【課題】駆動電圧が低く、かつ電子放出特性を均一化できる電子放出素子を得ること。
【解決手段】真空中でスペーサーを介して配置されたカソード基板とアノード基板、前記カソード基板に形成された電子放出源とを備える電子放出素子において、前記電子放出源の表面を活性化処理する工程と、前記活性化処理の後に前記電子放出源を４００〜５００℃の温度範囲で焼成する工程を含むことを特徴とする電子放出素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧が低く、かつ電子放出特性を均一化できる電子放出素子を得ること。
【解決手段】真空中でスペーサーを介して配置されたカソード基板とアノード基板、前記カソード基板に形成された電子放出源とを備える電子放出素子において、ＵＶオゾン法による電子放出源の表面処理工程を備える電子放出素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】基板表面においてナノ炭素材料をパターニングして成長させることの出来るナノ炭素材料複合基板製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、複数の微粒子を基板表面に配列し、該微粒子間の空隙からナノ炭素材料を成長させる。複数の微粒子を基板表面に配置したとき、微粒子は粒径に従って自己整合的に配列されることから、該微粒子間の空隙から成長したナノ炭素材料は、基板表面においてパターニングされて成長することになる。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノチューブで構成されるスクリーン印刷可能なペーストを使用して、ペーストを印刷し、電子電界エミッタを形成する工程を含む陰極アセンブリを作製する方法を提供すること
【解決手段】 電子電界エミッタを形成するためにカーボンナノチューブが固形分の総重量に対して９重量パーセント未満を占める、固形分にカーボンナノチューブを含むスクリーン印刷可能なペーストを使用して電子電界エミッタを形成することにより、該電子電界エミッタを含んだ陰極アセンブリを作製すること、または、さらに材料と電子電界エミッタを接触させ、その材料を剥離し電子電界エミッタの一部を除去するか、あるいは電子電界エミッタを再配列させ、電子電界エミッタの新たな表面を形成する工程を含むことを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】複数の電子放出素子を有する電子源基板の製造において用いられる、電子放出素子の配線に電圧を印加する電圧印加プローブにおいて、導通性能を向上させ、より大型の電子源基板の製造に対応する製造装置を提供する。
【解決手段】先端に開口部を有するブロック１０５の該開口部を導電シート１０２で覆い、開口部内に配置させた弾性体１０３によって該導電シート１０２を支持し、導電シート１０２の両端部をブロック１０５の外側面においてそれぞれ、回路基板１０７に接続する。 （もっと読む）

【課題】高輝度の電界放出型フラットパネルディスプレイ（ＦＥＤ）、電界放出型ランプ（ＦＥＬ）等を製造するために、一定電圧の下で多くの電界放出電流が流れる冷陰極電子源を製造する方法を提供する。
【解決手段】導電性基板の上に酸化チタン等の金属酸化物からなる電子放出材料を有する冷陰極電子源を製造する方法において、電子放出材料に少なくとも紫外光を含む光を照射する。具体的には、導電性基板の上に形成した金属酸化物からなる電子放出材料を活性化処理する工程と電子放出材料に少なくとも紫外光を含む光を照射する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】電界放出型フラットパネルディスプレイ（ＦＥＤ）、電界放出型ランプ（ＦＥＬ）等に用いられる、安定した電子放出特性が再現性良く得られる電子放出材料を提供する。
【解決手段】異方性の粒子形状をもつ酸化チタン等の金属酸化物を用いた電子放出材料であって、異方性金属酸化物の長軸径の頻度分布が、複数の極大値を持つものを用いる。具体的には、異方性金属酸化物の平均長軸径が異なる少なくとも二種の異方性金属酸化物を混合して用いる。 （もっと読む）

【課題】 長期に渡って変動の少ない安定した電子放出特性を有する電子放出素子、電子源を提供する。
【解決手段】 基板の表面上で第１方向において離隔して設けられた一対の導電性膜と、各々が、該一対の導電性膜を接続し、間隙を備え、且つ、前記第１方向とは異なる第２方向において互いに離隔して設けられた、複数のカーボン膜と、を備える電子放出素子であって、 前記第２方向における前記複数のカーボン膜の間に、前記基板の表面の一部が露出しており、前記露出している部分が、前記基板の表面の一部であって前記複数のカーボン膜で覆われている部分を構成する材料よりも炭素の堆積を抑制する材料で構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子源の製造装置において、大型のポンプを設けることなく真空容器内の排気を短時間で行い、より効率良く電子源を製造する。
【解決手段】基板支持体３上に２枚の電子源基板２ａ、２ｂを載置し、真空容器１で覆って順次電圧印加処理を行う電子源製造装置であって、基板支持体３を降下させ、水平移動させて処理の終了した基板２ｂを排出し、次の基板２ａ上に真空容器１を配置し、再び基板支持体３を上昇させて真空容器１と基板２ａとで閉空間を形成するまで、真空容器１内を低露点ガスにてパージすることにより、真空容器１内への大気の侵入を阻止する。 （もっと読む）

本発明は、電界放出素子用のカソードアセンブリを製造するための方法に関する。
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本発明は、電界放出素子用のカソードアセンブリを製造するための方法に関する。
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【課題】カーボンを主体とする電子放出部形成膜に均一に且つ低電力で間隙を形成することで、優れた電子放出特性を有する電子放出素子を均一に且つ低い製造コストで提供する。
【解決手段】基板１上に、一対の電極３ａ，３ｂと、該電極間に挟持された電子放出部形成膜４とを有する電極部２を形成し、該電極間に通電処理を施すことにより、上記電子放出部形成膜４に間隙５を形成した電子放出素子であって、該電子放出部形成膜４が、カーボン中に第１の金属微粒子を分散させた第１の薄膜４ａと、該第１の金属よりも低融点である、或いは、１０００℃における蒸気圧が１．３３×１０^-3Ｐａ以上である該第２の金属を含む第２の薄膜４ｂとの積層膜とする。 （もっと読む）

【課題】カーボンを主体とする電子放出部形成膜に均一に且つ低電力で間隙を形成することで、優れた電子放出特性を有する電子放出素子を提供する。
【解決手段】基板１上に、一対の電極３ａ，３ｂと、該電極間に挟持された電子放出部形成膜４とを有する電極部２を形成し、該電極間に通電処理を施すことにより、上記電子放出部形成膜４に間隙５を形成した電子放出素子であって、該電子放出部形成膜４が、金属及びカーボンからなり、該金属の含有量が１乃至２０ａｔｏｍ％であり、且つ該金属が直径１乃至５ｎｍの微粒子形態である混合膜であって、該混合膜のバルクに対する密度比が０．７以上１．０以下である。 （もっと読む）

【課題】電子放出効率に優れ、大きな電子放出量を得ることができ、安定な電子放出特性を得ることのできる電子放出素子を提供する。
【解決手段】間隙５を介して配置する第１の導電性膜４ａ及び第２の導電性膜４ｂと、該第１の導電性膜４ａに接続された第１のカーボン膜６ａ１，６ａ２と、第２の導電性膜４ｂに接続され、第１のカーボン膜６ａ１，６ａ２とは間隙７ａ，７ｂを介して対向する第２のカーボン膜６ｂ１，６ｂ２と、を有し、間隙７ａ，７ｂに、連続する凹部９ａ，９ｂを有する素子とする。 （もっと読む）

【課題】電流波形の歪みを低減する。
【解決手段】接触端子を介して外部の給電端子へ電圧を印加する電圧印加装置１に設けられた給電プローブユニット１３０は、一端がスプリングプローブ１４１と接続されており、他端から入力された電圧をスプリングプローブ１４１へ伝送する接続電線１３３を有する。また、接続電線１３３の周囲を覆い、接続電線１３３の伸延方向における一端および他端それぞれとブスバー１５０とが接続されている電磁シールド部材１３２とを有する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブを有する感光性樹脂組成物においても、フォトリソグラフィーによって高感度で微細なパターンが加工可能な電子放出源用ペーストおよびそれを用いた電子放出素子を提供する。
【解決手段】針状炭素、無機粉末および感光性有機成分を含む電子放出源用ペーストであって、感光性有機成分が感光性樹脂および特定のアシルオキシム化合物から選ばれる少なくとも１種以上の光重合開始剤を含み、前記感光性樹脂は１）エチレン性不飽和基を有し、２）重量平均分子量が１１０，０００〜３００，０００である電子放出源用ペースト。 （もっと読む）

【課題】均一な電子放出特性を得られるような電子源の製造装置およびその製造方法と、それによって製造された電子源およびその電子源を用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の電子源の製造装置は、マトリクス配線された複数の電子放出素子のそれぞれに対し、活性化電流を流す通電活性化処理を施すことによって各電子放出素子を活性化する電子源の製造装置であって、各電子放出素子に活性化電流を流すために、行配線と列配線との間に電圧を印加する電圧印加手段と、前記通電活性化処理中に行配線と列配線の配線抵抗値を算出する配線抵抗値算出手段と、算出された配線抵抗値に基づいて、配線抵抗による電圧降下量を算出する電圧降下量算出手段と、算出された電圧降下量に基づいて、前記行配線と列配線との間に印加する電圧の値を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子源の製造に用いる基板の温度分布を均一とし、電子放出特性の優れた電子源を製造することが可能な電子源製造装置を提供する。
【解決手段】本発明の電子源製造装置は、電子放出素子が形成された基板を支持する支持体を有し、前記電子放出素子に電圧を印加することにより、前記電子放出素子の活性化を行う電子源製造装置であって、前記支持体は、前記基板の発熱を回収するための液体を流す流路と、前記基板が設けられる側の面に設けられた溝部と、を有し、前記流路と前記溝部とは、前記基板の面と平行な面において、互いに交差するように設けられており、前記溝部と前記基板との間には前記基板の発熱を前記支持体に伝達するためのガスが充填されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子放出素子の通電活性化において、階段状の電流計測パルスを用いて素子のＩ−Ｖ特性を適切に把握する方法、及び、予め測定した素子の特性に基づいて電流遅延の影響を算出し、通電活性化を効率的に実行する電子放出素子の製造方法を提供する。
【解決手段】量産前に予め活性化電流と電流遅延量の関係が一定以上の相関関係を持つ範囲を求めておく。量産時には活性化電流値が範囲に含まれる場合に素子の特性を計測するパルスの印加時間を短くすることができ、製造時のプロセスタクトが改善できる。 （もっと読む）

【課題】基板表面に集合配置した複数のカーボンナノチューブ等のカーボンファイバの先端部を電子放出性能に優れた活性化処理することを可能にする。
【解決手段】基板表面に集合配置した複数のカーボンファイバの各先端部とアノード電極との間隙に酸素を含むガスを導入すると共にアノード電極と該アノード電極に最近の先端部との間隙を最小最適間隙に制御することでその最近先端部に電界集中による通電電流を流してジュール熱を発生させ、このジュール熱で当該最近先端部を損耗させる操作を行うことで全体の先端部とアノード電極との間隙を均等制御し、また、上記間隙にアルゴンガス等を導入すると共に導入したガスをイオン化し、発生したガスイオンを先端部に加速衝突させて各先端部をスパッタリングや起毛処理することで活性化して各先端部の電界放射閾値電界を下げる。 （もっと読む）