【課題】イオン移動度測定と質量分析を単一装置で行う事により、輸送工程の排除や解析の自由度を増すシステムを提供する。
【解決手段】単一組の複数の電極に異なる電位を異なる時間に印加する事により、イオン移動度に基づく分析（ＦＡＩＭＳ）と質量分析（ＭＳ）とを単一装置で実行可能とする。前記複数の電極は、分離装置内の単一の室１０に外部円筒電極１４と同軸配置された環状棒電極１２とを備える。ＦＡＩＭＳを実行する際には、環状棒電極１２は定電位又はグラウンドに維持され、非対称ＦＡＩＭＳ波形が外部円筒電極１４に印加される。 （もっと読む）

【課題】パルスカウント型検出器において、検出器電圧と計数値との関係でプラトー領域が明瞭でない場合であっても、計数の正確性と検出器の長寿命化とを両立できる適正な検出器電圧の自動設定を行う。
【解決手段】検出器電圧を低電圧から段階的に上げつつ、各電圧で二次電子増倍管からの出力信号を２値化したパルス信号の計数値を順次取得する（Ｓ１、Ｓ２）。計数値が得られる毎に係数値の差分値と二階差分値を求め（Ｓ３、Ｓ４）、電圧増加に伴う計数値の増加率の変化を示す二階差分値が０以下になったならば準プラトー領域であるとみなす（Ｓ５、Ｓ６）。測定終了後、準プラトー領域内で最大計数値を真の計数値とし、感度に応じた許容計数値範囲内で最小の検出器電圧を適切な電圧に決める（Ｓ９、Ｓ１０）。 （もっと読む）

【課題】ファラデーカップと二次電子増倍管を備えるイオン検出器において、小型化・低価格化を可能とする。
【解決手段】イオンビームが通過する開口部１２を有する筐体１１と、開口部１２を通るイオンビームの飛行方向延長線上に位置するファラデーカップ２０と、飛行方向延長線からそれた方向にイオンビームの入射部３２を有する二次電子増倍管３０とを備えるイオン検出器１０であって、ファラデーカップ２０は、飛行方向延長線上に位置する底板部２１と、底板部２１の周囲に設けられた側板部２２ａ，２２ｂと、側板部２２ａ，２２ｂに囲まれた内部を複数の空間に区画する仕切り板部２３とを有し、側板部２２ａ，２２ｂは、入射部３２に近い側から遠い側に向かって高さが連続的または段階的に増大し、仕切り板部２３は、入射部３２から遠い側板部２２ｂの高さよりも低く、かつ入射部３２に近い側板部２２ａの高さよりも高く形成されている。 （もっと読む）

本発明は、ガスサンプル中の特定の分子量を有する物質の総積算濃度を測定するためのイオンゲージ１０に関し、イオンゲージ１０は、イオン化源１の近傍のイオン化領域と、イオン化された分子の流れＩを生成する加速器２，３，４と、流れを中断して前記範囲に入る分子量を有するイオンをイオン化された分子から分離する質量フィルタ８と、ガスサンプル中に存在するそのようなイオンの総積算濃度を表す信号を生成する検出器７とを備える。本発明はさらにリソグラフィ装置とガスサンプル中の所定範囲内に入る分子量を有する物質の総積算濃度を測定する方法に関する。 （もっと読む）

完全に平坦な形態を有し、要素は平坦な非導電性基板に配置され、扇形とりわけ９０°の扇形として構成される、イオンのためのエネルギーフィルター（ｋ）と、イオン化チャンバー（ｂ）と、電子およびイオンを加速するための電極（ｇ、ｈ、ｊ）と、イオンの検出器（ｌ）と、エネルギーフィルター（ｋ）とを含むことを特徴とする質量分析計は、基板に、ドープした小さな半導体プレートおよび配線のフォトリソグラフィーおよびエッチングにより作られ、前記の部品は第２の平坦な非導電性基板により覆われている。
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【課題】試料に応じて適した検出器を切り換えて使用できるようにする。
【解決手段】イオン検出器は、イオンを受け取る入口開口部と、ファラデーカップと、電子増倍器と、入口開口部を通して受け取ったイオンを方向づけるよう配置されたイオンビームコントローラとを備える。コントローラは、受け取ったイオンがファラデーカップによって検出されるようにコントローラが作動する第１の構成と、受け取ったイオンが電子増倍器によって検出されるようにコントローラが作動する第２の構成との間で切り替え可能である。 （もっと読む）

【課題】電子増倍管を使用する質量分析器の感度およびダイナミック・レンジを最適化する。
【解決手段】質量分析システムなどのイオン検出器制御電圧を最適化する方法において、質量走査データのアレイを取得する。アレイ、またはアレイの一部内の最大ピークの大きさに基づいて、現在の検出器利得を新しい検出器利得に変更すべきか否かについて決定される。現在の検出器利得を変更すべきならば、後続の質量走査の制御電圧が、新しい検出器利得に対応する新しい制御電圧に調整される。データは、現在の検出器利得に基づいてスケーリングされる。他の方法では、較正のために利得対制御電圧曲線を作成する。これらの方法は、ハードウェア、ソフトウェア、アナログもしくはデジタル回路および／またはコンピュータ読み取り可能媒体または信号保持媒体で実現されうる。 （もっと読む）

マスク（１０）は第１マイクロチャネルプレート（２ａ）と第２マイクロチャネルプレート（２ｂ）との間に設置される、質量分析計のためのイオン検出器が提供される。マスク（１０）は、実質的に同時に２つの集電アノード（５、６）を照射する第２マイクロチャネルプレート（２ｂ）からの二次電子雲を生成するイオン到達イベントを防止する。また、マスク（１０）は強度が著しくばらつく電子雲が出射されることを防止する。
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質量分析計の焦点面検出器アセンブリは、この質量分析計の焦点面を横切るイオンを検出するような形態の検出器、およびこの焦点面に平行な平面に、この質量分析計の磁石を出るイオンが、上記イオン検出器と接触する前に上記メッシュを通過するように位置決めされるように横たわる電気伝導性メッシュを含む。このメッシュは、回路接地に対して低電圧電位で維持され、これは、マイクロチャネルプレート電子増倍管のようなその他のデバイスからの高電圧電荷から上記磁石を通過するイオンを遮蔽する。このメッシュは、上記磁石に直接取り付けられ得るか、またはいくらか離れた距離に位置決めされる。上記検出器のアレイは、ファラデーカップ検出器アレイ、ストリップ電荷検出器アレイ、またはＣＣＤ検出器アレイを含む、任意の適切なデバイスを含み得る。
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