【課題】遮光マスクがなくてもパネルにダメージを与えることなく必要な波長の光をパネルに照射することができる光照射装置、およびメタルハライドランプを提供すること。
【解決手段】メタルハライドランプと二重管と酸化膜とを有する。メタルハライドランプは、筒状、石英ガラス素材の発光管を有する。二重管は、メタルハライドランプの発光管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第１の管である内管と、内管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第２の管である外管とを備え、第１の管と第２の管との間の空間に流体を流し得るようにその間の空間が閉じられた空間である管である。酸化膜は、二重管の外管の外面上、または二重管の内管のメタルハライドランプに対向する面上に形設された、膜厚が０．４μｍ以上、１．０μｍ以下の、チタン、シリコン、ビスマスまたはセリウム、およびタンタルを含有する膜である。 （もっと読む）

【課題】キセノンガスを含む放電ガスが封入された放電容器の内壁に紫外線反射膜が設けられると共に、紫外線反射膜を構成するシリカ粒子にＯＨ基が含まれているエキシマランプにおいて、点灯時間が経過するにつれて紫外線の照度が低下することのないエキシマランプを提供すること。
【解決手段】シリカガラスよりなる放電容器１１の内壁に、シリカ粒子とアルミナ粒子よりなる紫外線散乱粒子により形成された紫外線反射膜１８を有するとともに、キセノンを含むガスを封入したエキシマランプ１０において、前記紫外線反射膜のアルミナ濃度Ｙ（ｖｏｌ％）と、該紫外線反射膜のシリカ粒子中のＯＨ基濃度Ｘ（ｗｔ．ｐｐｍ）は、Ｙ≧１３．７ｌｏｇ_ｅ（Ｘ）＋１．２の関係を満たすこと。 （もっと読む）

【課題】
本願の目的は、冷却水による冷却効果を効果的に得られる高圧放電ランプ及びこれを具備した光照射装置を提供することである。
【解決手段】
第１の発明に係る高圧放電ランプは、発光金属が封入された発光部と該発光部の両端から伸びる封止部とからなる放電管と、該発光部の内部で対向配置された電極と、該電極に電気的に接続されると共に封止部の両端から突出する外部リードと、からなる高圧放電ランプにおいて、該放電管を囲繞する外管を設け、該放電管と該外管との間に介在物を設け、該電極間の外方における該放電管と該外管との隙間が該介在物の厚み以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本願の目的は、加熱による破損を防止すると共に、過冷却による水銀未蒸発を防止した高圧放電ランプ及び光照射装置を提供することにある。
【解決手段】
第１の発明に係る高圧放電ランプは、内部に一対の電極が対向配置されると共に少なくとも水銀が封入される発光部と該発光部の両端から伸びると共に箔を埋設する封止部とからなる放電管と、該封止部の両端から突出する外部リードと、該外部リードに接続された給電線と、からなる高圧放電ランプにおいて、前記放電管の外周面の少なくとも一部が外管の内周面に接触状態で配置され、前記電極の径方向にある前記放電管と外管の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成され、前記封止部の一方と外管との間に無機接着剤を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 安定した出力が長時間の間にわたって確実に得られる高圧放電ランプおよびこのようなランプが確実に得られる製造方法並びに所期の光照射処理が確実に実行可能な光照射装置の提供。
【解決手段】 高圧放電ランプは、両端が封止された棒状の内管の内部に、一対の電極が対向配置されると共に少なくとも水銀が封入されてなる放電管と、外管とによる二重管構造とされており、外管の内部において、放電管がその外周面の少なくとも一部が外管の内周面に接触状態ないしは密着状態で配置されてなり、放電管における、少なくとも前記電極の周囲に位置される部分の外周面と外管の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成されている。上記高圧放電ランプは、外管内に放電管を挿入配置した状態で、加熱することにより放電管を膨張させ、放電管と外管とを密着させる工程を含む方法により得られる。光照射装置は、上記高圧放電ランプを具えてなる。 （もっと読む）