【課題】 素子毎の電気信号を入出力する配線を各素子から素子基板の周辺部の接続パッドまで引き出す場合、素子毎に変換特性のばらつきが生じやすい。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置の回路部は、素子部の素子基板の前記反対側の面と接合された回路基板と、前記回路基板に形成された複数の第二の接続端子と、前記素子基板の裏面に形成された複数の第一の接続端子と前記第二の接続端子とを夫々電気的に接続する複数の第二の配線と、を有し、前記複数の第二の接続端子は、前記回路基板の前記素子基板が接合された面とは反対側の面に形成され、前記複数の第二の配線は夫々、前記回路基板に前記第一の接続端子毎に形成された貫通孔を通り、前記第一の接続端子と前記第二の接続端子とを電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、メンブレンを効率良く大きく変形させることができ圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の超音波探触子における圧電デバイスとしての超音波送受信部５は、積層された薄板状の圧電部材６２を有する円形状のメンブレン６と、電極とを備えている。電極は、圧電部材６２の第１領域６８と第２領域６９とに夫々電圧の印加に伴い互いに逆向きの応力が発生し得るように、前記圧電部材６２に設けられた複数組の一対の第１電極６３、６５及び第２電極６４を備えている。 （もっと読む）

【課題】２次元アレイプローブに適したｐＭＵＴ（Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ Ｕｌｔｒａｓｏｕｎｄ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）素子の高感度化、広帯域化を実現する。
【解決手段】振動部に外力を加えて共振周波数が調整可能な構成とする。送信時には、各ＭＵＴ素子に異なる外力を加えることにより広帯域化する。また受信時には、送信からの時間の経過に応じて共振周波数をシフトさせ、エコーの深さに合わせた効果的な周波数帯で受信する。 （もっと読む）

【課題】所望高周波成分の送波時の出力音圧あるいは受波時の出力電圧が１次モードのそれらよりも大きくなるようにする。
【解決手段】圧電層２４は、その層間及び両端の圧電体の表面に電極を有し、該電極によって電気信号の入出力を行う。圧電体は、それぞれ厚み方向に残留分極を有し、圧電正効果による電気変位又は電場の符号と残留分極の向きあるいは結晶軸との関係について、固定端側から４Ｐ＋１段目となる圧電体における関係を基準関係としたとき、これに接する４Ｐ＋２段目及びその上の４Ｐ＋３段目の圧電体では基準関係とは反対の関係、さらにその上の４Ｐ＋４段目の圧電体では基準関係と同一の関係となる周期性を持つように配列される。圧電層２４から固定端側に伝播する振動を反射させるための、圧電層２４よりも音響インピーダンスの大きいデマッチング層２３を、圧電層２４の固定端側に設ける。 （もっと読む）

【課題】各々の超音波発音体から支持体に伝わる振動を低減することで、音圧低下の防止とともに圧電素子の破壊を防止できる。
【解決手段】特定の方向と距離で決まる位置に情報を伝えるパラメトリックスピーカであって、交流電圧により圧電振動子１１５を振動させて超音波を発生させる複数の超音波発音体１１０と、複数の超音波発音体１１０のそれぞれを、圧電振動子１１５の振動の節Ｎとなる円周上の位置で支持する支持体１２１と、支持体１２１を固定する基板１２０とを備える。このように、圧電振動子１１５の節の位置で超音波発音体１１０が支持されているため、各々の超音波発音体１１０の振動の相互の影響を防止できる。 （もっと読む）

【課題】複数の無機圧電素子と複数の有機圧電素子とが積層形成されながらも高画質の超音波画像の生成を可能とする超音波探触子を提供する。
【解決手段】バッキング材１の表面上にピッチＰ１で複数の無機圧電素子２が配列形成され、複数の無機圧電素子２の上に、複数の無機圧電素子２の全体にわたって音響整合層３が延在し、音響整合層３の上にピッチＰ２で複数の有機圧電素子４が配列形成されている。複数の有機圧電素子４は、音響整合層３の表面に接する複数の信号電極層４２と、複数の信号電極層４２の上に接合され且つ複数の有機圧電素子４にわたって延在する共通の有機圧電体４１と、有機圧電体４１の上に接合され且つ複数の有機圧電素子４にわたって延在する共通の接地電極層４３とを有している。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきの小さい電気機械変換装置及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】電気機械変換装置１は、第１電極４と、間隙５を隔てて第１電極４と対向して設けられた第２電極６を備える振動膜７と、振動膜７を支持する支持部８と、で構成されるセルを複数有する。間隙５の外周部に、間隙５との間で支持部８の一部を介在させて、振動膜７と支持部８との間の段差を小さくするための構造物１０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】電極の電気抵抗が小さい圧電素子を用いる超音波プローブ、及び、超音波画像診断装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、開口部１１１を有する基板１１と、開口部１１１を閉塞する可撓性を有する支持膜１２と、支持膜１２上に形成されるとともに、平面視において、開口部１１１内に設けられる下部電極本体部２１、および下部電極本体部２１に接続されて、開口部１１１内外に跨って設けられる下部電極線部２２を有する下部電極層２０と、平面視において、開口部１１１内で、下部電極本体部２１上に形成される第一圧電体層３０と、平面視で開口部１１１の内外に跨って形成されるともに、少なくとも一部が第一圧電体層３０に積層され、かつ下部電極層２０と絶縁される上部電極層５０と、支持膜１２上で、下部電極線部２２の少なくとも一部を覆って形成される第二圧電体層４０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】セルを配置した基板を支持する支持部材に進入する弾性波を低減して、支持部材内で反射する弾性波による送受信特性の劣化を抑制することができる電気機械変換装置を提供する。
【解決手段】電気機械変換装置は、第２の電極１０５と間隙１０４を介して対向して設けられた第１の電極１０２を含む振動膜１０１を夫々有する複数のセル２００を基板１０６上に備え、送信動作及び受信動作の少なくとも一方を行う。基板１０６は、支持部材１１０との間にスペーサー間隙１１２が形成されるように、スペーサー手段１１１を介して支持部材１１１により支持される。セルを備えた基板１０６の面とは逆側の基板１０６の裏面と、この裏面に対向した支持部材１１０の面と、の間にスペーサー間隙１１２が形成され、スペーサー間隙内は、均一の気体または液体で満たされた状態に保たれている。 （もっと読む）

【課題】圧電材料の応力に応じて生じる強度が微弱な電気信号におけるＳ／Ｎが改善された圧電センサー及び超音波画像診断装置を提供する。
【解決手段】振動子２ａは、駆動信号が一次側電極２０４，２０５に与えられると圧電板２０１が振動して被検体に向けて送信超音波を出力するとともに、被検体からの反射超音波によって圧電板２０１に応力が加えられたときに、該加えられた応力に応じた受信信号を二次側電極２０６から出力する。ノイズ出力部１９は、一次側電極２０４，２０５に接続され、圧電板２０１に反射超音波によって応力が加えられるときに、ノイズを含む微小電圧Ｖ_Ｎを一次側電極２０４，２０５に印加して受信信号を確率共鳴現象により増幅させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、超音波の送受信の性能を向上させることができる超音波探触子および超音波診断装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の超音波探触子５は、薄板状の基板６１と、基板６１に積層された薄板状の圧電部材６２と、前記圧電部材６２に形成されたリング状の１対の第１及び第２電極６３，６４と、前記１対の第１及び第２電極６３，６４に電圧を印加した場合に生じる電界の方向である径方向に延ばされ複数の溝７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ケースに圧電素子を接着する際、接着剤が圧電素子に影響を与えないようにすることができるとともに、ケースに基板をより容易に実装することができる超音波センサ用ケース及びそれを利用した超音波センサを提供する。
【解決手段】本発明の実施例による超音波センサ用ケース１１０は、筒状であって、内側底面が圧電素子の配置領域１２１及び圧電素子の配置領域１２１の縁に沿って形成された第１の溝１２０を含む。 （もっと読む）

【課題】感度が高く製造が容易な超音波エレメントを提供する。
【解決手段】超音波エレメント２０は、第１の下部電極と第１の上部電極とが、第１の下部誘電体層、第１のキャビティおよび第１の上部誘電体層を介して対向配置している複数の送信用の第１の超音波セル１０Ａと、第２の下部電極１２Ａと第２の上部電極１６Ａとが、第２の下部誘電体層１３、第２のキャビティ１４および第２の上部誘電体層１５を介して対向配置している複数の受信用の第２の超音波セル１０Ｂと、を具備し、前記第２の超音波セル１０Ｂの受信感度が、前記第１の超音波セル１０Ａの受信感度よりも高い。 （もっと読む）

【課題】特性が安定した超音波エレメントおよび特性が安定した超音波内視鏡を提供する。
【解決手段】ＵＳエレメント２０は、シリコン基板１１と、それぞれが、キャビティ１４を介して対向配置した下部電極部１２Ａと上部電極部１６Ａとを有する複数の超音波セル１０と、複数の超音波セル１０の超音波送受信面の周囲を覆う超音波吸収層７１と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】特性が安定したＵＳエレメント２０を提供する。
【解決手段】ＵＳエレメント２０は、シリコン基板１１と、複数の下部電極部１２Ａと複数の下部配線部１２Ｂとを有し駆動信号およびバイアス信号が印加される下部電極端子５２と接続された下部電極層１２と、下部絶縁層１３と、複数のキャビティ１４が形成された上部絶縁層１５と、複数の上部電極部１６Ａと複数の上部配線部１６Ｂとを有し容量信号を検出するためのグランド電位の上部電極端子５１と接続された上部電極層１６と、保護層１７と、がシリコン基板１１の上に順に積層されており、少なくとも前記下部配線部１２Ｂの上側に形成された、グランド電位の遮蔽電極端子５３と接続された遮蔽電極部７１を更に具備する。 （もっと読む）

【課題】特性が安定し超音波エレメント２０を提供する。
【解決手段】超音波エレメント２０は、シリコン基板１１と、複数の下部電極部１２Ａと、複数の下部配線部１２Ｂと、を有し駆動信号およびバイアス信号が印加される下部電極端子５２と接続された下部電極層１２と、下部絶縁層１３と、前記下部電極部１２Ａより小さい複数のキャビティ１４が形成された上部絶縁層１５と、それぞれの前記キャビティ１４を介して、それぞれの前記下部電極部１２Ａと対向配置している、前記下部電極部１２Ａより小さく前記キャビティ１４より大きい複数の上部電極部１６Ａと、複数の上部配線部１６Ｂと、を有し、容量信号を検出するグランド電位の上部電極端子５１と接続された上部電極層１６と、保護層１７と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、工業分野で使用可能であり、センサ全体として感度を低下させることなく、一素子あたりの指向性を広げることにより斜角方向の検査性能を向上させた超音波センサ及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 超音波センサ１００は、レンズ状基板１０と、レンズ状基板に保持された複数の圧電素子２０とから構成される。複数の圧電素子２０は、平面形状が長方形状であり、長方形状の長辺同士が隣接するように短辺方向であるＸ方向にアレイ状に配列される。長方形状の複数の圧電素子２０がＸ−Ｙ平面に配列され、複数の各圧電素子は、Ｘ−Ｙ平面に直交するＸ−Ｚ平面においてのみ、その断面形状が円弧状である。円弧状の圧電素子の凸方向に超音波を送信してセクタスキャンするように用いられる。 （もっと読む）

【課題】超音波送受波器を精度よく取り付けることができ、これにより高精度の流量計測が可能な超音波流量計を提供すること。
【解決手段】圧電体１２と圧電体支持板１１を覆うように形成された絶縁性制振部材１５に孔部１８を形成し、この孔部１８に固定部材９の突出部１９を挿入して圧電体支持板１１を押圧することにより、超音波送受波器５をその超音波放射面１３が傾くことなく固定することができる。これにより、精度の良い伝播時間計測を行うことができ、高精度の流量計測を実現できる。 （もっと読む）

【課題】音響波検出において受信膜に膜厚分布が存在している場合でも、高感度特性を実現することを可能とする技術を提供する。
【解決手段】測定光が入射される第１のミラー、第１のミラーと対向配置されており被検体からの音響波が入射される第２のミラー、第１のミラーおよび第２のミラーに挟まれて設けられた音響波受信層、および、補償層を含む共振器と、音響波の入射による音響波受信層の変形に応じた第１のミラー及び第２のミラーの間の光路長の変化を検出する検出器を有し、補償層における屈折により、音響波受信層の膜厚分布による光路長のばらつきが補償される音響信号受信装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】超音波センサの残響を抑制すること。
【解決手段】超音波センサ１は、ケース２と、ケース２の底部内側に設けられた圧電体３と、ケース２の底部外側に設けられた整合層４とケース２を封止する端子板７と、端子板７に配置された絶縁部１１と、絶縁部１１にて支持された第一の電極端子１０と、第一の電極端子１０と圧電体３との間に配置された導電体１３と、端子板７に取り付けられた第二の電極端子１５とを備え、第一の電極端子１０を樹脂絶縁部１１にて保持する構成とした。これにより、樹脂絶縁部１１が制振作用部として機能するため、圧電体３から導電ゴム１４を介して第一の電極端子１０に伝達される残響を抑制することができる。 （もっと読む）