【課題】無電極ランプが点灯される両端部に配置のランプハウスと内側配置のランプハウスとのＲＦスクリーンの開口率を変え、配光分布の高均斉度化を図る。
【解決手段】マグネトロン１３からマイクロ波を発生させ、バルブ内に紫外線を放射させる放電媒体が封入された無電極ランプ２６が配置されたランプハウス２５からなる複数の紫外線照射部１０Ａ〜１０Ｄ内に放射する。無電極ランプ２６は、マイクロ波が放電媒体を励起させて紫外線を放射し、反射板２８１，２８２によりはランプハウス２５の照射窓３０から、被照射体に照射させるようにした。紫外線照射部１０Ａ，１０Ｄの照射窓３０に配置されるＲＦスクリーン３１の網目は、紫外線照射部１０Ｂ，１０Ｃの照射窓３０に配置されるＲＦスクリーン２９の網目に比べて、赤外線がカットでき、マイクロ波が漏洩しない範囲内で粗いものを使用した。これにより、配光分布の均斉度の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）