【課題】不均等なサイドギャップを有する磁気記録ヘッドおよびその作製方法を提供する。
【解決手段】一実施形態において、磁気ヘッドには、ダウントラック方向に対してリーディング側およびトレーリング側を有する主磁極と、主磁極に隣接してクロストラック方向に配置されるサイドギャップ層と、サイドギャップ層に隣接してクロストラック方向に配置されるサイドシールド層と、を含む。ダウントラック方向は主磁極に対する媒体の移動方向であり、クロストラック方向はダウントラック方向に垂直であり、サイドギャップ層は、ダウントラック方向の溝をその中に有し、その中に配置される主磁極を有することを特徴とし、サイドシールドは、ダウントラック方向に形成される溝をその中に有し、その中に配置されるサイドギャップ層を有することを特徴とし、サイドギャップは形状が不均等であり、主磁極の位置に対するサイドシールドの位置は自己整列される。 （もっと読む）

【課題】
面記録密度が向上するに伴い、記録トラック幅の狭小化による記録磁界の減少を防止し、かつトラック幅の高精度化を図り、記録性能の向上を可能にする。
【解決手段】
垂直磁気記録ヘッドにおいて、主磁極１３は、べベル角を有する逆台形を有する第１主磁極部１３１と、第１主磁極部の上に積層された、べベルを有せずほぼ矩形の、トラック幅を規定する第２主磁極部１３２により構成する。また、第２主磁極部はフレア部の所定位置から、浮上面に向かってテ―パ形状を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、磁極トレイリングステップを製作することができる磁気ヘッドの製作方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
磁気書き込みヘッドの作製、特に磁極および後部磁極段の作製のための方法。最初に、書き込み磁極を基板上にパターニングしてもよい。次に、書き込み磁極の側壁部に沿って側部ギャップ材料をパターニングしてもよい。次に、マスキング層を堆積およびパターニングして、書き込み磁極の一部を露出させてもよい。書き込み磁極の露出部分に磁極トレイリングステップを形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】電解鍍金法を用いて記録磁極を形成する際に空隙の形成を防止することが可能な記録磁極の形成方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録ヘッドの記録磁極を形成するために、まず、基体の上にモールド形成層を形成したのち、そのモールド形成層に開口部を形成する。続いて、開口部にシード層を形成したのち、そのシード層の上に補助層を形成する。続いて、開口部にシード層および補助層が形成された基体を電解鍍金液に浸漬させたのち、その電解鍍金液に電流または電圧を供給して活性化させて、補助層を除去する。最後に、補助層を除去するために用いられた電解鍍金液中において、電解鍍金法を用いて開口部に磁性材料の鍍金膜を成長させる。 （もっと読む）

データ記憶装置のデータ変換器に使用するための三次元（３Ｄ）微細構造コイルを含むがこれに限定されない、多次元微細構造を形成するための方法を提供する。いくつかの実施例に従って、本方法は概して、第１の誘電材料に埋込まれた第１の導電性経路を有するベース領域を設けるステップと、各々が、埋込まれた第１の導電性経路に接触する第１のシード層で部分的に充填された複数のビア領域を、第１の誘電材料にエッチングするステップと、複数のビア領域の各々に導電性支柱を形成するように第１のシード層を使用するステップとを含み、各導電性支柱は、ベース領域の上方の第１の距離まで延在する実質的に垂直の側壁を有する。
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【課題】再生ヘッド構造の突出量を増加させることが可能な磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】磁気ヘッドは、再生ヘッド構造１００および記録ヘッド構造２００を備えており、その再生ヘッド構造１００では、絶縁層２の上に下部再生シールド層３が形成されている。ＡＢＳ３０−３０から後退するように絶縁層２に設けられた窪み６２に、非磁性埋込層３が形成されており、その非磁性埋込層３の上面３ａは、絶縁層２の上面２ａと同一面内にある。 （もっと読む）

【課題】狭トラック化された記録ヘッドにおいて、高い記録磁界強度と勾配を有し、スキュー時の隣接トラックへの書き込みを抑制する磁気的逃げ角を維持する。
【解決手段】記録媒体に対向する主磁極１ａの浮上面より後退したトレーリング側にトラック幅より張り出した磁性膜５を備えることにより、トレーリング側の磁界強度を強くして主磁極に付与された幾何Bevel角で規定された磁界強度分布の差を大きくし、隣接トラックに対して大きな磁気的逃げ角を発生しながら主磁極の書き込み能力を大きくする。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い磁気ヘッドを効率良く製造できるようにする。
【解決手段】磁気ヘッドの主磁極を形成する際には、基板１上にめっき下地層３１を形成する。めっき下地層３１上に磁性膜３２と、マスク層３３〜３５からなるハードマスクと、フォトレジスト膜３７を積層し、これらを用いて磁性膜３２をエッチングする。この後、フォトレジスト膜４１を形成し、開口部４２を設けた後にリフロー処理によりテーパーをつける。テーパー形状を有する開口部を用いて犠牲層４５をめっき法により析出させ、フォトレジスト膜４１を除去した後、イオンビームを斜めに照射して犠牲層４５と磁性膜３２とを加工する。 （もっと読む）

【課題】十分な磁界強度を維持しながらサイドフリンジ磁界を減少させることが可能な垂直磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】ＰＭＲヘッド３０は、基体３１の上に、誘電体層４９によって周囲が取り囲まれた主記録磁極３５の狭幅部分３５１と、誘電体層４９を介して狭幅部分３５１をトラック幅方向（Ｘ軸方向）に挟んで対応する一対のサイドシールド３７と、狭幅部分３５１の上方に配置され、一対のサイドシールド３７の上面同士を繋ぐトレーリングシールド３８とを備える。狭幅部分３５１の上面３５ｂの延長線上における狭幅部分３５１とサイドシールド３７の内壁３７ｓとの第１のサイドギャップ間隔ａは、狭幅部分３５１の下面３５ａの延長線上における狭幅部分３５１とサイドシールド３７の内壁３７ｓとの第２のサイドギャップ間隔ｂよりも狭くなっている。これにより、サイドフリンジ磁界が減少し、オーバーライト性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】サイドイレーズを効果的に抑制することができる磁気ヘッド及びその製造方法、並びにその磁気ヘッドを備えた磁気記憶装置を提供する。
【解決手段】リーディング側に形成されたかさ上げ部２４と、該かさ上げ部２４に積層された磁性材からなる主体部２５とによって形成され、ABS面における端面形状が逆台形状に形成された主磁極１０と、該主磁極１０の側方に、主磁極の側面から離間して配置されたサイドシールド２８を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン幅の狭い、逆台形状の主磁極を形成することが可能な磁気記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る磁気記録ヘッドの製造方法は、基体上に、媒体対向面側端面が逆台形状の溝を有するレジスト層を形成する工程と、前記レジスト層の第１のアッシング処理を行う工程と、前記溝のコア幅方向の寸法が小さくなるように、前記レジスト層のシュリンク処理を行う工程と、前記溝内に記録用の磁極となる磁性材料層を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】主磁極上面の平坦化形成とその高精度化を可能とし、また、トレーリングギャップ形状の高精度化、およびサイドシールド、トレーリングシールドの効率的形成とその高精度化を可能とする薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】磁極を覆うように、且つ側方位置の厚みが所定のサイドシールドギャップ幅となるようにストッパ層を形成し、磁極の側方位置の厚みが所定のサイドシールド幅となるようにレジスト層を形成し、その上に絶縁層を形成した後、ＣＭＰプロセスによりストッパ層の上面が表出するまで研磨し、次いで、ドライエッチングにより磁極の上面が表出するまで前記ストッパ層を除去し、次いで、ＣＭＰプロセスにより磁極の上面が平坦化されるまで研磨し、次いで、レジスト層を除去して、それにより表出したストッパ層を除去した後、トレーリングシールドとサイドシールドとを形成する。 （もっと読む）

【課題】主磁極に特性が良好な磁性材料の使用を可能としつつ、該主磁極の腐食障害を防止して、工程不良を回避することが可能な薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法は、基板上に所定薄膜を順次積層して形成される記録ヘッド部を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、記録ヘッド部の基体上に記録用の磁極となる磁性層を形成する工程と、磁極の上にストッパ層を形成する工程と、ストッパ層の上に絶縁層を形成する工程と、ＣＭＰプロセスによりストッパ層の上面が表出するまで絶縁層を研磨する工程と、反応性ガス使用のドライエッチングにより磁極の上面が表出するまでストッパ層を除去する工程と、不活性ガス使用のドライエッチングにより所定深さまで磁極の上面を除去する工程と、ＣＭＰプロセスにより磁極の上面が平坦化されるまで研磨する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドの歩留まり及び磁気ディスク装置の記録及び再生性能の信頼性を向上させることが可能な磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板に鍍金ベース層を形成する工程と、前記鍍金ベース層上に、幅広部から延在する狭隘部を備えた磁性層を形成する工程と、前記磁性層の形状の幅広部と狭隘部にそれぞれ対応して、前記磁性層よりも大きいレジストパタンを前記磁性層と前記鍍金ベース上に形成する工程と、エッチングにより前記鍍金ベース層をパタニングする工程と、前記磁性層及び鍍金ベース層を覆うように絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に磁性を有する補助磁性層を前記磁性層と磁気的に接続するように形成する工程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ダマシン法において絶縁膜の溝を覆って形成された磁性膜を研磨する際に、磁性膜が剥離するのを防止することができる磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板の上方に絶縁膜４４を形成した後、絶縁膜４４に溝４４ａを形成する。次いで、絶縁膜４４上及び溝４４ａの内面に導電性材料により給電層４５を形成した後、給電層４５上にパルス電流による電気めっき法により磁性膜３６ａを形成し、磁性膜３６ａを溝４４ａ内に充填する。その後、磁性膜３６ａを研磨して、溝４４ａ内のみに磁性膜３６を残す。 （もっと読む）

【課題】めっきによりダマシン構造の磁極を形成する際に従来よりもスループットを向上することができる磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】下地層３の上に導電層３１を形成する工程と、開口３３を有するレジストマスク３２を導電層３１上に直接形成する工程と、レジストマスク３２の開口３３を通して導電層３１を少なくとも層厚の途中までエッチングすることにより導電層３１内にキャビティ３４を形成する工程と、レジストマスク３２の除去後に、導電層３１をめっき用電極に使用して導電層３１とは磁気的に分離される磁性層３５を電解めっきによりキャビティ３４内と導電層３１上に形成する工程と、磁性層３５を導電層３１の上面の上から除去することにより、キャビティ３４内に残した磁性層３１を磁極２１とする工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク装置の更なる高記録密度化に伴い、記録媒体が更に狭トラック化し高保磁力化しても十分な書き込み能力を有する記録ヘッドを提供する。
【解決手段】少なくとも主磁極、ヨーク、リターンポールを含む記録ヘッドを有する薄膜磁気ヘッドであって、主磁極、ヨーク、リターンポールの少なくとも一部の磁性膜が、Ｃｏ、Ｎｉ及びＦｅのうち２種類以上の元素を含有し、さらにＳを０.５ｗｔ％−１.０ｗｔ％の組成比で含有する磁性膜であり、結晶粒の膜面に平行な面の格子定数ａと膜面に垂直な面の格子定数ｂの比（ａ／ｂ）が０．９９５以下である、薄膜磁気ヘッドを提供する。本発明の薄膜磁気ヘッドを用いると、薄膜磁気ヘッドの主磁極に使用される磁性膜が薄膜化しても、高Ｂｓを得ることができる。また、記録周波数が高周波数化しても、高μを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】記録磁界の低下を抑え、かつ効率よくフリンジ磁界を低減することができる垂直磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】浮上面形状が逆台形形状の主磁極１１と、主磁極のトレーリング側に位置するトレーリングシールドと、主磁極のクロストラック方向両側に位置するサイドシールド１３とを備える。そして、サイドシールド１３のリーディング側端部は、主磁極１１のリーディング側端部よりも更にリーディング側に位置し、サイドシールド１３の主磁極クロストラック方向中心線に最も近い点が、主磁極１１のリーディング側端部よりも更にリーディング側に位置する。このとき、主磁極１１のリーディング側端部とサイドシールド１３端部との距離Ｌｓと、主磁極１１とサイドシールド１３間の距離Ｇｓが、Ｌｓ＞１．５×Ｇｓを満たす。 （もっと読む）

【課題】サイドシールドを備えた記録用の磁極を高精度に形成することができる磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ワークの表面に第１の磁性層２３を形成する工程と、前記第１の磁性層２３の頂部及び側部を、研磨加工の際のストッパとして作用し、またサイドギャップを構成するストッパ層２４により被覆する工程と、前記ストッパ層２４の前記第１の磁性層２３の頂部を被覆する部位を薄厚にする工程と、前記第１の磁性層２３の側方が凹部２６ａとなるレジストパターン２６を形成する工程と、前記凹部２６ａに、サイドシールドとなる第２の磁性層２７を形成する工程と、前記第２の磁性層が形成されたワークの表面を、前記ストッパ層よりも研磨レートの高い絶縁層により被覆する工程と、前記ワークの表面を研磨し、前記ストッパ層が前記第２の磁性層から露出するまで研磨する工程と、前記第２の磁性層の表面に露出するストッパ層を除去する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 垂直記録磁気ヘッド及びその製造方法に関し、サイドシールド付き主磁極の狭小なライトコア幅の先端部を高精度且つ高信頼度で形成する。
【解決手段】 サイドシールド材をテーパエッチングしてＡＢＳ面から見た形状が逆台形状或いは逆三角形状のいずれかの形状の凹部５を形成する工程と、凹部５に非磁性絶縁膜及びめっきベース層７を介して主磁極材料８を電解めっきする工程とを有する。 （もっと読む）