【課題】主磁極層の基板側に配置されているシールド磁性層の構造に起因したデータ消去等を軽減する。
【解決手段】薄膜磁気ヘッド３００は，主磁極層２６と、ライトシールド層６０と、ギャップ層２９と、薄膜コイル１１，５１とが基板１上に積層された構成を有している。薄膜磁気ヘッド３００はシールド磁性層４０を有している。シールド磁性層４０は、主磁極層２６に接続されている。シールド磁性層４０は、下部前側シールド部４２を有している。下部前側シールド部４２の前端面４２ａと、下端面４２ｂとのなす角度を示す前端角αが鈍角に設定されている。前端面４２ａは、ＡＢＳ３０に配置されている。下端面４２ｂは下部前側シールド部４２のうちの最も基板１に近い位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】安定的に薄膜をパターニングするためのマスクの作成方法を提供する。
【解決手段】本発明は、薄膜をパターニングするためのマスクの作成方法に関する。この方法は、基板の上にアルカリ溶液に可溶な無機材料を成膜するステップＳ１と、無機材料を所定のパターンに形成するステップＳ２と、無機材料をアルカリ溶液によって狭小化してマスクを形成するステップＳ３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】光伝搬の効率が高く、変動の小さい光導波路をスライダ内に設けた熱アシスト磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】光導波路を酸化膜からなるコアと酸化膜からなるクラッド層で構成し、コアと接するクラッド層の酸素含有量を化学量論的組成より高く設定する。 （もっと読む）

【課題】隣接トラック消去の発生の抑制と記録特性の向上を両立する。
【解決手段】磁気ヘッドは、主磁極１５と記録シールド１６とギャップ部１７を備えている。記録シールド１６は、サイドシールド１６Ｂ，１６Ｃと上部シールドを含んでいる。主磁極１５は側部ＳＰ１，ＳＰ２を有し、サイドシールド１６Ｂは側壁ＳＷ１を有し、サイドシールド１６Ｃは側壁ＳＷ２を有している。ギャップ部１７は、側壁ＳＷ１，ＳＷ２に接するように配置されたギャップ膜１７Ａと、非磁性層１７Ｂを含んでいる。側部ＳＰ１は、媒体対向面２側から順に配置された第１および第３の側面を有している。第２の側部ＳＰ２は、媒体対向面２側から順に配置された第２および第４の側面を有している。非磁性層１７Ｂは、第３の側面と第１の側壁ＳＷ１の間および第４の側面と第２の側壁ＳＷ２の間に存在する。 （もっと読む）

【課題】 光導波路の媒体対向面に近接場光発生素子が容易かつ高精度に成形可能な熱アシスト磁気記録方式の近接場光発生装置、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 第１導波路と、第１導波路の光軸上に備えられた第２導波路とを備える。次に、第１導波路と第２導波路との境界において、第２導波路の断面のうち、第１導波路の断面に相当する部分以外の露出部分に犠牲膜を形成し、犠牲膜をマスクとして第１導波路を除去する。次に、犠牲膜の第１導波路の除去された部分に金属膜を形成する。これにより、金属膜は、第２導波路の光軸上に近接場光発生素子として形成される。 （もっと読む）

【課題】小型化を図った上で、十分な光量を確保することができる記録ヘッド、記録ヘッドの製造方法、及び情報記録再生装置を提供する。
【解決手段】近接場光発生素子２６は、レーザ光Ｌを反射させながらディスクの方向に導くコア２３と、コア２３を内部に閉じ込めるクラッド２４と、を有し、コア２３におけるレーザ光の入射側端面の長手方向及び短手方向の長さＴ１，Ｔ２が、コア２３に入射するレーザ光の長軸方向及び短軸方向の長さに合わせて形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部分放電を最小限に抑えるＭＲＩＳ傾斜磁場アセンブリを提供する。
【解決手段】ＭＲＩＳ傾斜磁場コイルサブアセンブリ６Ｘ，６Ｙ，６Ｚは、第１導電性コイル部を備えた第１コイル層３Ｘ１，３Ｙ１，３Ｚ１と、第１導電性コイル部に電気的に接続され、第１導電性コイル部と１つの巻線部として共に作用するように接続されている第２導電性コイル部を備えた第２コイル層３Ｘ２，３Ｙ２，３Ｚ２とを有し、前記第１コイル層と前記第２コイル層との間にはさまれたＢ段階材料固化層４Ｘ，４Ｙ，４Ｚを備えている。 （もっと読む）

【課題】光量を確保した上で、近接場光のスポットサイズを縮小できる近接場光発生素子、及び近接場光発生素子の製造方法、近接場光ヘッド、近接場光ヘッドの製造方法並びに情報記録再生装置を提供する。
【解決手段】コア２３は、第１コア５４と、第１コア５４の側面を覆う第２コア５５と、を備え、Ｚ方向から見て多角形状に形成され、金属膜５１は、コア２３における側面２３ｇ上に配置され、Ｚ方向から見て、金属膜５１におけるコア２３との界面の幅Ｗ１が、コア２３の側面２３ｇの幅Ｗ３よりも狭く形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２つのサイドシールドにおける磁気的欠陥の発生を抑制すると共に、２つのサイドシールドの形状を容易に決定する。
【解決手段】磁気ヘッドは、主磁極１２と、媒体対向面において主磁極１２の端面の周りを囲むように配置された端面を有するシールドを備えている。シールドは、下部シールド１３Ａと２つのサイドシールド１３Ｂ，１３Ｃと上部シールドを含んでいる。磁気ヘッドの製造方法では、下部シールド１３Ａの上面上に、フォトリソグラフィによって形状が決定され後に除去される型を形成する。次に、シード層を形成することなくめっきを行って、下部シールド１３Ａの上面上に２つのサイドシールド１３Ｂ，１３Ｃを形成する。次に、型を除去した後、第１のギャップ層２７、主磁極１２、第２のギャップ層、上部シールドを順に形成する。 （もっと読む）

【課題】高密度記録に好適なＴＡＭＲヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のＴＡＭＲヘッドは、通電された際に、磁気記録媒体に書き込みを行うための記録磁界を発生させる磁極と、電磁放射の放射源と、1対の側面を有する磁気コアと、エアベアリング面と平行な断面において1対の側面をコンフォーマルに覆う導電材料からなるプラズモン生成層とを含むプラズモンアンテナと、プラズモンアンテナに電磁放射を導くとともに、電磁放射と、プラズモンアンテナの内部で生成されたプラズモンモードとを結合させる導波路とを備える。プラズモン生成層は、エアベアリング面と直交する方向において厚さが変化し、エアベアリング面に最も近い位置において最も薄く、かつ、導波路に隣接する領域内において最も厚い。 （もっと読む）

【課題】シールド型の磁気記録ヘッドにおける遠方トラックの意図しない情報消去の問題を解決する。
【解決手段】垂直磁気記録ヘッドを製造するために、物理的な界面を有しない第１および第２トレーリングシールドの形成プロセス（およびそれにより生じる構造）を説明する。フォトレジストモールドを用いて上部ヨークを鍍金形成すると共に、そのフォトレジストモールドを剥離したのち、犠牲層を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、磁極トレイリングステップを製作することができる磁気ヘッドの製作方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
磁気書き込みヘッドの作製、特に磁極および後部磁極段の作製のための方法。最初に、書き込み磁極を基板上にパターニングしてもよい。次に、書き込み磁極の側壁部に沿って側部ギャップ材料をパターニングしてもよい。次に、マスキング層を堆積およびパターニングして、書き込み磁極の一部を露出させてもよい。書き込み磁極の露出部分に磁極トレイリングステップを形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】トレーリングエッジテーパが記録性能にもたらす利点を確保しつつ、エッチング量および研磨量に起因する磁極幅の変動を抑制することが可能な主磁極層を提供する。
【解決手段】主磁極層４０は、下方部分（傾斜した第１側壁面５５を有する第１記録磁極部分４０ｐ１および第１ヨーク部分４０ｙ１）と、中間部分（垂直な第２側壁面５６を有する第２記録磁極部分４０ｐ２および第２ヨーク部分４０ｙ２）と、上方部分（傾斜した第３側壁面５７を有する第３記録磁極部分４０ｐ３および第３ヨーク部分４０ｙ３）とがこの順に積層された３層構造を有している。また、中間部分および上方部分にトレーリングエッジテーパ（テーパ側面４０ｔ）が設けられていると共に、下方部分および中間部分がそれぞれ第１磁極先端面４０ａ１（台形または三角形）および第２磁極先端面４０ａ２（矩形）を有している。 （もっと読む）

データ記憶装置のデータ変換器に使用するための三次元（３Ｄ）微細構造コイルを含むがこれに限定されない、多次元微細構造を形成するための方法を提供する。いくつかの実施例に従って、本方法は概して、第１の誘電材料に埋込まれた第１の導電性経路を有するベース領域を設けるステップと、各々が、埋込まれた第１の導電性経路に接触する第１のシード層で部分的に充填された複数のビア領域を、第１の誘電材料にエッチングするステップと、複数のビア領域の各々に導電性支柱を形成するように第１のシード層を使用するステップとを含み、各導電性支柱は、ベース領域の上方の第１の距離まで延在する実質的に垂直の側壁を有する。
（もっと読む）

【課題】ボンディングパット形成のためのレジスト露光プロセスにおいて、簡易な方法により高精度のアライメントを可能とする。
【解決手段】薄膜磁気ヘッドの製造方法は、ウエハの素子非形成領域にダミーバンプを互いに隣接するように形成し、ダミーバンプに挟まれた領域に谷部が形成されるようにウエハを保護層で覆い、谷部の一部が残存するように、少なくとも保護層の一部を除去し、谷部が残存するようにメッキ用の電極膜を成膜し、レジストを塗布し、残存した谷部をアライメントマークとしてレジストを露光し、レジストを除去後、素子バンプの上にボンディングパッドをメッキで形成し、レジストを除去することを有する。 （もっと読む）

【課題】主磁極の体積を確保しつつも、サイドイレーズを抑制可能な磁気ヘッドスライダを提供する。
【解決手段】本発明の磁気ヘッドスライダは、磁気ディスクと対向する媒体対向面まで延び、媒体対向面側端面２１ａから記録磁界を発する主磁極２１を含む単磁極型記録ヘッド、を有する磁気ヘッドスライダであって、媒体対向面側端面２１ａは、磁性を劣化させる不純物が注入された注入領域２１ｉと、不純物が注入されない非注入領域２１ｎと、に分けられ、非注入領域２１ｎは、リーディング側ＬＤの端部の幅がトレーリング側ＴＲの端部の幅よりも狭い形状を有する。 （もっと読む）

【課題】主磁極のライトコア幅の狭小化を図る。
【解決手段】ハードマスク（Ａｕ）２０と、Ｔａ膜１８とを熱処理（アニール処理）して、ＡｕをＴａ中に拡散させることにより、Ｔａ膜のエッチング耐性を高くする。これにより、アルミナ層１６にパターンを形成するＲＩＥの際に、Ｔａ膜１８がエッチング（サイドエッチング）されるのを抑制することができる。このようにすることで、アルミナ層１６に形成するパターンがハードマスク（Ａｕ）２０に形成された開口パターン２０ａよりも広がるのを抑制することができ、ひいては主磁極４１４のライトコア幅の狭小化を図ることが可能である。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト膜の溝の壁面の傾斜角度を容易にかつ精度よく制御できるフォトマスク及びそれを用いた磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】フォトマスク１０は、透明基板１１の一方の面側に半透明膜１２を備えた構造を有している。半透明膜１２には、磁気ヘッドの主磁極に対応する幅で開口部１２ａが設けられている。開口部１２ａの幅は、露光時に使用する光の波長よりも短い幅とする。また、主磁極の側面の傾斜角度に応じて半透明膜１２の光透過率を決定する。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドの製造工程において、ウエハ段階においてネックハイトを高精度に予測することを可能とし、製品精度及び製品の歩留まりを向上させる磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ウエハ基板に主磁極１０を形成した後、該主磁極１０のフレアポイントFを挟む配置に一対のネックハイトモニター（NHモニター）３０ａ、３０ｂを形成する工程と、前記NHモニター３０ａ、３０ｂの中心位置Cと前記フレアポイントFとの相対的距離（ΔNH）を計測する工程と、前記相対的距離（ΔNH）の計測結果をもとに、前記主磁極１０のネックハイトを予測する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】サイドイレーズを効果的に抑制することができる磁気ヘッド及びその製造方法、並びにその磁気ヘッドを備えた磁気記憶装置を提供する。
【解決手段】リーディング側に形成されたかさ上げ部２４と、該かさ上げ部２４に積層された磁性材からなる主体部２５とによって形成され、ABS面における端面形状が逆台形状に形成された主磁極１０と、該主磁極１０の側方に、主磁極の側面から離間して配置されたサイドシールド２８を備える。 （もっと読む）