【課題】遮光マスクがなくてもパネルにダメージを与えることなく必要な波長の光をパネルに照射することができる光照射装置、およびメタルハライドランプを提供すること。
【解決手段】メタルハライドランプと二重管と酸化膜とを有する。メタルハライドランプは、筒状、石英ガラス素材の発光管を有する。二重管は、メタルハライドランプの発光管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第１の管である内管と、内管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第２の管である外管とを備え、第１の管と第２の管との間の空間に流体を流し得るようにその間の空間が閉じられた空間である管である。酸化膜は、二重管の外管の外面上、または二重管の内管のメタルハライドランプに対向する面上に形設された、膜厚が０．４μｍ以上、１．０μｍ以下の、チタン、シリコン、ビスマスまたはセリウム、およびタンタルを含有する膜である。 （もっと読む）

【課題】 複数の棒状の高圧放電ランプが、各々のランプ中心軸が一方向に延びる状態で、当該一方向に並んで配置された構成のものにおいて、ランプ点灯初期時と同様の均一な照度分布が長時間の間安定して得られる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、各々バルブの内部に一対の電極が対向配置された複数の棒状の高圧放電ランプが、各々のランプ中心軸が一方向に延びる状態で、当該一方向に並んで配置された構成のものにおいて、隣接する２つの高圧放電ランプの各々の端部には、遮光体が設けられており、当該２つの高圧放電ランプの一方の高圧放電ランプが他方の高圧放電ランプに対して、均一な照度分布が得られるよう前記一方向に調整された位置に配列されている。 （もっと読む）

【課題】放電管に外管が被嵌された高圧放電ランプの外周に水冷管が設けられた高圧放電ランプの両端に、保持ブロックが着脱自在に設けられてなる水冷式放電ランプユニットにおいて、保持ブロックを樹脂製としても、水冷管の端部から紫外光が放射されて保持ブロックの壁面を劣化させることのないようにした水冷式放電ランプユニットを提供することである。
【解決手段】前記保持ブロックは樹脂製であって、該保持ブロックの壁面に対向する前記水冷管の端部には紫外光遮蔽部材が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属ベースの温度を所定温度に維持可能な紫外線ランプ装置を提供する。
【解決手段】紫外線ランプ装置は、紫外線ランプ１０の端部１２を板状の金属ベース１３に載置し、この金属ベース１３を冷却機構２０により冷却する紫外線ランプ装置であって、冷却機構２０は、内部に冷却液の流路２４が設けられ、耐食性を有する冷却体２１と、冷却体２１よりも熱伝導性が高く、金属ベース１３と冷却体２１との間に配置される伝熱体２２とを備え、かつ流路２４は、金属ベース１３と伝熱体２２との接触面Ａとすべて略平行に設ける構成とする。 （もっと読む）

【課題】 波長３２０〜３５０ｎｍの光照射が必要なプロセスに好適で、余分なフィルタ部材を必要とせずに紫外線照射可能なメタルハライドランプを提供する。
【解決手段】 ３２０〜３５０ｎｍの波長域の紫外線を照射するメタルハライドランプであって、発光管内に希ガスとハロゲン化インジウムとが封入され、
該発光管は、チタン、セリウム、スズ、及びバナジウムの酸化物が少なくとも１種以上添加された石英ガラス製部材から構成され、前記ランプ点灯時の光透過率が、波長３００ｎｍ以下で１０％未満で、波長３２５ｎｍで２０％以上３０％以下、波長３５０ｎｍで５０％以上７０％以下、波長４００ｎｍ以上で９０％以上であり、かつ波長３２０〜３７０ｎｍでは波長が長波長側へ向かうにつれて光透過率が単調に増加する分光透過率特性を有し、前記ハロゲン化インジウムの封入密度は０．０５〜０．２ｍｇ／ｃｍ^３である。 （もっと読む）

【課題】放電管の外周に外管が被嵌された高圧放電ランプと、該高圧放電ランプの外管の周囲を覆うように設けられた水冷管とを備え、該冷却管と高圧放電ランプの間に冷却水流路が形成された間接水冷型高圧放電ランプ装置において、水冷管や外管が放電管からの紫外線歪によって破損することがなく、冷却水が漏洩してしまうようなことのない構造を提供することにある。
【解決手段】前記高圧放電ランプを構成する放電管の表面粗さを、前記外管および前記水冷管の表面粗さよりも大きくしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型であってコストダウンを図った簡素な構成でありながら殺菌並びに有機物分解といった処理能力のさらなる向上を実現した液体処理装置の提供。
【解決手段】 被処理液体が通される流路を有する１つの処理容器内に微細気泡発生手段と紫外線ランプとを配置してなり、同一の処理容器内で微細気泡の発生と紫外線照射とを時間間隔をあまり空けずにほぼ同時に行うことによって、これらによる複合効果により被処理液体の殺菌並びに有機物分解といった処理能力のさらなる向上を実現した。微細気泡が供給された直後の被処理液体に対して紫外線を照射すると、微細気泡中の酸素等が活性化されて殺菌並びに分解効率がより向上する。微細気泡が圧壊した直後の被処理液体に対して紫外線を照射すると、紫外線照射に応じて生成される活性ＯＨ基に加えてさらに微細気泡の圧壊に応じて生成される活性基が加わり、処理が加速されて殺菌並びに分解効率がより向上する。 （もっと読む）

【課題】コールドミラーである反射鏡を液体で効率よく冷却する手段を、簡便な構造により実現し、小型で安価な構成とすること
【解決手段】長尺なランプと、該ランプに沿って長手方向に配置される反射鏡を備え、該反射鏡の内面に紫外線を反射し赤外線を透過する反射膜を有する紫外線照射装置において、前記反射鏡の外面に近接して配置されるとともにこれを保持する反射鏡冷却保持体を備え、該反射鏡冷却保持体は内部に冷却液体が流通する流路を複数備え、該流路は該反射鏡冷却保持体の長手方向の両端部に開口を有し、該端部は蓋部材によって密閉されてなり、該蓋部材の内側に、溝状の折り返し流路部が形成されるとともに、一の流路と他の流路が折り返し流路部を介して空間的に連結されていること。 （もっと読む）

【課題】 不要でありカットしたい光の波長域と所望な光の波長域とが接近している場合でも、光学フィルター等の付帯的部材を用いることなく、所望の波長域の光を効率よく照射することができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】 主に紫外線を照射するための紫外線ランプと、該ランプの外周に水を流通させて該ランプを冷却する水冷ジャケットを備える紫外線照射装置において、ランプ発光管は普通石英ガラスから構成し、前記水冷ジャケットは、チタン、セリウム、スズ、バナジウムの酸化物が少なくとも１種以上添加した石英ガラス管から構成し、その表面温度をランプ動作中においても８０℃以下に維持する。 （もっと読む）

【課題】ランプ温度に耐え得る保温膜を電極周辺に塗布させ発光強度の向上を図る。
【解決手段】紫外線透過性の材料からなる気密容器１１と、この気密容器１１内に封装されている一対の耐火性金属からなる電極１３ａ，１３ｂと、気密容器１１内にアーク放電を維持するのに十分な量の希ガス、水銀、ハロゲンを封入してメタルハライドランプを構成する。電極１３ａ，１３ｂ周辺の気密容器１１の外表面には無機接着剤による保温膜を形成した。これにより、電極周辺の薬品の蒸発を活発化させ、発光強度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ランプ温度に影響を受ける紫外線ランプと処理ユニットとの距離に制限を加えることで、高入力電力の場合での早期の失透や黒化等を抑制する。
【解決手段】紫外線透過性の石英ガラスで気密性を有する放電空間１３を備えた発光管１４内の軸方向に一対の放電用の電極１５ａ，１５ｂを対向して配置する。放電空間１３内にアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン、発光金属からなる封入物を封入することで紫外線ランプ１００を構成し、点灯時に紫外光を発光させる。紫外線ランプ１００は、内管２１と外管２２との間に紫外線ランプ１００を冷却させる冷却液２４を循環させ、紫外線を透過させる二重構造の処理ユニット２００の内管２１内に収容する。紫外線ランプ１００と処理ユニット２００の内管２１との距離Ｄ［ｍｍ］と紫外線ランプ１００の入力電力Ｐ［Ｗ／ｃｍ］は、Ｄ≦−０．２Ｐ＋３５の関係を満足させるとともに、外管２２の内面に紫外線反射膜２５を形成した。 （もっと読む）

【課題】放電管の外周に外管が被嵌された二重管ランプと、該二重管ランプの外管の周囲を覆うように設けられた冷却管とを備え、該冷却管と二重管ランプの間に冷却水流路が形成された間接水冷ランプユニットにおいて、前記冷却管の修理等のメンテナンスを容易にした構造を提供することにある。
【解決手段】前記二重管ランプの外管の両端に保持ブロックが取り付けられ、該保持ブロックには、前記冷却管が着脱自在に取り付けられることにより、これらを一体化してユニットとし、前記保持ブロックには前記冷却水流路に連通する冷却水口が設たことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アゾ化合物などを含む高分子体の紫外線硬化剤においても硬化速度の向上を図る。
【解決手段】紫外線透過性の材料からなる発光管１１と、この発光管１１内に封装されている一対の耐火性金属からなる電極１３ａ，１３ｂと、発光管１１の気密容器１２内にアーク放電を維持するのに十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン化金属を封入してメタルハライドランプ１００を構成する。気密容器１２の外周に、ＴｉＯ_２、ＳｉＯ_２を含み、少なくとも３２０〜３４０ｎｍ以下の紫外線の透過を抑制させる金属酸化膜２０を形成した。 （もっと読む）

【課題】ランプ温度に影響を受ける紫外線ランプと冷却ユニットとの距離に制限を加えることで、高入力電力の場合での早期の失透や黒化等を抑制する。
【解決手段】紫外線透過性の石英ガラスで気密性を有する放電空間１３を備えた発光管１４内の軸方向に一対の放電用の電極１５ａ，１５ｂを対向して配置する。放電空間１３内にアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン、発光金属からなる封入物を封入することで紫外線ランプ１００を構成し、点灯時に紫外光を発光させる。紫外線ランプ１００は、内管２１と外管２２との間に紫外線ランプ１００を冷却させる冷却液２４を循環させ、紫外線を透過させる二重構造の冷却ユニット２００の内管２１内に収容する。紫外線ランプ１００と冷却ユニット２００の内管２１との距離Ｄ［ｍｍ］と紫外線ランプ１００の入力電力Ｐ［Ｗ／ｃｍ］は、Ｄ≦−０．２Ｐ＋３５の関係を満足するものとした。 （もっと読む）

【課題】 棒状ランプを液体により冷却しつつも、簡単に取り出し交換できる光源装置を提供すること。
【解決手段】 冷却ジャケット４の内部に高圧放電ランプ３が挿通され、冷却ジャケット４を保持固定するＯリング５１ａと、高圧放電ランプ３を保持固定するＯリング５１ｂとを備えたベース５が両端に取り付けられた棒状ランプ２と、中央に貫通孔７５が形成された継手側金具７１と、該貫通孔７５に対向するように配置された受け手側金具７２とよりなり、棒状ランプ２を囲繞して保持する表面に弾性体７６、７９が設けられた保持部７と、保持部７の貫通孔７５を挿通し、ベース５に接続する継手６と、を有し、冷却ジャケット４と高圧放電ランプ３との間に冷却液が流過することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができるようにする。
【解決手段】発光部を備え、第１方向に伸びるように形成されたガラス部材２５と、ガラス部材２５のその第１方向の一端部に連結される第１口金部材２６と、ガラス部材２５のその第１方向の他端部に連結される第２口金部材２８ｃとを備えた放電ランプ１であって、第１口金部材２６の外周面の少なくとも一部に設けられ、冷却用媒体が流通する第１流路２６ｄと、第２口金部材２８ｃを覆うカバー部材２８ｂと、第２口金部材２８ｃとカバー部材２８ｂとの間に形成され、冷却用媒体が流通する第２流路２８ｆとを有する。 （もっと読む）

【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができるようにする。
【解決手段】発光部を備えたガラス部材２５と、ガラス部材２５の第１方向側の端部に連結される第１口金部材２６と、ガラス部材２５を挟んで第１方向に沿った反対側に設けられる第２口金部材２８ｃとを備えた放電ランプ１であって、第１口金部材２６は、第１方向と直交する方向に突出した突出部２６ａと、突出部２６ａの外形形状より小さい第１軸部２６ｂと、第１軸部２６ｂと第１口金部材２６の他端部との間に設けられ、第１軸部２６ｂより小さい外形形状の第２軸部２６ｋと、第２軸部２６ｋより大きい第３軸部２６ｈとを備える。 （もっと読む）

【課題】水冷式のメタルハライドランプを点灯させた場合における電極周辺での黒化を抑える。
【解決手段】紫外線透過性の石英ガラスで気密性を有する放電空間１０を備えた気密容器１１内の軸方向に、一対の放電用の電極１２１，１２２を対向して配置する。放電空間１０内でアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀とともに、適量の紫外光を発光させる鉄およびハロゲンからなる封入物を封入する。封入物である鉄の封入量Ｍ（ｍｇ／ｃｃ）を、単位長さ当たりのランプ入力が５０〜１６０Ｗ／ｃｍがあるとき、放電空間１０の容積に対して、０．００１＜Ｍ＜０．１５の関係になる値に設定した。このように構成したことにより、放電空間１０の容積当たりに対する鉄の量を制限することで、水冷式におけるメタルハライドランプの電極付近での黒化を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】外管の内部に放電管が設けられ、外管の内径と放電管の外径とがほぼ等しく、外管と放電管の少なくとも一部が接触している高圧放電ランプにおいて、表面温度の不均一等により生ずる照度むらを抑制すること。
【解決手段】高圧放電ランプ１０は放電管１１と外管２０から構成され、高圧放電ランプ１０の一対の電極１６に給電部１から交流電圧を印加することにより点灯する。点灯時、冷却水流路６５内に冷却水Ｗを循環させることにより高圧放電ランプ１０は冷却される。給電部１は、定常点灯周波数ｆ１の駆動信号でインバータを駆動してランプ１０を点灯させるが、照度むらが生ずる前に、照度むらを解消することができるそれより周波数が低い周波数ｆ２の駆動信号を切り替えてランプ１０を点灯させる。これにより、定常点灯時に生じる陽イオンの密度分布不均一を解消し照度分布が不均一になるのを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】水冷ジャケット内にランプを配置する紫外線照射用光源において、水冷ジャケット内の圧力が高くなったとしても、圧力を下げ、水冷ジャケットの破損を防ぐことができる紫外線照射用光源を提供すること。
【解決手段】紫外線照射用光源の水冷ジャケットの内管と外管を支持するジャケットホルダにリリーフ弁を取り付ける。また、紫外線照射用光源を支持する基台のリリーフ弁の下方に開口を形成し、この開口の下に漏水センサを取り付けた貯水容器を設ける。 （もっと読む）