【課題】 騒音が小さく、リブのトップ面の突起部を正確に除去することが可能なパターン修正方法を提供する。
【解決手段】
このパターン修正方法では、その先端部が研磨テープ４０の裏面に当接される研磨ヘッドピン４１をＺ方向に移動可能に設けておき、上方からリブ１３の正常なトップ面５５に向けて研磨テープヘッドを下降させ、研磨ヘッドピン４１が基準位置よりも上方に移動開始したときのＺ座標Ｚ１を検出し、そのＺ座標Ｚ１に基づいて、突起部５６を上方から正常なトップ面５５まで研磨する。したがって、研磨テープ４０を用いるので、騒音は小さい。また、正常なトップ面５５の高さＺ１を正確に検出できる。 （もっと読む）