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Fターム[5C127DD38]の内容

冷陰極の製造 (9,839) | 特徴のある製造対象の製造方法 (3,577) | 成膜方法 (1,814) | 使用材料 (71)

Fターム[5C127DD38]に分類される特許

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【課題】面発光型蛍光発光装置において、十分な電子放出効率が得られる陰極の製造方法および構造を提供する。
【解決手段】タングステンまたはモリブデンからなる電極層1の上に、Ru又はYを構成材料とし電子放出層よりも小さい抵抗率を有する導電性の第2の層2を、スパッタにより1nmから200nmの厚さに成膜し、第2の層2の上に電子放出層として、仕事関数が第2の層2の金属よりも小さく、且つ3.6eV以下の希土類材料からなる層をリアクティブスパッタにより1原子層から10nmの間の膜厚に積層形成する。 (もっと読む)


【課題】電子放出材料の電極基板からの剥離を防止し、かつ電子放出源マトリックスの硬化度を最適化して活性化処理時に起毛しやすく、電子放出特性の良好な電子放出源用ペーストおよびそれを用いた電子放出素子を提供すること。
【解決手段】電子放出材料、シリコーン、および一般式(1)で表されるシラン化合物を含む電子放出源用ペースト。 (もっと読む)


【課題】低電圧で電子放出可能で、さらに長寿命の電子放出が得られる電子放出源用ペーストを提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブ等の電子放出材料、無機粉末および有機成分を含む電子放出源用ペーストであって、無機粉末として鉛を含有しないハンダ粉末を含む電子放出源用ペースト。無機粉末として、さらに導電性金属酸化物やガラス粉末を含む。 (もっと読む)


【課題】絶縁破壊が発生し難いと共に、容易で安価に製造でき、安定かつ良好な量の電子放出が可能な電子放出素子を提供する。
【解決手段】電子放出素子1は、電極基板2と薄膜電極3との間に、微粒子の層よりなる電子加速層4を有しており、電極基板2と薄膜電極3との間に電圧を印加すると、電子加速層4で電子を加速させて、薄膜電極3から電子を放出する。ここで、電子加速層4は、微粒子として絶縁体微粒子5を含み導電微粒子は含まず、かつ、絶縁体微粒子5間にはワックスが存在している。 (もっと読む)


【課題】従来の電子放出素子に比べて格段に電子放出効率に優れた素子特性を有する電子放出素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】電極基板2と薄膜電極5との間に形成された電子加速層8は、球形のシリカ微粒子6を含む第1の微粒子層3と、紡錘形の酸化チタン微粒子7を含む第2の微粒子層4とが積層されてなる積層構造を有し、第1の微粒子層3が電極基板2側に、第2の微粒子層4が薄膜電極5側に位置する。上記シリカ微粒子6及び酸化チタン微粒子7の各微粒子表面には、塩基性分散剤が付着している。 (もっと読む)


【課題】長期にわたって連続して駆動できる電子放出素子を提供する。
【解決手段】この発明によれば、第1電極と、第1電極上に形成され、開口部を有する絶縁層と、前記絶縁層上に形成され、前記開口部を挟んで第1電極と対向するとともに、その一部が前記絶縁層と重なるように配置された第2電極と、第1及び第2電極と前記絶縁層との間に配置され、絶縁性微粒子及び導電性微粒子で構成された微粒子層と、を備え、第1電極と第2電極との間に電圧を印加し、第1電極から放出される電子を前記微粒子層で加速させて第2電極を透過するように構成したことを特徴とする電子放出素子が提供される。 (もっと読む)


【課題】 消費電力が抑制され、電子放出の効率が高い電子放出素子を提供する。
【解決手段】この発明によれば、第1電極と、第1電極上に形成され、絶縁性微粒子で構成された絶縁性微粒子層と、前記絶縁性微粒子層上に形成された第2電極とを備え、前記絶縁性微粒子が単分散微粒子であり、第1電極と第2電極との間に電圧を印加し、第1電極から放出される電子を前記絶縁性微粒子層で加速させて第2電極から放出させるように構成したことを特徴とする電子放出素子が提供される。 (もっと読む)


【課題】適度な電圧の印加により十分な電子放出量が得られる電子放出素子を提供する。
【解決手段】この発明によれば、第1電極と、第1電極上に形成され、絶縁体微粒子で構成された絶縁体微粒子層と、前記絶縁体微粒子層上に形成された第2電極と、を備え、前記絶縁体微粒子層は、第2電極側の表面に前記絶縁体微粒子層の層厚よりも深さが小さい凹部が形成され、第1電極と第2電極との間に電圧が印加されると、第1電極から供給される電子を前記絶縁体微粒子層で加速させて第2電極から放出させる電子放出素子が提供される。 (もっと読む)


【課題】有機バインダのみに依存せずに機械的膜強度が確保でき、平坦形状が簡便に得られ膜内に気泡を抱え込むことがなく、また、ナノチューブ以外の不純物を必要以上に除去するような複雑なCNT精製工程を無くすことを可能とし、バンドル径増大による電子放出特性の劣化を軽減できるCNT膜を提供する。
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブ(CNT)及び粒子状不純物を含むCNT膜12は、断面及び表面構造におけるCNT12aと粒子状不純物との面積比が0.5:99.5〜40:60の範囲に設定されている。このようなCNT膜12において、粒子状不純物を、CNT12aを製造する際にCNT12aと共に得られる不純物で構成することができる。 (もっと読む)


【課題】素子作成工程が単純であり、機械的、電気的に安定な冷陰極電界電子放出素子を提供する。
【解決手段】本発明は、SiC結晶基板の上に金属膜を堆積させ、加熱処理し、SiCと金属を反応させて形成した金属シリサイドと、この反応プロセスでSiCとの反応にあずからないカーボンをグラファイト状クラスターとして金属シリサイド内或いは最表面層に析出させて作成した表層構造物からなり、この表層構造物を冷陰極電子放出素子として機能させると共に、SiC基板を電極として機能させる。 (もっと読む)


【課題】イオンビームを用いてエッチングを行うときに、素子特性に悪影響を及ぼすことのない電界放出陰極の製造方法を提供する。
【解決手段】(a)基板1上に絶縁層2と、ゲート電極層3と、加熱によりHv95〜140の範囲のビッカース硬度を発現する熱硬化性樹脂からなる犠牲層4とをこの順に形成し、犠牲層4を180〜210℃の温度に所定時間保持して硬化させる。(b)集束イオンビームを照射して、犠牲層4とゲート電極層3とに開口部5を形成する。(c)犠牲層4とゲート電極層3とをマスクとして絶縁層2をエッチングして空孔部6を形成する。(d)基板1に対して垂直上方からエミッタ材料7を蒸着させ、空孔部6内の基板1上にエミッタ電極8を形成する。(e)エミッタ材料7を犠牲層4と共にゲート電極層3上から除去する。 (もっと読む)


【課題】電子放出量を向上させることができる電子放出素子を提供する。
【解決手段】電子放出素子1は、電極基板2と薄膜電極3との間に電子加速層4を備え、電子加速層4は、電極基板2側から順に、微粒子層5および保護層6を備える。微粒子層5は、絶縁体微粒子7と絶縁体微粒子7の平均粒径よりも小さい平均粒径の導電微粒子8とを含んでおり、保護層6は、電子輸送剤9とバインダー成分10とを含んでいる。 (もっと読む)


【課題】厚膜形成時においてもクラックが発生せず、かつ透明性・耐熱性・平滑性に優れたFPD部材を、少ない塗工回数で形成可能な材料を提供すること。
【解決手段】(A)シリカ粒子と、(B)下記式(1)で表されるオルガノシランなどと、(C)有機金属化合物とを含有し、かつ前記有機金属化合物(C)を、前記シリカ粒子(A)(但し、固形分換算とする。)と前記シラン化合物(B)(但し、完全加水分解縮合物換算とする。)との合計100重量部に対して、0.0001〜10重量部の範囲で含有することを特徴とするフラットパネルディスプレイ部材形成材料。
1nSiR24-n ・・・(1) (もっと読む)


【課題】電子線及び電子ビーム機器や真空管、特に、電子顕微鏡や電子ビーム描画装置等の電子光学機器に使用される、量産性に優れ入手の容易な遷移金属炭化物を用いた高輝度電子源を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡、電子ビーム描画装置等の電子光学機器に使用される電子源であって、電子放出部分は表層部と基材部からなり、該表層部は遷移金属炭化物であり、該基材部はダイヤモンド単結晶であることを特徴とする電子源により解決される。 (もっと読む)


本発明は、電気化学セルを用いる、カーボンナノチューブ(「CNT」)の基板上への電気化学堆積に関する。CNTの錯体およびアニオン性ポリマーの分散体を中和し、これにより、セルの陽極プレート上に堆積させる。
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【課題】従来の電子放出素子よりも少ない工程で製造され、単位面積あたり均一に電子を放出する電子放出素子を提供する。
【解決手段】長さ3μmを超える金属酸化物からなる突起形状が、金属酸化物面上の1mm×1mmの面積あたり5〜100000個の密度で存在し、かつ長さ3μmを超える金属酸化物からなる任意の突起形状100個の和平均長さをχ、標準偏差をσとした場合、χ≧5μm、かつχ+σ/2以上の長さを持つ突起形状の最大長さをLmax 、最小長さをLmin とした場合、1≧Lmin /Lmax ≧1/3であることを特徴とする金属酸化物からなる電界放出型電子放出素子。 (もっと読む)


【課題】 誘電体層の成膜性を向上しつつ、より良好な特性を実現する。
【解決手段】 誘電体デバイスの製造方法において、以下の工程を有する。(1)混合工程:母材の粉末と、当該母材の焼結のための添加剤の粉末と、を混合する。(2)混合物熱処理工程:前記混合工程を経た、前記母材と前記添加剤との混合物を、熱処理する。(3)成膜層形成工程:前記混合物熱処理工程を経て得られた前記原料粉末を、前記基板に向けて噴射することで、当該基板に成膜層を形成する。(4)成膜層熱処理工程:前記成膜層形成工程を経て前記基板に形成された前記成膜層を熱処理することで、前記基板に前記誘電体層を形成する。 (もっと読む)


【課題】粒径が小さく、分散成長したCNFやGNFを有する電子放出源及びその作製方法の提供。
【解決手段】トリガ電極33と触媒金属で少なくとも先端部が構成されたカソード電極32とが、絶縁碍子34を挟んで隣接して配置され、カソード電極32とトリガ電極33との周りに同軸状にアノード電極31が配置されている同軸型真空アーク蒸着源3を備えている同軸型真空アーク蒸着装置2を用い、トリガ電極33とアノード電極31との間にトリガ放電をパルス的に発生させて、カソード電極32とアノード電極31との間にアーク放電を断続的に誘起させることにより基板上に形成された触媒金属からなる触媒粒子を用いて成長させたCNF又はGNFを有する電子放出源。 (もっと読む)


【課題】小さな電界で大きな放射電流を示す、冷陰極等に用いられる高性能の電極材料、及びその効率的な製造方法、並びに該電極材料を用いた安価で性能の良い電界放射装置を提供する。
【解決手段】炭素繊維のような導電性繊維の円周方向に放射状に酸化亜鉛系ウィスカーを成長させることによって電極材料を構成する。好ましい酸化亜鉛系ウィスカーとしては、アルミニウム添加酸化亜鉛ウィスカーが用いられる。また、大気圧開放型のCVD装置を使用し、導電性繊維に直接通電加熱することによって繊維表面にウィスカーを成長させることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】電界放出素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板110と、基板110上に形成されるものであり、基板110を露出させるスロット状のカソードホール113を持つ複数のカソード電極112と、カソードホール113それぞれを通じて露出された基板110上に設けられるものであり、カソードホール113の両側から離隔してカソードホール113の長手方向に沿って形成されるエミッタ130と、カソード電極112を覆うように基板110上に形成されるものであり、カソードホール113と連通する絶縁層ホール115を持つ絶縁層114と、絶縁層114上に形成されるものであり、絶縁層ホール115と連通するゲートホール117を持つ複数のゲート電極116と、を備える電界放出素子。 (もっと読む)


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