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Fターム[5C094DB00]の内容

要素組合せによる可変情報用表示装置 (81,180) | 電気的接続 (3,264)

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フラットパネルディスプレイ相互接続システムに使用するための基板上に銅相互接続層を堆積させる方法であって、a)前記基板をフォトレジスト層で被膜する工程と、b)前記フォトレジスト層をパターン化し、前記フォトレジスト層中にパターン化された少なくとも1つのトレンチを含む、パターン化されたフォトレジスト基板を得る工程と、c)パターン化されたフォトレジスト基板上に第1の触媒層を提供する工程と、d)前記第1の触媒層上に堆積された絶縁層の無電解めっき層を設ける工程と、e)少なくとも1つのトレンチの中を除いて、連続して重ねられたフォトレジスト層、触媒層および絶縁層を除去し、第1の触媒層のパターンを、その上に堆積された絶縁層と共に得る工程を含む。
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