【課題】 従来の３層構成のスペーサブロックを用いて背面電極基板と振動膜のギャップを規制するＥＣＭは、ギャップの精度が悪くて音響特性にバラツキがあるという問題があった。
【解決手段】背面電極を形成した背面電極基板と、対向電極を形成した振動膜とをスペーサ手段を介して積層したコンデンサマイクロホンにおいて、前記スペーサ手段はスペーサシートの両面に接着シートを積層した積層部と、接着シートを除去したスペーサシート部とを有し、前記スペーサシート部が前記背面電極と振動膜との間に介在し、前記積層部が前記背面電極基板と振動膜とに接着されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可撓性を持ち、軽量で、占有体積の小さい、従来型のスピーカーの代用品となる電気音響変換器を備えた電子装置及び当該電気音響変換器を提供する。
【解決手段】本体、及び前記本体に設置し、第一電気信号に基づいて振動を発生するのに用いられる第一エレクトレット振動板と、第二電気信号に基づいて振動を発生するのに用いられる第二エレクトレット振動板と、複数の開孔を有し、前記第一エレクトレット振動板と前記第二エレクトレット振動板との間に設置する開孔板とを備える電気音響変換器を備えた電子装置。 （もっと読む）

【課題】エレクトレットの電位の低下を防ぎつつ、振動体とエレクトレットとの間のギャップを狭くする。
【解決手段】エレクトレット４０Ｕとクッション材４５Ｕとの間に接触防止部材８０Ｕが位置し、エレクトレット４０Ｕと接触防止部材８０Ｕとの間にはギャップがある。このため、クッション材４５Ｕとエレクトレット４０Ｕおよび接触防止部材８０Ｕとが接触することがなく、エレクトレット４０Ｕの電荷が抜けて電位が低下することがない。また、エレクトレット４０Ｌとクッション材４５Ｌとの間においても接触防止部材８０Ｌが位置し、エレクトレット４０Ｌと接触防止部材８０Ｌとの間にはギャップがある。このため、クッション材４５Ｌとエレクトレット４０Ｌとが接触することがなく、エレクトレット４０Ｌの電荷が抜けて電位が低下することがない。 （もっと読む）

【課題】エレクトレット化された誘電体膜のイオナイザ照射による着電量変化を抑制し、マイクロホンの感度変化を低減させること。
【解決手段】導電物4をアース接地させないことにより、イオナイザ1への電流パスを阻止しループ回路形成によって発生した電界によるイオナイザから照射されたイオンが誘電体膜３２への引き込みを抑制することができるため、イオナイザ1による着電量変化を低減させる効果が得られ、着電量ばらつきが減少し、マイクロホンの感度変化の抑制に繋げることができる。 （もっと読む）

【課題】静電誘導型変換素子を用いて電力源として実用可能な振動型静電発電機ユニットを提供する。
【解決手段】対向面に導体が形成された固定基板と、対向面にエレクトレットが形成された可動基板とを備え、可動基板が固定基板に対して相対的な往復運動可能に支持され、外部から加わる力によって２つの基板に生ずる相対運動の運動エネルギーを電気エネルギーに変換する静電誘導型変換素子を固定板110の表面に複数個備え、各静電誘導型変換素子200の可動基板の往復運動の方向が２つ以上の異なる方向に設定されている振動型静電発電機ユニット100を構成する。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は厚みを低減することができるエレクトレットコンデンサマイクロホンを提供する。
【構成】 エレクトレットコンデンサマイクロホンは、振動膜１１０が貼付された枠体１００と、この枠体１００内に所定の空間Ｃを有して対向配置される背極板２００と、背極板２００の振動膜対向面に設けられ、当該背極板２００と振動膜１１０との間に空間Ｃを確保するスペーサ３００とを備え、背極板２００が枠体１００内に配置された状態でスペーサ３００を介して振動膜１１０を押圧するようになっている。 （もっと読む）

【課題】
部品数が比較的少なく、累積誤差が明らかに小さく、生産組立工程がシンプルで、組立が便利で、生産コストが低く、製品の合格率が高く、品質が更に安定した一体式サウンド中空部材付きのエレクトレット・コンデンサー式マイクを提供する。
【解決手段】
音声孔（111）は第1サウンド中空体は連通されており、前記ケーシング（110）の中には、振動素子（120）と回路板（150）との間に入る一体式サウンド中空部材（140）が設置され、ケーシングはサイドウォール（145）と一体に形成されるサイドウォール中空板によって構成、前記中空板には連通孔（141）が開いて、しかもサイドウォールの下端に凹んでおり、前記サイドウォール（145）と中空板は第2サウンド中空体を形成し、サイドウォール（145）の外側面には絶縁材料層がコーティングされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エレクトレットを使用した機械電気エネルギー変換装置の変換効率を向上する。
【解決手段】エレクトレット機械電気エネルギー変換装置１０においては、例えばエレクトレット支持体１１にエレクトレット膜１２を塗布してこれを動作電極１３，１４に向き合わせ、その表面にエレクトレット表面電荷と反対符号の電荷を誘起する。従って支持体１１が左右に運動すると電流が負荷１５に発生する。本発明においては、エレクトレット膜１０の帯電工程においてはエレクトレット膜１０に従来通り金属体を密着させ表面電荷密度を高くするが、機械電気エネルギー変換を行うために使用する段階でこれを自立膜として支持するかあるいは絶縁支持体１１上に支持することにより、動作電極１３，１４の表面に誘起される有効電荷量を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 エレクトレットコンデンサの２極間の電位を、エレクトレットコンデンサが組みあがった状態で、かつ、非破壊で測定することを可能とする。
【解決手段】 振動板３０６と、この振動板３０６に対向して配置される固定極３０２とを備え、かつ、振動板３０６および固定極３０２のいずれかがエレクトレット化されたエレクトレット材であるエレクトレットコンデンサ３００の両極間電位の測定方法であって、振動板３０６と固定極３０２との間にバイアス電圧を掃引印加しながら、振動板３０６と固定極３０２との間の静電容量および損失を測定する第１のステップと、その測定された静電容量および損失とバイアス電圧値との関係に基づいて、振動板３０６と固定極３０２との間の電位を同定する第２のステップと、を含む測定方法とした。 （もっと読む）

【課題】１つのチップへの集積回路との混載が可能でありながら、コンデンサを構成する第１電極および第２電極への外部からの直流電圧の印加が不要である、ＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】シリコン基板２上には、第１電極９が設けられている。第１電極９は、複数の不揮発性メモリセル５からなる。各不揮発性メモリセル５のフローティングゲート６には、電荷が蓄積されている。第１電極９に対してシリコン基板２側と反対側には、第２電極１６が設けられている。第２電極１６は、第１電極９に対して間隔を空けて対向し、第１電極９との対向方向に振動可能とされている。 （もっと読む）

【課題】安価で構造も簡単な製造設備を用いてＭＥＭＳマイクチップの誘電体膜のエレクトレット化工程を実現することができ、生産性を向上させることができる微小コンデンサマイクロホンの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のＭＥＭＳマイクが形成された半導体基板は、シート８０に貼り付けられた状態で放電電極５１と対向して設置される。半導体基板上のＭＥＭＳマイク４３ａが備える誘電体膜のエレクトレット化は、ＭＥＭＳマイク４３ａが備える固定電極と振動膜との間に所定の電位差を付与した状態で、当該固定電極と振動膜との間の誘電体膜に放電電極５１のコロナ放電により発生したイオンを入射させ、当該イオンに基づく電荷を当該誘電体膜に固定することで実施される。当該エレクトレット化は、半導体基板と放電電極とを相対的に移動させることにより、半導体基板上の各ＭＥＭＳマイクに対して順次実施される。 （もっと読む）

【課題】微小コンデンサマイクロホンの組立工程の生産性を向上させるとともに設備費用を低減することができる微小コンデンサマイクロホンの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の微小コンデンサマイクロホンが、同一基板上に形成される。次いで、形成された各微小コンデンサマイクロホンが備える誘電体膜に、それぞれ電荷を固定する着電が行われる。そして、各誘電体膜の着電量を検査する着電量検査が実施された後、複数の微小コンデンサマイクロホンが形成された基板をダイシングすることにより、各微小コンデンサマイクロホンが個片に分離される。本発明では、少なくとも上記電着を行う工程が、複数の微小コンデンサマイクロホンが同一基板上に形成された基板状態で実施される。 （もっと読む）

【課題】振動体と振動体を挟む部材との電位差を安全に大きくとることができる静電型スピーカを提供する。
【解決手段】入力部６０は変圧器５０の一次側に接続されている。また、バイアス電源７０のマイナス側は振動体１０に接続され、バイアス電源７０のプラス側は変圧器５０の２次側の中点（センタータップ）と接続されており、２つの電極２０はそれぞれ変圧器５０の２次側の一端および他端に接続されている。また、電極２０Ｕの振動体１０側にはエレクトレット４０Ｕが固着され、電極２０Ｌの振動体１０側にはエレクトレット４０Ｌが固着されている。バイアス電源７０の電圧Ｅ１と振動体１０Ａの電圧Ｅ２とを加算した電圧（Ｅ１＋Ｅ２）が、バイアス電源７０のマイナス側と電極２０Ｕ（振動体１０Ａと電極２０Ｌ）との間の電圧差となる。 （もっと読む）

【課題】感度調整が容易で、特性ばらつきの少ないマイクロホン装置を提供する。
【解決手段】マイクロホン装置をコンデンサ部の第２の電極に接続されるコンデンサ電極端子と、接地端子とを、別途導出し、これらコンデンサ電極端子と、接地端子との間に感度調整電圧を印加することで感度調整を可能にした点を特徴とするもので、所望の感度のマイクロホン装置を実現可能とするものである。
また、同一構成で実装状態の膜スチフネスを測定できる、マイクロホン装置を実現可能とするものである。 （もっと読む）

【課題】表面電荷密度が大きなエレクトレットおよび該エレクトレットを備えるエレクトレットコンデンサマイクロフォンの提供。
【解決手段】含フッ素芳香族ポリマーを主成分として含む含フッ素芳香族系樹脂を含有することを特徴とするエレクトレット。該エレクトレットを備えるエレクトレットコンデンサマイクロフォン。前記含フッ素芳香族ポリマーは、フッ素原子が芳香環に直接結合した分子構造を有する含フッ素芳香族ポリマーを含むことが好ましい。前記含フッ素芳香族ポリマーは、含フッ素ポリアリーレンおよび／または含フッ素ポリアリーレンエーテルであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】電子部品において、エアギャップ内の水分に起因する使用不能状態の発生及び雑音の増加を抑制する。
【解決手段】電子部品１は、固定膜８と、固定膜８に対向する振動膜１６と、固定膜８に設けられ、中央部に少なくとも１つの第１貫通孔１１を有する第１電極６と、振動膜１６に、第１電極６と重なる位置に設けられ、周縁部に少なくとも１つの第２貫通孔１７を有する第２電極１８と、固定膜８と振動膜１６との間にリブ１０に囲まれるように構成され、第１貫通孔１１及び第２貫通孔１７にそれぞれ通じているエアギャップ１４と、エアギャップ１４を囲むリブ中１０に設けられ、エアギャップ１４から外側に向かって伸びる少なくとも１つの側孔１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきが小さく、小型、高信頼性、高性能なエレクトレットコンデンサーを提供する。
【解決手段】半導体基板１０１及び薄膜で構成するエレクトレットコンデンサーにおいて、半導体基板１０１の中央部に、半導体基板１０１を選択的に除去したメンブレン領域１１３を備え、導電膜により、下部電極１０４と引出し配線１１５が設けられている。この下部電極１０４を、メンブレン領域１１３の内側に設けることにより、寄生容量を抑制することができる。これにより、高性能なＥＣＭを実現することができる。
また、シリコン窒化膜１０３、シリコン酸化膜１０５及びシリコン窒化膜１０６の端面は、半導体基板１０１と重なるように設けることにより、振動膜１１２の共振周波数特性を容易に制御することができ、小型かつ高感度のエレクトレットコンデンサーを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】実装方法に融通が利き、且つ、実装及び取り外しの利便性が高いコンデンサマイクロホンを提供する。
【解決手段】振動膜電極及び固定電極を有し、振動膜電極又は固定電極にエレクトレット膜が設けられたコンデンサ部と、その静電容量の変化を電気信号に変換して出力する変換回路部と、コンデンサ部と変換回路部とを電気的に導通させる導通部とを備えるコンデンサマイクロホンＭであって、筐体１は、その天面１ａを構成する第１板状部材と、底面１ｂを構成する第２板状部材と、第１板状部材と第２板状部材との間に介在する中間部材とを組み合わせて形成され、筐体１の外表面のうちの天面１ａと側面１ｃと底面１ｂとに渡って形成されると共に、変換回路部と導通するように形成されている導電性の表面端子部材Ｓを備える。 （もっと読む）

【課題】エレクトレット誘電体膜に帯電している表面電圧を簡易な手法にて所定の電圧に調整し得るようにする。
【解決手段】例えば固定極２０側に一体に含まれているエレクトレット誘電体膜２３に帯電している表面電圧を調整するにあたって、アルコール蒸気を含む圧搾空気４７をエレクトレット誘電体膜２３の全面に吹き付けて、エレクトレット誘電体膜２３の表面電圧を所定の電圧値に調整する。 （もっと読む）

【課題】対向する電極間の接触による動作不良を防止し、動作信頼性の向上した静電変換装置およびこの静電変換装置を搭載する容量検知機器を提供する。
【解決手段】静電変換装置には、複数のエレクトレット電極５および平板状のエレクトレット電極６を表面に有する可動基板４と、エレクトレット電極５に対向する対向電極２ａおよびエレクトレット電極６に対向する対向電極２ｂを表面に有する固定基板１とが互いに所定間隔ｄを隔てて配置される。そして、エレクトレット電極５と対向電極２ｂとの間において静電誘導を利用して発電を行う発電部８ｂと、エレクトレット電極６と対向電極２ａとの間において発電部８ｂの電極間の接触を防止する斥力発生部８ａとが構成される。対向電極２ａには所定電荷（たとえば、エレクトレット膜６ｂと同電荷）Ｑが印加され、可動基板４はエレクトレット電極６と対向電極２ａとの間に斥力が発生する状態で移動するよう制御される。 （もっと読む）