【課題】 本発明が解決しようとする課題は、基板処理部の端部領域における紫外線照度の低下を抑制することで、照射エリアの大面積化を図ることが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】 実施形態の紫外線照射装置は、紫外線処理される基板Ａが配置される基板処理部１と、基板処理部１と面するように格子状に配置された複数の紫外線照射ユニット２１を有する紫外線照射部２と、を具備する紫外線照射装置において、紫外線照射部２は、第１の紫外線照射ユニット２１Ａと、前記第１の紫外線照射ユニット２１Ａに対して基板処理部１の位置における紫外線照度のピーク値Ｐが高く、かつ、ピーク値Ｐの５０％の値以上を照射する照射面積Ｓが狭い第２の紫外線照射ユニット２１Ｂとを備え、紫外線照射部２の配列の少なくとも一部の行または列においてその中央領域に第１の紫外線照射ユニット２１Ａを、その端部領域に第２の紫外線照射ユニット２１Ｂを配列する。 （もっと読む）

【課題】例えば幅広ビーム源への使用に好適な、実用性に優れるラインプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】ラインプラズマ発生装置１０は、長手方向にマイクロ波を伝搬するための導波管１４と、長手方向に沿って配設され、導波管１４にプラズマを閉じ込めるための長手方向に交差する磁場を発生させるための磁石１６と、を備える。導波管１４は、側壁２４から管内に突き出して長手方向に延びるリッジ部２６を備え、リッジ部２６は側壁２４の外表面に長手方向に延びる凹部２８を形成してもよい。磁石１６は、凹部２８に配設されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな光照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の光照射装置は、内部に細長い第１の空間として空間２１を備える、長尺でかつ幅がＷ１である給気側ボックス（第１のボックス）２と、空間２１と連通するように給気側ボックス２に接続された給気ダクト（第１のダクト）４と、給気側ボックス２の長手方向に沿って配置されたＵＶ照射モジュール（光照射源）５１〜５６と、内部に細長い第２の空間として空間７１を備え、空間７１の長手方向が空間２１の長手方向に沿うように配置された、長尺でかつ幅がＷ２であり、Ｗ２＜Ｗ１を満たす排気側ボックス（第２のボックス）７と、空間７１と連通するように給気側ボックス７に接続された排気ダクト（第２のダクト）８と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の紫外線照射装置（光照射装置）は、給気ダクト４を介して内部に冷却媒体を給気可能な長尺で中空の給気ボックス２（ボックス）と、給気ボックス４の長手方向に沿って複数配置されたＵＶ照射モジュール５１〜５６（光照射源）と、給気ボックス４の長手方向に沿って複数設けられた、内部に空間６１１〜６６１を備え、空間６１１〜６６１を介してＵＶ照射モジュール５１〜５６に冷却媒体を供給する分岐ダクト６１〜６６と、複数の分岐ダクト６１〜６６の近傍に設けられた、空間６１１〜６６１において障害物となることにより、分岐ダクト６１〜６６を通過する冷却媒体の風量を調整可能な風量調整機構９１〜９６と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で複数の紫外線照射装置を適切に冷却できる紫外線照射システムを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、紫外線照射システムは、複数の紫外線照射装置を有する紫外線照射モジュールと、複数の冷却ダクトと、複数のブロアと、制御装置とを備えている。紫外線照射モジュールは複数のグループにグループ分けされ、複数の冷却ダクトはグループごとに設けられている。同じグループに属する複数の紫外線照射装置のそれぞれのランプハウスの内部は、グループごとに設けられた共通の冷却ダクトに通じている。制御装置は、同じグループに属する複数の紫外線照射装置の中で熱負荷が最大の紫外線照射装置を検知して、熱負荷が最大の紫外線照射装置に合わせた風量制御をそれぞれのグループごとに実行する。 （もっと読む）

【課題】それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】光照射装置は、内部に細長い空間２１を備える長尺の給気側ボックス２と、出風口４１を備え、出風口４１から空間２１に冷却媒体を供給可能なように、給気側ボックス２に接続された給気ダクト４と、空間２１の長手方向に沿うように配置されたＵＶ照射モジュール５１〜５７（光照射源）を具備している。さらに、給気側ボックス２１は、空間２１の長手方向に沿うように設けられた分岐ダクト６１〜６７と、分岐ダクト６１における空間２１の高さＨ１を、分岐ダクト６２における空間２１の高さＨ２よりも低くするように設けられた傾斜面２３をさらに備えているとともに、給気ダクト４の出風口４１は、傾斜面２３に向かって冷却媒体を送風するように、空間２１の長手方向の端部に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波を利用した放電ランプにおいて、高い発光効率を得られるとともに、放電容器にアークが触れることによる放電容器の過熱を抑え、クラックの発生を防ぐことを技術的課題としている。
【解決手段】 筒状導電性容器（１）内に導電性棒状部材（５）を設置し、導電性棒状部材の端面と筒状導電性容器（１）の第二の端面（３）との間で強い電界を発生させ、この空間に一対の電極を設けた発光管（１１）を配置することによりマイクロ波エネルギーを効率よく結合させる。筒状導電性容器内には反射鏡（１６）を配置してもよく、発光管から放射された光を効率よく利用することができる。 （もっと読む）

【課題】紫外線照射モジュールを複数配置しても、実用に供する均斉度を実現する。
【解決手段】ランプハウス１１内に、マイクロ波を発生するマグネトロン１３２および導波管１５２、それにマイクロ波による励起に基づき紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２を配置する。無電極ランプ１２から照射される紫外線は、直接それに平板状の反射板２１１，２１２で反射させて被照射体に照射させる。無電極ランプ１２に対する反射板２１１．２１２は、垂直方向に３６±２°の角度αで左右の位置にそれぞれ取り付ける。このように構成された紫外線照射モジュールを複数並べて配置した場合に、均斉度の向上を図ることのできる大面積照射が可能となる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波放電ランプ装置において、放電ランプとアンテナを連結した場合に、放電ランプからアンテナへの熱伝導を小さくする。
【解決手段】金属製のチャンバーと、金属製チャンバーの内部に配置された放電ランプとアンテナを備えたマイクロ波放電ランプ装置において、放電ランプは放電容器と支持部からなり、支持部によって放電容器とアンテナが連結され、支持部の光軸垂直断面の有効断面積が放電容器の光軸垂直断面の外径面積よりも小さくなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】ランプハウス内に格子状に配置された複数の紫外線照射部のメンテナンス性の向上を図る。
【解決手段】マイクロ波に基づき、紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が収容されたランプハウス１１からモジュール化された紫外線照射部１００を構成する。紫外線照射部１００から放射される紫外線は、リフレクタ２１１，２１２を用いて集光または拡散させながら照射室２００に配置される被照射体に照射させる。紫外線照射部１００と照射室２００は、紫外線は通過し、マイクロ波は遮蔽する電磁シールド２４が配置される。格子状に配置の紫外線照射部１００の何れかのメンテナンスを行う場合、行方向に選択的に紫外線照射部１００を取り出すようにした。 （もっと読む）

【課題】ランプ交換や調整などのメンテナンスに要する作業時間の短縮化を図る。
【解決手段】マイクロ波を発生するマグネトロンおよび導波管を介してマイクロ波に基づき、紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が収容されたランプハウス１１からモジュール化された紫外線照射部１００を構成する。紫外線照射部１００から放射される紫外線は、リフレクタを用いて集光または拡散させながら照射室２００に配置される被照射体に照射させる。紫外線は通過し、マイクロ波は遮蔽する電磁シールド２４が配置される。電磁シールド２４は支持枠３０に複数取り付けられ、行方向に複数配置された紫外線照射部１００に対向させる。支持枠３０は電磁シールド２４を取り付けた状態で取り出し可能とした。照射室２００から紫外線照射部１００に対するメンテナンス性を向上させることができる。 （もっと読む）

ファラデー箱を半透明な共振器（１）に設ける方法であって、前記共振器がマイクロ波で励起可能な材料を含む内部空間（２）を有し、前記内部空間内の発光プラズマを駆動するために前記共振器及び前記ファラデー箱内部のマイクロ波共振に適合するように構成されており、・前記半透明な共振器に導電性材料を蒸着する工程と、・不要な箇所の前記導電性材料が露出したままになるように、前記導電性材料上にフォトレジスト材料を適用し、パターン形成し、現像する工程と、・必要な箇所の前記導電性材料から、不要な箇所の前記導電性材料及び前記フォトレジスト材料を除去し、ファラデー箱となる導電性材料の細線網（１１）を残す工程と、・前記導電性材料のファラデー箱上に保護材料層を蒸着する工程と、からなるファラデー箱を半透明な共振器（１）に設ける方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】メタルハライドランプの長手方向の両端部における温度分布の低い部分を解消させて３５０〜３８０ｎｍの波長域における発光効率の改善を図る。
【解決手段】略円筒形状の石英ガラス製の発光管１１で放電空間１３を形成し、この放電空間１３内に、少なくとも希ガスと放電媒体となる水銀それに鉄等の放電媒体が封入して無電極のメタルハライドランプ１００を構成する。メタルハライドランプ１００はマグネトロンより放射されるマイクロ波により、放電媒体である鉄が３５０〜３８０ｎｍの紫外線を発光させる。発光管１１に放電空間１３を形成させる封止部１２１，１２２には、発光管１１の有効発光長を侵害しない範囲で無機の保温膜１５１，１５２を形成する。これにより、マイクロ波の発光管１１の両端に位置する定在波の谷の部分に起因する最冷点温度の発生を防止することで発光効率の向上を図ることができる。 （もっと読む）

ランプは、透明な石英材料からなるマイクロ波共振器本体（11）を有している。前記本体(11)は、ボア内に挿入された密封されたプラズマの筐体バルブ（17）を有する中央ボア（16）を有している。バルブ（17）も石英材料からなり、前記ボア（16）に密着して嵌合するような外径を有している。このバルブ（17）自身は引き抜かれた石英製チューブ（18）からなり、内面が滑らかなボア（19）を有している。端部の蓋体（20）は、チューブ（18）に溶融され、本体（11）のボア（21）内のアンテナ（７）を介して本体（11）にマイクロ波が供給されたとき、バルブ（17）内において発光プラズマを形成するように励起可能な材料を内包している。この本体（11）は、ファラデー箱（12）の内部で共振を確立できるように、本体（11）とバルブ（17）ならびに当該バルブ（17）の内部の充填材を包含した内部空間とのサイズを決められる。バルブ（17）と本体（11）の間の間隔は、共振目的上、一つと見なすことができるように無視できるほど小さくされている。バルブ（17）は、溶融（23）によって本体（11）に固定されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波の漏洩を防止してマイクロ波エネルギーを効率よくプラズマに伝送することが可能とされ、光の取り出し効率を高めることができるマイクロ波ランプ用の筐体、発光効率の高いマイクロ波ランプ、光源装置、プロジェクターを提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ波ランプ用の筐体１３は、中心導体８Ａ，８Ｂと、一方に開口端を有する導体筒部７と、中心導体８Ｂにマイクロ波を供給するコネクター４Ａ，４Ｂとを備え、マイクロ波の波長をλｇ、ｎを０以上の整数、ｍを自然数とすると、導体筒部７は、軸方向長さがλｇ／４のｍ倍とされＴＥＭモードのマイクロ波を共振させる共振部と、軸方向長さがλｇ／４のｍ倍とされ共振部とコネクター４Ａ，４Ｂとのインピーダンスマッチングを行うマッチング部と、軸方向長さがλｇ／１６のｍ倍とされコネクターとマッチング部との間に設けられたインピーダンスキーパー部と、を有している。 （もっと読む）

光源は、マグネトロン（１）によって電力を供給され、励起可能な充填物を有するプラズマ空洞（８）を備える石英ルツボ（２）を備え、使用時には当該石英ルツボ（２）から光が放射される。二つのアルミニウム連結ブロック（３，４）が共に連結され、前記ブロック（３）は前記マグネトロン（１）のケーシング（５）にネジ（図示せず）で連結される。前記石英ルツボはファラデーケージ（６）によって前記ブロックに連結され、当該ファラデーケージ（６）はその縁部（７）で前記ブロック（４）に固定される穴のあいた金属包囲体の形状をなす。前記マグネトロンの出力構造（１１）は、当該出力構造（１１）に電気的に接触して適合する導電性の銅キャップ（１２）を有する。前記キャップは銅ロッド（１４）によって延長される。前記ロッドは、前記ブロック（３，４）を通って、前記ルツボ（２）内の内径（１５）の中まで伸びており、前記マグネトロンから前記ルツボの中にマイクロ波を連結する。空隙（１６）が前記ブロック３内において前記キャップ（１２）の周りに備えられる。前記キャップから、前記ロッドは、アルミナセラミックスチューブ（１７）内をごくわずかな空隙を有しつつ、この空隙と、前記ブロック（３）の終端壁の開口部に配置される前記ブロック（４）のボス（１８）と、を通過して伸びる。 （もっと読む）

２４５０ＭＨｚのＴＭ０１０モードで動作するため、石英製の半透明のルツボは直径４．９ｃｍで長さ２．１ｃｍである。中心軸と距離があるものの中央のボイド空間に近い端部にあるアンテナ凹部と共に、密閉されたプラズマのボイド空間は、中心軸上の中央に配置されている。様々なＴＥモードでも実施可能である。 （もっと読む）

無電極のマイクロ波のランプ１は、マイクロ波源としてのマグネトロン２と、内部でプラズマを発生させる励起可能な材料を有する半透明のルツボ５とを有している。前記マグネトロンからのマイクロ波を前記ルツボに結合させるために、中空の導波路の結合回路４が設けられており、入力部である前記マグネトロンの出力は一端から１／４λ離れた位置に設けられ、前記ルツボ対する入力である出力部が他端から１／４λ離れた位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波の漏洩を低減するとともに、光源装置全体を小型化することが可能な構造を提供する。
【解決手段】本発明の光源装置１は、マイクロ波を出力するマイクロ波電源と、マイクロ波の入力を受けて発光する発光物質が充填される発光空間Ｋを有した発光管１０と、発光空間Ｋを挟んで発光管１０の一方の側に設けられ、マイクロ波電源に電気的に接続された第１電極１１ａと、発光空間Ｋを挟んで発光管１０の他方の側に設けられた第２電極１１ｂと、第２電極１１ｂの発光管１０に設けられた側と反対の側の端部に電気的に接続され、マイクロ波によって発生する電界の一部を打ち消すように配置された補助線３０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）