【課題】主磁極層の基板側に配置されているシールド磁性層の構造に起因したデータ消去等を軽減する。
【解決手段】薄膜磁気ヘッド３００は，主磁極層２６と、ライトシールド層６０と、ギャップ層２９と、薄膜コイル１１，５１とが基板１上に積層された構成を有している。薄膜磁気ヘッド３００はシールド磁性層４０を有している。シールド磁性層４０は、主磁極層２６に接続されている。シールド磁性層４０は、下部前側シールド部４２を有している。下部前側シールド部４２の前端面４２ａと、下端面４２ｂとのなす角度を示す前端角αが鈍角に設定されている。前端面４２ａは、ＡＢＳ３０に配置されている。下端面４２ｂは下部前側シールド部４２のうちの最も基板１に近い位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】近接場光発生部を含む前端面の幅が小さなプラズモンジェネレータを製造する。
【解決手段】プラズモンジェネレータ５０は、表面プラズモンを伝播する伝播部５１を備えている。伝播部５１は、下面５１ａ、上面５１ｂ、第１の側面５１ｃ、第２の側面５１ｄ、前端面５１ｅを有している。前端面５１ｅは近接場光発生部５１ｇを含んでいる。プラズモンジェネレータ５０の製造方法は、ベース部を形成する工程と、後にプラズモンジェネレータとなる金属膜を形成する工程と、充填層を形成する工程を備えている。ベース部は、ベース面と、ベース面から突出した突出部とを備え、突出部は、ベース面に対して高低差を有する上面と、ベース面と突出部の上面とを連結する第１の側壁２４１Ｐｂとを有している。金属膜は、第１の側壁２４１Ｐｂに付着した付着部を含んでいる。充填層は、第１の側壁２４１Ｐｂとの間で付着部を挟む第２の側壁を有している。 （もっと読む）

【課題】媒体対向面において主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有するシールドと主磁極とを経由する磁路の長さを短くする。
【解決手段】磁気ヘッドは、主磁極１５と、コイルと、媒体対向面２において主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有するシールド１６Ｄと、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された帰磁路部４０を備えている。帰磁路部４０は、空間Ｓ１が形成されるように、主磁極１５のうちの媒体対向面２から離れた部分とシールド１６Ｄとを接続している。コイルは、帰磁路部４０のコア部４２の周りに巻かれた平面渦巻き形状の部分２０を含んでいる。部分２０は、空間Ｓ１を通過するように延びる２つのコイル要素２０Ａ，２０Ｂを含んでいる。コイル要素２０Ａ，２０Ｂを除くコイルのいかなる部分も空間Ｓ１内には存在しない。 （もっと読む）

【課題】光伝搬の効率が高く、変動の小さい光導波路をスライダ内に設けた熱アシスト磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】光導波路を酸化膜からなるコアと酸化膜からなるクラッド層で構成し、コアと接するクラッド層の酸素含有量を化学量論的組成より高く設定する。 （もっと読む）

【課題】隣接トラック消去の発生の抑制と記録特性の向上を両立する。
【解決手段】磁気ヘッドは、主磁極１５と記録シールド１６とギャップ部１７を備えている。記録シールド１６は、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃと上部シールドを含んでいる。主磁極１５は側部ＳＰ１，ＳＰ２を有し、サイドシールド１６Ｂは側壁ＳＷ１を有し、サイドシールド１６Ｃは側壁ＳＷ２を有している。ギャップ部１７は、側壁ＳＷ１，ＳＷ２に接するように配置されたギャップ膜１７Ａと、非磁性層１７Ｂを含んでいる。側部ＳＰ１は、媒体対向面２側から順に配置された第１および第３の側面を有している。第２の側部ＳＰ２は、媒体対向面２側から順に配置された第２および第４の側面を有している。非磁性層１７Ｂは、第３の側面と第１の側壁ＳＷ１の間および第４の側面と第２の側壁ＳＷ２の間に存在する。 （もっと読む）

【課題】微小な偏向ミラーのハンドリング及び位置決めが容易な光アシスト磁気ヘッド及び光学的結合構造を提供する。
【解決手段】一の面と、一の面の所定の方向の一端に設けられた端面とを備え、ディスク状の記録媒体の回転に応じて記録媒体に対して浮上して相対移動するスライダと、一の面に固定され、所定の方向に光を出射する光源と、端面との接合面とは反対側の側面と、光入射面から入射した光を導く光導波路と、を有する磁気ヘッド部と、光源及び光入射面の双方に臨み、所定の曲率を有する凹型の反射面と、反射面に対して所定の方向に延伸され、かつ側面及び一の面のいずれかからなる基準面に当接されたフランジ部とを有し、反射面により光源からの光を光入射面に向けて反射及び集光させる偏向ミラーと、を備えたことを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。 （もっと読む）

【課題】効率的に製造することができる基板、スライダ、近接場光ヘッド、基板製造方法、及び基板検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板は、近接場光を発生する近接場光発生素子と、入射した光を出射する導光機能部とを備え、導光機能部の光出射側の面積は、近接場光発生素子の近接場光発生側の面積よりも大きく形成されており、導光機能部は、近接場光発生素子の近接場光発生側の面の形状が所望の大きさであるか否かを判別するために用いられるものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コア、クラッドおよび散乱体の相対位置、散乱体の寸法を高精度に製造できる近接場光発生素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板に設けられたクラッドに凹溝およびＶ溝を形成し、それぞれの溝内部にコアおよび金属構造物を成膜した後、基板表面を平坦化する。その上からクラッドを再び成膜した後、基板を切断し、Ｖ溝内に形成された金属構造物が所定厚さになるよう切断面を研磨し、散乱体を形成する。 （もっと読む）

【課題】 光導波路の媒体対向面に近接場光発生素子が容易かつ高精度に成形可能な熱アシスト磁気記録方式の近接場光発生装置、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 第１導波路と、第１導波路の光軸上に備えられた第２導波路とを備える。次に、第１導波路と第２導波路との境界において、第２導波路の断面のうち、第１導波路の断面に相当する部分以外の露出部分に犠牲膜を形成し、犠牲膜をマスクとして第１導波路を除去する。次に、犠牲膜の第１導波路の除去された部分に金属膜を形成する。これにより、金属膜は、第２導波路の光軸上に近接場光発生素子として形成される。 （もっと読む）

【課題】 光導波路の媒体対向面に近接場光発生素子が容易かつ高精度に成形可能な近接場光発生装置、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 第１導波路と、第１導波路の光軸上に備えられた第２導波路と、第１導波路と第２導波路との間に離間部とを備える。次に、離間部に金属材料を入射することにより、第２導波路の断面に金属膜を成膜し、第１導波路をマスクとして金属膜をエッチングすることにより、金属膜は、第２導波路の光軸上に近接場光発生素子として形成される。 （もっと読む）

【課題】２つのサイドシールドにおける磁気的欠陥の発生を抑制すると共に、２つのサイドシールドの形状を容易に決定する。
【解決手段】磁気ヘッドは、主磁極１２と、媒体対向面において主磁極１２の端面の周りを囲むように配置された端面を有するシールドを備えている。シールドは、下部シールド１３Ａと２つのサイドシールド１３Ｂ，１３Ｃと上部シールドを含んでいる。磁気ヘッドの製造方法では、下部シールド１３Ａの上面上に、フォトリソグラフィによって形状が決定され後に除去される型を形成する。次に、シード層を形成することなくめっきを行って、下部シールド１３Ａの上面上に２つのサイドシールド１３Ｂ，１３Ｃを形成する。次に、型を除去した後、第１のギャップ層２７、主磁極１２、第２のギャップ層、上部シールドを順に形成する。 （もっと読む）

【課題】高密度記録に好適なＴＡＭＲヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のＴＡＭＲヘッドは、通電された際に、磁気記録媒体に書き込みを行うための記録磁界を発生させる磁極と、電磁放射の放射源と、1対の側面を有する磁気コアと、エアベアリング面と平行な断面において1対の側面をコンフォーマルに覆う導電材料からなるプラズモン生成層とを含むプラズモンアンテナと、プラズモンアンテナに電磁放射を導くとともに、電磁放射と、プラズモンアンテナの内部で生成されたプラズモンモードとを結合させる導波路とを備える。プラズモン生成層は、エアベアリング面と直交する方向において厚さが変化し、エアベアリング面に最も近い位置において最も薄く、かつ、導波路に隣接する領域内において最も厚い。 （もっと読む）

【課題】前端面における上端に、近接場光発生部を形成する尖端が形成され、多くの表面プラズモンを励起させ、且つこの表面プラズモンを近接場光発生部に集中させることが可能な近接場光発生素子を提供する。
【解決手段】近接場光発生素子１６の外面は、下面１６ａと、導波路対向面１６ｂと、前端面１６ｃと、側面１６ｄとを含んでいる。前端面１６ｃは、下面１６ａの端に位置する第１の辺１６ｃ１と、基板の上面からより遠い端に位置して近接場光発生部１６ｇを形成する尖端１６ｃ４と、第１の辺１６ｃ１の一端と尖端１６ｃ４とを接続する第２の辺１６ｃ２と、第１の辺１６ｃ１の他端と尖端１６ｃ４とを接続する第３の辺１６ｃ３とを含んでいる。導波路対向面１６ｂは、前端面１６ｃに近づくに従って下面１６ａおよび前端面１６ｃに平行な方向についての幅が小さくなる幅変化部分を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】上端が鋭く尖った形状の前端面を有する近接場光発生素子を製造する。
【解決手段】近接場光発生素子１６の外面は、斜面１６ｂ，１６ｃと、斜面１６ｂ，１６ｃを接続するエッジ部１６ｄを含んでいる。近接場光発生素子１６の製造方法では、まず、金属層の上に研磨停止層を形成し、金属層に斜面１６ｂが形成されるように研磨停止層および金属層をエッチングする。次に、金属層と研磨停止層とを覆うように、後に行われる第２のエッチング工程におけるエッチング速度が金属層よりも小さい、金属以外の無機材料よりなる被覆層１８Ａを形成する。次に、研磨停止層が露出するまで被覆層１８Ａを研磨する。次に、第２のエッチング工程により、被覆層１８Ａをエッチングマスクとして用いて研磨停止層および金属層をエッチングする。これにより、金属層は、斜面１６ｃとエッジ部１６ｄが形成されて近接場光発生素子１６になる。 （もっと読む）

本発明は、真空チャンバー内で基板を加熱して、次に即座に基板をコーティングする方法に関し、当該方法は、（１）基板の下面を基板ホルダー上に配置する工程、（２）基板を、基板ホルダーに対して所定距離に亘って持ち上げる工程、（３）加熱装置、例えば、放射熱装置を用いて、その上面によって持ち上げ基板を加熱する工程、（４）例えば、コーティングゾーンの中およびそれを通過して移動することによって加熱基板をコーティングする工程、（５）基板をチャック上まで下ろして、基板を冷却する工程、および（６）必要に応じて、冷却基板を更にコーティングする工程を含む。本発明に係る方法は、実施される方法手順を更に可能にし、様々な規定温度を各々の工程の間に基板上に設定でき、および必要に応じて、その後に即座に１以上のコーティングを前記基板温度で行うことができる。例えば、コーティング（抑えた）した後に即座に所定時間に亘って基板を更に高温で保持できる場合も含まれる。
（もっと読む）

【課題】内部ミラーに起因して光の利用効率が低下することを防止する。
【解決手段】熱アシスト磁気記録ヘッドは、反射膜支持体２７と反射膜３５とを有する内部ミラー３０を備えている。内部ミラー３０は、導波路２６の上方から到来する光を、導波路２６内を媒体対向面に向けて進行するように反射する。反射膜支持体２７は、第１および第２の傾斜面２７２ａ，２７２ｂを含み、反射膜３５は、それぞれ第１および第２の傾斜面２７２ａ，２７２ｂの上に配置された第１および第２の部分３５１，３５２を含んでいる。反射膜支持体２７を形成する工程は、初期支持体に対する２回のテーパーエッチングを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】スキューに起因した問題の発生を防止でき、トラック幅を精度よく規定でき、且つ記録特性を向上させることのできる磁極層を形成する。
【解決手段】磁気ヘッドは、トラック幅規定部と幅広部を含む磁極層と、磁極層を収容する溝部４３ａを有する収容層４３を備えている。溝部４３ａは、トラック幅規定部を収容する第１の部分４３ａ１と、幅広部を収容する第２の部分４３ａ２を含んでいる。磁気ヘッドの製造方法は、後に収容層４３となる非磁性層の上に溝部規定層１３を形成する工程と、非磁性層のうち、第１の部分４３ａ１が形成される予定の領域を覆うマスクを形成する工程と、非磁性層に第２の部分４３ａ２が形成されるように非磁性層をエッチングする工程と、マスクを除去する工程と、第１の部分４３ａ１が形成されて溝部４３ａが完成するように非磁性層をテーパエッチングする工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】厚膜の磁性多層膜に隣接する埋め込み膜にボイド・シームを発生させない磁気ヘッドの製造方法及びこれを用いた差動型再生ヘッドもしくはＭＡＭＲ素子を提供する。
【解決手段】磁性多層膜１４のパターン加工後の隣接する埋め戻し膜４２，４３の堆積を，第１段階の堆積工程と，続けて堆積した膜をエッチバックする工程と，第２段階の堆積工程からなる一連の製造プロセスによって形成する。ハードバイアスを加える硬磁性膜を埋め戻す場合には，第２段階の堆積工程の前に配向下地膜を堆積する工程を追加することで保磁力を増加できる。 （もっと読む）

【課題】垂直書き込みヘッドにおける磁気シールド用の傾斜バンプ設計およびその製造方法を提供する。
【解決手段】傾斜バンプ磁気シールドは、ハードディスクドライブにおける磁気記憶ディスクなどの磁気媒体に書き込むための磁束を最大限にするために、小さなスロート高さを提供し、一方で飽和を回避する。エッチングプロセスを用いて、非磁性ギャップ材料のテーパを形成する。次に、磁気シールドが、テーパに堆積され、シールドの傾斜バンプを形成する。エッチングプロセスは、テーパを形成する場合に、優れたエッジおよび厚み制御を提供するために多重エッチングプロセスであってもよい。 （もっと読む）