Fターム[5C127BA11]の内容
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電界電子放出素子の製造方法
【課題】 コスト負担が少ない簡単な処理により電子放出特性に優れた電界電子放出素子を製造方法を提供する。
【解決手段】 基板4上に、カソード電極5を形成し、このカソード電極5上に、電子放出部6(エミッタ)を、真空蒸着法で形成し、該エミッタ6に対して、機械的な表面処理、例えば、スクラッチ処理、スクライブ処理、ブラスト処理、あるいは、バフ処理を行って当該エミッタ6の表面を荒らして微細な凹凸を形成し、電界が集中して電子を放出する電子放出サイトを増加させるようにしている。
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