【課題】 電気機械変換装置の振動膜の機械特性ばらつきを低減する。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置の作製方法は、第一の電極上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層上に第一のメンブレンを形成する工程と、前記第一のメンブレンに第二の電極を形成する工程と、前記第一のメンブレンにエッチングホールを形成し、前記エッチングホールを介して前記犠牲層を除去する工程と、前記第二の電極上に第二のメンブレンを形成する工程と、前記エッチングホールを封止する工程と、を有し、前記第二のメンブレンを形成する工程と、前記エッチングホールを形成する工程とは、同一工程であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来の振動膜は、圧縮応力を有するメンブレンをキャビティ側に用いていたため、振動膜が大きく撓んでいた。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置は、第一の電極と、前記第一の電極上に形成されたシリコン酸化膜と、前記シリコン酸化膜と間隙を隔てて形成されたシリコン窒化膜と、前記シリコン窒化膜上に形成され前記第一の電極と対向する第二の電極と、からなる振動膜と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電気機械変換装置の振動膜の特性のばらつきを低減する。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置は、基板と、前記基板上に形成された第一の電極と、前記第一の電極と間隙を隔てて形成されたメンブレンと、前記メンブレン上に形成され前記第一の電極と対向する第二の電極と、を有する振動膜と、を備える電気機械変換装置であって、前記第一の電極は、表面粗さの二乗平均平方根値が６ｎｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】必要に応じて可聴音の品質を高くすることができ、かつ消費電力が高くなることを抑制する。
【解決手段】周波数設定部１２０は、パラメトリックスピーカ１４０から出力される音声に要求される音声品質を示す情報を取得する。そして周波数設定部１２０は、取得した音声品質を示す情報に基づいて、変調信号の周波数を、複数のパラメトリックスピーカ１４０相互間で異ならせるか否かを判断する。そして周波数設定部１２０は、判断結果に基づいて複数のパラメトリックスピーカ１４０それぞれにおける変調信号の周波数を設定する。変調部１３０は、周波数設定部１２０が設定した周波数の変調信号を生成する。この変調信号は、各パラメトリックスピーカ１４０に入力される。 （もっと読む）

【課題】圧電セラミクスを用いる超音波探触子において、有機圧電体を積層し、この有機圧電体を音響整合層として用いると共に高調波の受信を行なう場合に、有機圧電体の共振能が低下することなく、高調波の受信を行なうことができ、受信信号の帯域を広げることができる超音波探触子を提供する。
【解決手段】無機圧電体の間隙および音響整合層の間隙を充填する、有機圧電体よりも音響インピーダンスが低い有機材料で形成された溝充填部材と、有機圧電体の上に形成される共通電極、および、前記共通電極と共に前記有機圧電体を挟んで配置される個別電極とを有し、個別電極が、無機圧電体の配列方向に分割されて配列されるものであり、かつ、少なくとも溝充填部材を覆って形成されることにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧電性能のばらつきが小さい、コンポジット材を積層した圧電部を備えた超音波探触子及び超音波診断装置を低コストで提供できる。
【解決手段】被検体に超音波を送信し前記超音波が被検体において反射して生成された反射超音波を受信して電気信号に変換する圧電部を有する超音波探触子。
圧電部は、圧電体と非圧電体とが交互に並列に配列されてなる複数の圧電層が積層されたものであり、
複数の圧電層のうち少なくとも１つの圧電層は、複数の圧電層のうち他の１つの圧電層と、圧電体と非圧電体の配列の方向が異なる。 （もっと読む）

【課題】圧電型の電気音響変換器を有する電子機器が小型であっても、後気室の空気容量を十分に確保することができる電子機器を提供する。
【解決手段】電子機器１００は、筐体１１０内に固定された回路基板２２０及び電気音響変換器２１０を有し、電気音響変換器２１０は、シート状の振動部材２１２と、振動部材２１２に取り付けられた圧電振動子２１１と、振動部材２１２を支持した支持部材２１３を有する。振動部材２１２と回路基板２２０との間に主後気室２４０が形成され、回路基板２２０と、回路基板２２０を基準として主後気室２４０とは反対側の筐体内面１１０ｂと、が離間している。回路基板２２０には、主後気室２４０に面する通気孔２２１が形成され、通気孔２２１を介して、主後気室２４０と、回路基板２２０と筐体内面１１０ｂとの間の空間である副後気室２５０と、が連通している。 （もっと読む）

【課題】分割振動の発生を抑制することができる圧電型の発振装置を提供する。
【解決手段】発振装置である電気音響変換器１００は、圧電素子１４０の略矩形の主面の四辺の略中央に凸部１４１が形成されている。このため、相対する凸部の先端間の距離を対角線と同長とすることで振動モードを縮退でき、分割振動の発生を抑制して音響特性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】送信する超音波の周波数帯域にばらつきが生じる場合であっても、効率よく反射波を受信でき、感度および動作信頼性を高めることができる超音波探触子を提供する。
【解決手段】圧電型振動素子を用いる送信部から送信する超音波の反射波を、静電容量型振動素子を用いる受信部が受信する。圧電型振動素子を用いる場合に比べ、静電容量型振動素子を用いる方が、使用超音波周波数帯域が広いので、送信部から送信する超音波の周波数帯域にばらつきが生じる場合に対応できる。 （もっと読む）

【課題】機械的強度、長時間の動作での信頼性、及び送受信感度が既存のＣＭＵＴデバイスに比べて高く、周波数帯域が広いＣＭＵＴ型超音波振動子ユニットの提供を目的とする。
【解決手段】超音波振動子１０は、凹部２２を有する基板２０と、基板２０に対して装着された振動膜３０と、基板２０及び振動膜３０の間に形成されたキャビティ４０とを有する。キャビティ４０の内部には、凹部２０の底面２２ａ側から振動膜３０側に隆起した柱状部２６が形成されている。超音波振動子１０においては、柱状部２６によって振動膜３０のばね定数が増加され、送受信感度が向上される。また、振動膜の変位量が少なくなるため、上下電極間の距離を狭めることができ、送受信感度が高くなる。更に、デバイス共振周波数の一次及び二次モードが近いため、送受信の周波数帯域が広くなる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で超音波送受信の性能を向上させることができる超音波トランスデューサ、超音波探触子および超音波撮像装置を提供する。
【解決手段】超音波トランスデューサは、基板１上に形成した下部電極２（第１の電極）の上に、内部に空隙４を有する内側ダイヤフラム層５ａを形成し、その上に上部電極３（第２の電極）、外側ダイヤフラム層５ｂを順に形成し、さらに外側ダイヤフラム層５ｂの上にダイヤフラムの対向する頂点間を結ぶ梁７を形成したものである。下部電極２と上部電極３とは、内部に空隙４を有する内側ダイヤフラム層５ａを介して対向し、コンデンサを構成する。 （もっと読む）

【課題】超音波を、より指向性を高くして放射する。
【解決手段】同一平面内の第１の領域と、その第１の領域に隣接する第２の領域とに、複数の超音波発生素子を配置したスピーカと、第１の領域に配置された超音波発生素子に第１の信号を供給し、第２の領域に配置された超音波発生素子には、第１の信号とは略逆位相の第２の信号を供給する信号供給回路とを備える音響発生装置を提供する。また、第２の領域の形状は矩形であり、第１の領域は、その矩形の相対する２辺に接して配置されていてもよい。また、超音波は、音声によって変調がされ、空気などの媒質の非線形特性により、音声が復調されるようになっていてもよい。 （もっと読む）

【課題】ハーモニックイメージングの高画質化に資する実用的な超音波プローブを提供する。
【解決手段】超音波プローブ１１は、第１超音波トランスデューサ（ＵＴａ）２７ａと第２超音波トランスデューサ（ＵＴｂ）２７ｂを有する。ＵＴａ２７ａは圧電体４０を上面、下面電極４１ａ、４１ｂで挟んだ単層圧電素子、ＵＴｂ２７ｂは複数配列されたｐＭＵＴ３６からなる。ＵＴｂ２７ｂは、ＵＴａ２７ａ同士の隙間上に配置されている。ＵＴａ２７ａは、超音波の送信および反射波のうちの基本波成分の受信、ＵＴｂ２７ｂは、反射波のうちの高調波成分の受信をそれぞれ担う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い圧電結合係数ｋの圧電層を有する改善された超音波変換器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、基板（１）と、膜（２）と、第１の電極（４）と、圧電層（５）と、第２の電極（６）とを夫々有する超音波変換器のアレイに関わり、基板（１）は、膜（２）と一つの側において隣り合う少なくとも一つの開口部（３）を有し、圧電層（５）は高い圧電結合係数ｋを有しテクスチャされている。本発明は、超音波変換器、及び、超音波変換器のアレイを製造する方法に更に関わる。 （もっと読む）

【課題】２つの共振周波数を持つ安価な超音波送受信を実現する。
【解決手段】
金属または樹脂からなる有底状のケースと圧電素子とからなる超音波送受信器において、
有底状のケースの底面に、圧電素子の外周を囲む突起を設ける事で、
２つの異なる共振周波数をもつ超音波送受信器を実現する。 （もっと読む）

【課題】従来より精度よく計測することができる超音波流量計及び超音波流量計用ノイズ波除去器の提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係る超音波流量計１０は、計測流路１３から分岐し計測用超音波を送受波可能な超音波送受波器２０を奥部に備えた素子受容凹部１５と、その円筒内面１６の中間部に近似波長ノイズ波除去溝１７とを備えている。そして、近似波長ノイズ波除去溝１７の溝幅を計測用超音波の半波長の整数倍としたことで、計測用超音波に近似した波長のノイズ波が計測流路１３内を伝播しても、そのノイズ波が近似波長ノイズ波除去溝１７が形成された領域Ｒ１を通過する際に低減又は除去することができる。これにより、ノイズ波の影響を抑えた計測が可能になり、従来より計測精度を上げることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の振動素子を備えた超音波プローブにおいて超音波の放射特性についての実用的な改善技術を提供する。
【解決手段】複数の送信用振動素子が連続的に配列されて送信素子領域１２を形成し、複数の受信用振動素子が連続的に配列されて受信素子領域１４を形成する。送信素子領域１２は、円状の振動子面１０の中心から外側に向かって伸長された複数の伸長領域部１２ａを含んでおり、これら複数の伸長領域部１２ａの間を充填するように、受信素子領域１４が形成されている。送信素子領域１２と受信素子領域１４が互いに入り組んでいるため、グレイティングローブ特性が改善される。また、送信素子領域１２と受信素子領域１４の各領域がデンス構造であるため、サイドローブが低減される。 （もっと読む）

【課題】 水中で使用される音響波の送波器において、特に低周波域で従来よりも大幅に広帯域化が可能な広帯域送波器を提供すること。
【解決手段】 金属ディスク２と、金属ディスク２の外側面に接着された金属ディスク２とほぼ同じ直径を有するアクティブ円板体１とから構成される円板状振動体６を２個有し、金属ディスク２は、内側面に半径方向に形成された複数の溝５と、溝５の中にそれぞれ設置されたボールベアリング３とを有し、２個の円板状振動体６は、金属ディスク２の内側面を対向させて配置され両端部にボールベアリング３を保持して形成された複数の金属シャフト４により結合され、ボールベアリング３と金属シャフト４の両端部が溝５の中を半径方向へ移動可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】高感度で高分解能の超音波画像を得ることができるとともに、容易に作成することができ、信頼性も向上することができる超音波探触子を提供する。
【解決手段】１チャンネル内の圧電素子１１０の配列方向（Ｘ方向）の間隔ｄを、Ｘ方向の幅振動モードの周波数が使用周波数領域（Ｚ方向の厚み縦振動モード）の中心周波数の２分の１（１／２）以下になるように設定して、Ｘ方向の幅振動モードの周波数を使用周波数領域から低周波数領域側に外す。 （もっと読む）

【課題】一対の電極で振動膜を均等な力で挟持でき、安定した膜振動が得られる静電型超
音波トランスデューサを提供する。
【解決手段】貫通穴を有する第１の電極と、貫通穴を有する第２の電極と、前記第１の電
極の前記貫通穴と前記第２の電極の前記貫通穴とが対をなすように配置されかつ前記第１
の電極と前記第２の電極とからなる一対の電極に挟まれるとともに導電層を有し、該導電
層に直流バイアス電圧が印加される振動膜と、を含み、前記一対の電極のうちいずれか一
方の電極の前記振動膜とは反対側の面における中央部付近を、凸形状を有する板状固定部
材の凸部が当接するようにして、該板状固定部材と前記一対の電極とを一体的に固定され
るとともに、前記一対の電極間には超音波周波数帯のキャリア波を可聴周波数帯の信号波
で変調した変調波が印加される。 （もっと読む）