【課題】ナノインプリントにおいて、ある基準状態下で、モールドのパターン寸法と所望の割合だけ異なる寸法のレジストパターンを形成することを可能とする。
【解決手段】ナノインプリント方法において、所定の基準圧力Ｐｓｔおよび所定の基準温度Ｔｓｔにおいて所定の基準寸法を有する微細な凹凸パターンが表面に形成されたモールド１、および被加工基板７であって、これらのヤング率および／または熱膨張率が互いに異なるものを用い、基準寸法に対するレジストパターンについての寸法差の割合ΔＤ_ａｌｌ、基準圧力Ｐ_ｓｔ、基準温度Ｔ_ｓｔ、モールドのヤング率Ｅ_ｍおよび熱膨張率α_ｍ、並びに、被加工基板のヤング率Ｅ_ｉおよび熱膨張率α_ｉを使用して、所定の関係式を充足するように圧力容器１１０内の圧力Ｐおよび／またはアセンブリ８の温度Ｔが制御された状態で、レジスト６を硬化せしめる。 （もっと読む）

【課題】ドットパターンを有する領域と，ドットパターンを有しない領域と，を備えるモールドを高精度で作成可能とする。
【解決手段】実施形態のモールドの製造方法は，第１の高分子に親和な基板上に，第２の高分子に対して親和な第１の層を形成する工程と，第１の層に，第１，第２の開口を形成する工程と，第２の開口内にレジストを充填，硬化する工程と，ブロックコポリマーを含む第２の層を形成，自己組織化する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】フィルタの寿命を延ばすことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗに供給される処理液をろ過するフィルタ１６を内部で保持するハウジング１７と、ハウジング１７に保持されている状態のフィルタ１６の温度を変化させるフィルタ洗浄機構２２とを含む。フィルタ洗浄機構２２は、ハウジング１７に保持されているフィルタ１６を加熱および／または冷却することにより、フィルタ１６の温度を変化させて、フィルタ１６に対する異物の結合力を低下させる。 （もっと読む）

【課題】 砥粒に対する洗浄性が非常に高く、かつ、悪影響を及ぼす界面活性剤などの有機物の基板表面の残留が極めて少ない電子材料用洗浄剤、または悪影響を及ぼす界面活性剤を含有せずに非常に高い洗浄性を発揮する電子材料用洗浄剤および電子材料の製造方法を提供する。
【解決手段】 還元性を有するレダクトン類（Ａ）０．０１〜１０重量％と水を含有し、１重量％に希釈したときの２５℃での表面張力が５０ｍＮ／ｍ以下である界面活性剤（Ｂ）の含有量が０．０１重量％未満であることを特徴とする電子材料用洗浄剤を用いる。 （もっと読む）

【課題】凹凸形状が形成された基板を作製する。
【解決手段】高周波電源２１から、基板１６及び基板ホルダ１２の少なくとも一方に対して高周波電圧を印加する。供給材料膜１５から基板１６へ供給材料を供給し、基板表面の下地材料上に供給材料による凸部を形成する。供給材料膜１５は、基板１６の表面へ供給材料を直接入射させることができない位置に配置されている。基板１６の表面の下地材料の常温における表面エネルギーγ_ｓｕｂと、供給材料の融点における表面エネルギーγ_ｓｐとは、γ_ｓｕｂ−γ_ｓｐ＞０の関係にある。 （もっと読む）

【課題】多孔質基材の質感を生かしつつ、磁気記録媒体層の磁気特性を良好に保つことが可能な磁気カードを提供すること。
【解決手段】カード基材に磁気記録媒体層を配置した磁気カードであって、 カード基材は、磁気記録媒体層配置面の磁気記録媒体層配置領域以外の少なくとも一部の領域において凹凸面が露出した多孔質基材が用いられており、磁気記録媒体層と多孔質基材との間に、少なくとも多孔質基材表面の磁気記録媒体層配置領域を覆い、該多孔質基材に一部が含浸した平坦化層が積層されていることを特徴とする磁気カードとする。 （もっと読む）

【課題】磁性層の厚さムラが抑制された磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性支持体に磁性粉末を含む磁性塗料を塗布して磁性層を形成する磁性層形成工程を含む磁気テープの製造方法において、前記磁性層形成工程の直前に、前記非磁性支持体を該非磁性支持体のガラス転移温度をＴｇとすると、（Ｔｇ−１０）〜（Ｔｇ＋３０）（℃）の温度の加熱ロール３に当接させ、その後速やかに（Ｔｇ−４０）（℃）以下の温度の冷却ロール４に当接させ、非磁性支持体を加熱ロール３に当接させる時間が0.03〜0.6秒であり、冷却ロール４に当接させる時間が0.03〜0.3秒であり、非磁性支持体が加熱ロール３を離れてから冷却ロール４に入るまでの時間が１秒以内である加熱冷却工程を設ける。 （もっと読む）

【課題】１μｍより小さい精度で磁気ディスク用基板を研磨加工することができる生産性が向上した磁気ディスク用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気ディスク装置に用いられる磁気ディスクの磁性膜が設けられる前の磁気ディスク用基板の製造方法であって、圧電材料である水晶部材を切断する切断工程と、前記水晶部材が切断され形成された水晶板の側面を研削する側面研削工程と、前記水晶板に貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記水晶板の両主面を研磨する第一の研磨工程と、前記水晶板の両主面を研磨する第二の研磨工程と、を備えており、前記第一の研磨工前後の前記水晶板の周波数を測定し前記第二の研磨工程での研磨量を決定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持体の巻き状態の積層変形に応じた塗布厚分布を適用して積層変形が抑制された塗布済み原反を得ることによって表面平坦性に優れる磁気記録媒体を製造する。
【解決手段】背面を支持しない状態で走行させている非磁性支持体１００に対して押し出し型の塗布ヘッド１１を相対的に押しつけ、非磁性支持体１００に対して塗布ヘッド１１のスリット１１ａから塗料２００を押し出して塗布する塗布工程を有し、塗布工程において、塗布ヘッド１１の上流側で非磁性支持体１００の幅方向の張力を調整しつつ塗料２００を塗布する。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体をホットロール面に所定の距離にわたって均一に接触させて熱処理する場合において、ホットロールにおける熱処理が終了した後、磁気記録媒体は、常温にさらされるため、急激な温度変化によって、さらにしわが発生し、カッピングが生じる。
【解決手段】互いに温度差のある少なくとも２つのホットロールと、少なくとも１つのニップロールとの間に磁気記録媒体を移送してホットロールによる熱処理を行う工程を有し、
前記少なくとも２つのホットロールを熱伝導性の良い金属ベルトで繋いだ状態で、前記熱処理を行う。 （もっと読む）

【課題】非常に高さの低い表面欠点をも低減できるフィルムの製造方法の提供。
【解決手段】溶融状態の熱可塑性樹脂をシート状に押し出す工程と、それを巻き取る工程および巻き取られたフィルムを良品と不良品とに選別して良品を製品とする工程とからなるフィルムの製造方法であって、少なくとも巻き取られたフィルムの一方の表面に波長１００〜４００ｎｍの光の干渉によって測定される表面欠点数を測定し、測定された表面欠点数が基準値以下のフィルムを良品とすることを特徴とするフィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】樹脂材料により形成されたハードディスク用の基板において表面精度を確保する。
【解決手段】可動金型と固定金型から構成される成形金型の内部に熱可塑性樹脂を射出し、前記可動金型、前記固定金型の少なくとも一方に装着されたスタンパを用いて磁気記録媒体用基板を製造する磁気記録媒体用基板の製造装置であって、スタンパ３１Ｓ、３２Ｓの表面粗さＲａが１ｎｍ以下であり、可動金型３１の成形面３１Ｓａより固定金型３２の成形面３２Ｓａの方が離型性が高い。 （もっと読む）

【課題】離型剤を使用した金型で成形された基板であっても、磁性層の成膜異常の無い、高い耐久性を有する磁気記録媒体の製造方法を得る。
【解決手段】金型に離型剤を成膜する工程と、離型剤が成膜された金型により基板を成形する工程と、基板に付着した離型剤を除去する洗浄工程と、洗浄工程の後、基板に磁性層を形成する工程と、を有する磁気記録媒体の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】プラスチック基板フィルムの両面に高品位の金属含有蒸着膜を成膜する技術を提供する。
【解決手段】蒸着ドラム１１を有する蒸着装置１ａで、非磁性プラスチック基板フィルム１６の両面に金属含有蒸着膜を形成する両面蒸着膜の製造方法であって、該基板フィルムの一方の面（Ａ面）に金属含有蒸着膜を形成した後に、該金属含有蒸着膜上に有機物膜を形成し、次いで、該基板フィルムの他方の面（Ｂ面）に金属含有蒸着膜を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スタンパからレジストへの凹凸パターンの転写不良、及びダストによる欠陥を防止する。
【解決手段】樹脂スタンパは、磁気記録媒体の外径よりも０．１ｍｍ以上大きい外径を有し、磁気記録媒体の中心孔の径よりも３ｍｍ以上小さい中心孔を有する。 （もっと読む）

【課題】効率的な生産が可能な基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液で基板Ｗを処理するための処理ユニット６と、この処理ユニット６に処理液を供給する処理液供給部２５とを含む。処理液供給部２５は、所定の大きさに統一され、処理液が流通する配管２８をそれぞれ有する複数の処理液供給モジュール２２と、複数の処理液供給モジュール２２をそれぞれ配置するための複数の配置空間が内部に設けられた流体ボックス７とを含む。 （もっと読む）

【課題】ナノ構造デバイスを作製する方法を提供する。
【解決手段】方法は、複数の化学的にコントラスト付けされたアライメント構造を有する基板を提供する工程と、基板の少なくとも一部に自己集合化材料を堆積させる工程とを含み、自己集合化材料の実質的に球形又は円筒形のドメインの位置および／又は向きは、ナノ構造パターンを形成するようにアライメント構造によって誘導され、またアライメント構造の周期は、球形又は円筒形ドメインの周期の約２倍から約１０倍の間にある。この方法に従って作製される装置も提供される。 （もっと読む）

【課題】微小うねりＷａが小さく、微細パターンの欠陥の発生を抑えることが可能な金型部材の製造方法を提供する。
【解決手段】板状の形状を有するガラス基板１の表面に、Ｓｉ層３を形成する。Ｓｉ層３が形成された基板の両面（表面３Ａと表面１Ａ）を同時に研磨する。研磨後、ディスクリートトラックメディア用の微細な凹凸パターン４、又はビットパターンドメディア用の微細な凹凸パターン４を、Ｓｉ層３の表面に形成する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液が周囲に飛散しにくく、磁気記録面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応できる高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板の得られる磁気記録媒体用基板の洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体用基板１上に洗浄液を供給する洗浄液ノズル４と、多孔質材料からなる洗浄具３、３と、洗浄具３、３、を磁気記録媒体用基板１上で摺動させる摺動手段と、磁気記録媒体用基板１上から洗浄具３、３を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段７とを備える磁気記録媒体用基板１の洗浄装置とする。 （もっと読む）

【課題】片方の主表面のみを磁気記録面として用い、しかも磁気ヘッドの浮上安定性が得られる平坦度を実現できる磁気ディスク用基板を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用基板は、二つの主表面を有する円環状の磁気ディスク用基板であって、一方の主表面に形成する磁気記録層を含む積層膜が形成された際の膜応力により生じる前記磁気ディスク用基板の反りを相殺する反り量で他方の主表面側に反っていることを特徴とする。例えば、磁気ディスク用基板は、主表面の中心を通り、前記主表面に対して垂直な軸に対して等方的な形状を有し、前記軸方向を高さとしたときの前記主表面の前記高さの半径方向における変動量が、前記主表面の内周端から外周端にかけて単調増加している形状を有する。 （もっと読む）