【課題】 共振型の振動ミラーにより走査される光ビームを光検出センサなどの検出手段で検出し、該検出結果に基づき振動ミラーを制御する光走査装置において、振動ミラーが破壊されるのを未然に防止する。
【解決手段】 光検出センサからの出力信号に基づき偏向器の振幅変動を監視することによって偏向器の最大振幅角がミラー破壊に至る程度の振幅角、つまり破壊限界角に向けて増大しているという異常動作を確認している。そして、異常動作の確認後、直ちに偏向器の駆動を停止している。そのため、ノイズや外乱などにより偏向器の作動部に対して不適切なミラー駆動信号が与えられたとしても、ミラーの駆動を停止させて偏向器の破壊を確実に防止することができる。 （もっと読む）