の組成プロファイルの正確な測定が行える二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、試料面内の一次イオンビームが照射される範囲内にマークを形成し、このマークを含む領域に対して一次イオンのラスタースキャンを行い、特定組成の二次イオンの信号強度について一次イオンビームのスキャン範囲とマークの位置関係とその変化を検出し、クレーター底部における二次イオン計測範囲の位置を試料面に平行な向きに移動しないように補正する二次イオン質量分析方法に関する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス作業後、及び、装置稼動前に行う装置性能の校正作業を迅速に安価に行えるようにする。
【解決手段】（１）イオン源８に流入させる試料ガス流量を常に一定にするため、イオン源、及び、質量分析部を有する真空チャンバー１３に設けた真空計２０ａ，２０ｂの真空度変化からバルブ６の絞り部径、オリフィス１５の径などを求め、基準値との差分を補正するため、試料導入部、イオン源、真空チャンバーの真空度を変化させる手段を有する。
（２）イオン源でのプラズマ生成状態を一定にするため、放電電圧、放電電流、プラズマ発光強度を計測し、現状の状態を把握し、基準値との変化分を補正するため、放電電圧などの放電条件を変化させる手段を有する。
（３）質量分離部に流入するイオン量を常に一定にするため、オリフィス径の変化分を補正するため放電時間などの放電条件を変化させる手段を有する。 （もっと読む）

【課題】試料物質の同定にとって重要となる反応イオン種の特定又は制御を可能にする大気圧コロナ放電イオン化システム及びイオン化方法を提供する。
【解決手段】針電極(1)の先端部が大気圧下のイオン化領域(α)に配置される。大気成分又は溶媒分子は、針電極のコロナ放電によりイオン化して反応イオン(Y^-)を生成する。試料イオン(M＋Y^-)が試料分子(M)と反応イオンとの反応により生成し、質量分析装置(MS)のオリフィス(7,11,21)に導入される。針電極は、曲面に成形された先端面(4)を備える。針電極の相対位置又は相対角度の設定により先端面及びオリフィスの相対位置が設定され、或いは、イオン化領域に発生する電場又は電界の電位勾配が制御され、これにより、オリフィスに流入する反応イオンのイオン種が特定され又は制御される。 （もっと読む）

【課題】ユーザーの手間を軽減しながら、指定されたイオンの質量電荷比に応じた質の良いマススペクトルを得ることができる飛行時間質量分析装置及び飛行時間質量分析方法を提供すること。
【解決手段】記憶部５０は、既知物質の質量電荷比の値と、イオン源１０の遅延引き出し法に関連する遅延引き出しパラメーターを含む所与の調整パラメーターの値との対応関係を定義する調整テーブル５６を記憶する。パラメーター調整部４５は、調整テーブル５６に基づいて、指定された質量電荷比の値に対応付けられる調整パラメーターの値を算出する。パラメーター設定部４１は、パラメーター調整部４５が算出した調整パラメーターの値に基づいて、イオン源１０の遅延引き出しパラメーターを設定する。飛行時間計測部４２は、遅延引き出しパラメーターが設定されたイオン源１０で発生したイオンが検出器３０に到達するまでの飛行時間を計測する。 （もっと読む）

【課題】別個の電源を必要とせずに、電子衝撃方式にて効果的にグリッドをデガス処理し得る低コストの四重極型質量分析計を提供する。
【解決手段】本発明は、フィラメント４２及びグリッド４１を備えたイオン源４と、４本の円柱状の電極を周方向に所定間隔で配置してなる四重極部３と、四重極部を通過した所定のイオンを捕集するイオン検出部２とを有する。フィラメントに直流電流を通電する電源Ｅ１と、グリッドに対してフィラメントより高い電位を印加する電源Ｅ２と、グリッドとフィラメントとの間に所定の電位差をつくるためにフィラメントに所定の電位を与える電源Ｅ４と、四重極部の相対する電極に、正、負の直流電圧と交流電圧とが重畳した電圧を印加する電源Ｅ３と制御ユニットＣとを備える。四重極部用の電源を介して正、負の両電圧間の電位差に相当する電圧をグリッドに印加し得るように構成される。 （もっと読む）

【課題】基板上の試料分子の質量に関する情報を取得するための質量分析装置において、試料成分やマトリックスより産出されるプロトンを無駄なく捕獲し、該プロトンを飛翔中の中性試料分子に有効に付着させることにより、試料分子の検出感度を向上させる質量分析装置を提供すること。
【解決手段】一次ビームの軌跡を一次ビーム軸とし、該一次ビーム軸と基板上の試料表面が交わる点を中心点とし、中心点を通り基板法線方向に延びる軸を中心軸としたときに、中心軸に対し該一次ビーム軸と線対称をなす軸に対して３０度の角度で円錐状に広がる領域内に電極を配置する。この電極を使い発生させた電界により、一次ビームの照射により飛翔するプロトンを捕獲し、該プロトンを同様に飛翔する中性試料分子に付着させる。 （もっと読む）

【課題】高分子材料を高感度に分析可能であり、且つ、質量スペクトルと高分子の種類の選択性も高いレーザイオン化質量分析装置を提供する。
【解決手段】高分子材料をイオン化してその質量を分析するレーザイオン化質量分析装置は、試料台１０とイオンビーム源２０とレーザ光源３０と分析部４０とからなる。試料台１０は、高分子材料が配置される。イオンビーム源２０は、試料台に配置される高分子材料にイオンビームを照射する。レーザ光源３０は、試料台の表面に平行にレーザ光を照射するものであり、イオンビーム源からのイオンビームにより試料台に配置される高分子材料から放出される高分子材料由来の分子にレーザ光を照射し、高分子材料由来の分子をイオン化する。分析部４０は、レーザ光源からのレーザ光によりイオン化される試料を質量分析する。 （もっと読む）

【課題】 小型・簡単な構成で、質量分析部へイオンを高効率に導入して分解能を向上させる。
【解決手段】 質量分析部へ試料を導入する試料導入配管部と質量分析部との間に、間欠的にガス導入を行って試料通過を制御するための開閉機構を設け、試料導入配管部の高圧側、つまり、開閉機構に対して質量分析部とは反対側の圧力が100Pa以上10,000Pa以下となるように排気するポンプ機構を備えた質量分析装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で試料のイオン化量を制御することのできる電界脱離イオン源を備えた質量分析装置を提供する。
【解決手段】（１）タングステン芯線の表面に炭素ウィスカーを生成させ、該炭素ウィスカーに試料を付着させたエミッタ、（２）前記エミッタの対向電極として、前記炭素ウィスカーの先端に高電界を発生させるための高電圧が印加可能なカソード電極、（３）前記炭素ウィスカーの先端に高電界を発生させ、その結果生成した試料イオンを収束させ、後段の質量分析部に該試料イオンを輸送するレンズ電極、を備え、前記カソード電極に印加される高電圧は、後段の質量分析部で検出されるイオンの信号強度に基づいて、イオンの信号強度が予め指定された値を超えたときには電圧を下げる方向に変更され、イオンの信号強度が予め指定された値を下回ったときには電圧を上げる方向に変更される。 （もっと読む）

【課題】大型化を伴うことなく多成分を有する試料について短時間で正確な定性／定量分析を行うことが可能なイオン分子反応イオン化質量分析装置を実現する。
【解決手段】複数のイオン源３−１〜３−４が互いに直列に接続され、イオン源３−１〜３−４のうちのいずれに高電圧源７から放電針８により電圧が供給されるかが制御・解析部６により制御される。複数のイオン源が稼動した場合、試料導入部１に近いイオン源では通常のＡＰＣＩとなり、生成されたイオンは排除電極９によりイオン源外に排除される。イオン化しなかった残留中性分子は引出電極１０により質量分析部側のイオン源に送られる。イオン源３−１〜３−４の各段の組み合わせにより、１段だけでは検出が難しい成分も検出が可能となる。 （もっと読む）

過渡電圧プロファイルを印加してイオンパケットを加速させるマスフィルタを有する質量分析計である。電圧プロファイルは、質量対電荷比が高くなるにつれて高くなる運動エネルギー及び質量対電荷比が高くなるにつれて低くなる速度を各イオン種に付与する関数形を有するように選択される。イオンは、当該イオンの運動エネルギーに基づいて、かつ電圧プロファイルの関数形を考慮して異なるイオン種を区別するイオン検出器において検出される。適切な電圧プロファイルは、正弦関数、三角関数、及びのこぎり波関数などの周期関数を含み、これによってマスフィルタ内の駆動パルスの増幅が、構築が簡易で安価な狭帯域増幅段によって実行されることが可能になる。 （もっと読む）

サンプル調製と前処理とを組み合わせうるシステムおよび方法、ならびにサンプルの分析に圧縮空気の支援も溶媒の連続流も必要としない、サンプルを質量分析するためのイオン化プロセスに対する満たされていないニーズが存在する。本発明は、一般にサンプルの質量分析分析のためのシステムおよび方法に関する。ある実施形態において、本発明は、高電圧源に接続された少なくとも１つの多孔質材料であって、溶媒の流れとは分離している多孔質材料、を含む質量分析プローブを提供する。
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【課題】イオン分布画像の画質を保持しつつ、飛行時間を収束させる。
【解決手段】試料１８をパルス的にイオン化するレーザー光源１５と、試料１８の上流に位置するサンプルプレート１１と、試料１８の下流に位置し、レーザー光源１５が試料１８をイオン化した時点において、サンプルプレート１１と自身との電位差により、生成されたイオンを試料１８の表面から引き出す引き出し電極１２と、引き出し電極１２よりも下流に位置し、当該引き出し電極１２と自身との電位差により、引き出し電極１２によって引き出されたイオンを加速する引き込み電極１３とを備えている。引き出し電極１２は、自身と引き込み電極１３との電位差によってイオンが加速されている間に、当該イオンが正イオンの場合には自身の電位を所定量上げ、当該イオンが負イオンの場合には自身の電位を所定量下げる。 （もっと読む）

【課題】ＥＩ法によるイオン源でパルス的にイオンを出射させる場合に、同一m/zのイオンの収束性を高める。
【解決手段】熱電子生成用のフィラメント１２とイオン化室１０の熱電子導入口１０２との間にゲート電極１５を配置する。熱電子をイオン化室１０に導入して試料分子をイオン化した後に、ゲート電極１５に所定電圧を印加することで熱電子を遮断する。そして、その直前にイオン化室１０に導入された熱電子がイオン化室１０を通り抜けた後にリペラ電極１４にイオン出射用電圧を印加し、イオン化室１０内のイオンに初期運動エネルギを付与してイオン化室１０からパルス的に出射させる。その時点ではイオン化室１０内に熱電子が殆ど存在しないため、熱電子による電場の乱れはなく、イオンの挙動は熱電子の影響を受けない。また、熱電子がリペラ電極１４に衝突することによるノイズも抑制できる。 （もっと読む）

【課題】衝突室中での減衰を伴うタンデム飛行時間型質量分析計およびその使用のための方法を提供すること。
【解決手段】第一の飛行時間型質量分析計の、衝突減衰を伴う衝突室の使用によって、直交加速を伴う時間飛行型質量分析計を含む、種々のタイプのいずれか１つの第２の質量分析計への有効な結合を提供する。本発明のタンデム質量分析計の一般的な好ましい実施態様は以下を備える：飛行時間型質量分析計に連結されたイオンのパルス発生器；時限式イオンセレクタ；投入されたイオンビームを衝突によって減衰させるため、そして飛行時間型質量分析計および時限式イオンセレクタと連絡してフラグメンテーションを誘起するために、十分に高圧の気体で充填された衝突室；ならびにフラグメントイオンを分析するための第二の質量分析計。 （もっと読む）

【課題】イオン化効率（感度）の低下と凝縮・吸着の両問題を改善する。
【解決手段】金属イオンを放出するエミッタを有するチャンバーと、前記チャンバー内に中性分子を導入する分子導入部と、前記チャンバー内に他のガスを導入するガス導入部と、前記チャンバー内における前記中性分子に前記金属イオンを付着させる領域の温度を制御する制御部と、前記金属イオンが付着した中性分子の質量を分析する質量分析計とを有し、前記制御部は、前記中性分子に前記金属イオンが付着したときの付着エネルギーを横軸、前記金属イオンを付着させる領域の温度［℃］を縦軸とすると、前記領域の温度［℃］＝１５０×付着エネルギー［ｅＶ］及び１００×付着エネルギー［ｅＶ］−５０、２０℃並びに、付着エネルギー［ｅＶ］＝２．１及び０．５で囲まれる範囲から、前記領域の温度１５０℃以上かつ２００℃以下の範囲を除いた範囲にあるように前記領域の温度を調整する。 （もっと読む）

本発明は、断層アトムプローブの一般的な分野に関し、特に、分析されているサンプルの蒸発を実現するために、電極に印加される電気パルスを用いる断層アトムプローブに関する。
これらの電気パルスを生成するために、本発明による断層アトムプローブには、半導体材料のチップを含む電気接続部によって電極に接続された高電圧発生装置が含まれる。プローブにはまた、半導体チップに印加される光パルスを生成するように制御できる光源が含まれる。照射全体を通して、チップは導電性にされるが、これは、電位ステップが電極に印加されるように、高電圧発生装置および電極を電気的に接触させる。プローブにはまた、時間間隔Δｔ_０の終わりに、前のステップと反対振幅の電圧ステップを印加するための手段が含まれ、その結果、電極は、最終的に期間Δｔ_０の電圧パルスを受信する。 （もっと読む）

【課題】分可能を低減させずに従来に比して小型化し得るイオン化装置及びイオン化方法を提案する。
【解決手段】緩和振動が生じる電圧値以上となるパルス状の駆動電圧を半導体レーザに印加し、パルス状の特異ピークをもつレーザ光を半導体レーザから出力させ、パルス状の特異ピークをもつレーザ光を、マトリックスとサンプルとの混晶に集光する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、高い効率で測定対象物質の質量分析を行うことができる質量分析装置を提供することにある。
【解決手段】レーザ光が照射されることでプラズモンを励起し得る金属体が形成された表面を有し、表面に測定対象物質を付着させるデバイスを支持するデバイス支持体、デバイス支持体が内部に固定された真空チャンバ、デバイスの表面にレーザ光を照射して、前記表面に付着している測定試料をイオン化するとともに、表面から脱離させる光照射手段、及び、デバイスの表面から脱離されイオン化された前記測定試料の飛行時間から前記測定試料の質量を検出する検出手段とを有する分析装置本体と、複数の前室ユニットとを有し、各前室ユニットは、分析装置本体及び他の前室ユニットに対して独立した真空系であり、それぞれが分析装置本体にデバイスをセット、回収することで上記課題を解決する。 （もっと読む）