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【課題】均一な形状、粒径及び磁気特性を有するFePt又はCoPtナノ粒子を、その磁化容易軸の向きを垂直に揃えて非磁性基板の表面に均一に配列することが可能な磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板2の表面2aにテクスチャリング処理を施すことにより、円周方向成分を有する複数の溝3を形成する工程と、テクスチャリング処理が施された非磁性基板2の表面2aに、FePt又はCoPtナノ粒子5の分散溶液を接触させることにより、この非磁性基板2の上に垂直磁性層4となるFePt又はCoPtナノ粒子配列体5Aを形成する工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】 パターンド媒体における磁性ドットごとの反転磁界のばらつきを低減することで、高密度の情報の記録再生が可能な磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体は、基板、基板上に形成された補助層、補助層上に形成された少なくとも一層の垂直磁気記録層を含む。垂直磁気記録層は、磁性ドットパターンを有する。垂直磁気記録層は、鉄及びコバルトのうち1つの元素と、プラチナ及びパラジウムのうち1つの元素とを含有する合金材料からなる。また、この合金材料はL1構造を有し、(001)面配向している。補助層は、磁性ドットパターンで覆われたドット状の第1の領域と、磁性ドットパターンで覆われていない第2の領域を有する。第1の領域は、(100)面配向したニッケル及び鉄のうち1つの金属からなる。第2の領域は、第1の領域に用いられた金属の酸化物を含有する。 (もっと読む)


【課題】複数のターゲットを用いることなく、炭素含有量の多いFePtC系薄膜を単独で形成できるFePt−C系スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Fe、PtおよびCを含有するFePt−C系スパッタリングターゲットであって、Ptを40〜60at%含有して残部がFeおよび不可避的不純物からなるFePt系合金相と、C相とが互いに分散した構造を有するようにし、ターゲット全体に対するCの含有量を21〜70at%にする。
また、Ptを40〜60at%含有して残部がFeおよび不可避的不純物からなるFePt系合金粉末にC粉末を添加し、酸素の存在する雰囲気下で混合して混合粉末を作製した後、作製した該混合粉末を加圧下で加熱して成形する。 (もっと読む)


【課題】1平方センチあたり1テラビット以上の面記録密度を実現するのに十分な垂直磁気異方性エネルギーと結晶粒径を有し、量産性に優れた垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板1上に基板温度制御層2、下地層3、磁気記録層4を順次形成する。磁気記録層は、基板を加熱チャンバで加熱する第1工程と、C,Si酸化物からなる群から選ばれた少なくとも一種の非磁性材料を添加したFePtを主とする合金からなる磁気記録層を製膜チャンバで製膜する第2工程とからなる磁性層積層工程をN回(N≧2)繰り返して形成する。 (もっと読む)


【課題】磁気記録媒体の平面方向で内側の領域の保磁力が高い場合、又は、内側の領域でパターン密度が高くなっている場合であっても、磁気転写が不完全になることなく効率的且つ高精度で行うことができ、高記録密度の磁気記録媒体を効率良く低コストで製造することが可能な、磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板1の上に少なくとも垂直磁性層4が形成された磁気記録媒体Wと、情報信号に対応する転写パターンが形成されたマスター情報担体Mとを重ね合わせた後、マスター情報担体M側から磁界生成手段Gによって外部磁界を印加しながら、マスター情報担体Mから磁気記録媒体Wへと情報信号を磁気転写する工程を含む方法であり、磁気転写を行う際、平面方向で最内周側の磁気転写領域Uにおける磁性層101の膜厚t1が、最外周側の磁気転写領域Sの膜厚t2よりも厚く形成されたマスター情報担体Mを用いる。 (もっと読む)


【課題】アルミニウム膜を有する磁気記録媒体基板上にインプリント法を用いて陽極酸化アルミナナノホールを形成する場合において、細孔が高度に周期配列した陽極酸化アルミナナノホールを形成させるための磁気記録媒体用スタンパの製造方法、ならびにそれを用いる磁気記録媒体基板および磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板に電子ビーム描画方法により、等間隔のドット状または矩形状のパターンを描画し、異方性エッチングすることにより、アルミナノホールのサイズよりも十分小さい逆ピラミッド形状のピットを有する磁気記録媒体用スタンパを作製する。これを用いて陽極酸化アルミナナノホールを形成する。 (もっと読む)


【課題】凹凸構造を有する基板表面の膜厚分布の改善を図ることができる成膜装置及び成膜方法を提供すること。
【解決手段】本発明の成膜装置1は、被成膜面上の一方向である第1の方向に沿って形成された凹凸構造を有する基板Wを成膜対象とし、ステージ3と、成膜源4と、検出部10と、成膜源制御部16とを具備する。成膜源4は、成膜材料Tから成膜粒子を生成させ、ステージ3に支持された基板Wに第2の方向から成膜粒子を照射する。検出部10は、ステージ3の回転角度を検出する。成膜源制御部16は、検出部10の検出結果に基づいて、第1の方向と、第2の方向を被成膜面に投影した第3の方向とが平行となる回転角度のときは、成膜速度が第1の成膜速度となり、第1の方向と第3の方向とが垂直となる回転角度のときは、成膜速度が第1の成膜速度より小さい第2の成膜速度となるように成膜源4を制御する。 (もっと読む)


【課題】長期にわたり優れた電磁変換特性を有する磁気記録媒体を提供すること。
【解決手段】非磁性支持体上に非磁性粉末および結合剤を含む非磁性層と強磁性粉末および結合剤を含む磁性層とをこの順に有する磁気記録媒体。前記磁性層の結合剤は、塩化ビニル系共重合体、ポリウレタン樹脂およびポリイソシアネートの混合物であり、該ポリウレタン樹脂は、ガラス転移温度が90〜130℃の範囲であり80℃における貯蔵弾性率が2.5〜5.0GPaの範囲であり、前記非磁性層は、非磁性粉末および結合剤成分を含む放射線硬化性組成物を放射線硬化することによって得られた放射線硬化層であって、該結合剤成分は放射線硬化性塩化ビニル系共重合体および放射線硬化性ポリウレタン樹脂を含み、かつ前記放射線硬化性塩化ビニル系共重合体および放射線硬化性ポリウレタン樹脂は、いずれもガラス転移温度が30〜100℃の範囲である。 (もっと読む)


【課題】 割れ難く機械加工ができる程度まで密度を向上させることができるCo、Taおよび希土類金属を含有する膜を形成するためのスパッタリングターゲットの製造方法を提供すること。
【解決手段】 希土類金属をRとしてR:5〜10原子%、Ta:5〜10原子%を含有し、残部:Coおよび不可避不純物からなるターゲット組成となる割合で、CoとRとの合金粉末であるR−Co合金粉と、Ta粉と、の混合粉末を作製する工程と、該混合粉末を真空または不活性ガス雰囲気中でホットプレスする工程と、を有している。 (もっと読む)


【課題】高いSNRを確保しつつ摺動耐久性を向上させることで、信頼性の向上および更なる高記録密度化の達成を図る。
【解決手段】本発明にかかる垂直磁気記録媒体の製造方法の構成は、基板上に少なくとも、CoCrPt合金を主成分とする磁性粒子と酸化物を主成分とする非磁性の粒界部とからなる主記録層を成膜する主記録層成膜工程と、主記録層上にRu合金またはCo合金を主成分とする分断層を成膜する分断層成膜工程と、分断層成膜工程の後に基板に加熱処理を施す第1加熱工程と、第1加熱工程の後にCoCrPtを主成分とする材料からなる補助記録層を成膜する補助記録層成膜工程と、補助記録層成膜工程の後に基板に加熱処理を施す第2加熱工程と、第2加熱工程の後にCVD法によりカーボンを主成分とする保護層を成膜する保護層成膜工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】従来の連続膜媒体の作製プロセスに近い簡便な方法を用い、磁気記録層において配向分散を抑制しつつ磁気クラスターサイズを減少させることができる下地層の分離構造を形成し、かつ下地層の薄膜化による記録性能の高性能化が可能な垂直媒体の提供。
【解決手段】非磁性基体上に少なくとも下地層および磁気記録層が順次積層されてなる垂直磁気記録媒体であって、前記下地層は結晶粒子と非晶質結晶粒界とからなり、該結晶粒子が、(成長初期の底面積)>(上部の面積)である形状を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。 (もっと読む)


【課題】良好な記録再生特性と信頼性を両立したディスクリートトラック媒体やビットパターン媒体を作製する。
【解決手段】レジストパターン21’をマスクとして非磁性元素22をトラック分離域23にイオン注入することで、トラック分離域23の合金結晶の格子定数が、磁性層18,19のイオン注入されていない部分である記録トラックの合金結晶の格子定数よりも大きくなるようにする。 (もっと読む)


【課題】本件は、ホルダに支持された基板上への製膜と、製膜後の基板のホルダからの取外しおよび新たな基板のホルダへの取付けとを繰り返す製膜方法に関し、支持爪への製膜材料の堆積を抑える。
【解決手段】ディスク状の基板30の周面に接する支持面221を有し、基板周面の複数点それぞれに各支持面を当てて基板を共同で支持する複数の支持爪22を有するホルダに基板を支持させ、ホルダに支持した状態の基板表面に製膜し、ホルダから製膜後の基板を取り出してホルダに新たな基板を支持させる過程を複数の基板について順次に繰り返すにあたり、ホルダから製膜後の基板を取り外し、新たな基板を、ホルダから取り外した基板の支持面上の支持位置からずれた位置に支持させる。 (もっと読む)


【課題】態様は、改良された書き易さを得るための高められた磁気特性を備えた記録媒体に関する。
【解決手段】一様に高い異方性及び狭い反転磁界分布のような、一様な磁気特性を得るように欠陥を減少させて改良された書き易さを可能にする方法、システム及び要素に関する例が示される。一部の例は、媒体の書き易さの改善を最大にするように、硬質層と軟質、半軟質または薄い半硬質の層との間に挿入された交換調整層を持つ記録媒体を有している。交換調整層は粒状であって、磁気記録または記憶装置の硬質層と、軟質、半軟質または半硬質の層との間の垂直結合を減少または最適化することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】既知のデータ記憶媒体の制約、短所、および/または欠点を克服する改良されたデータ記憶媒体を得る。
【解決手段】基板を供給するステップと、磁性材料および非磁性材料を含む第1の層を基板上に堆積するステップと、第1の層を加熱するステップと、磁性材料および非磁性材料を含む第2の層を第1の層上に堆積するステップと、第2の層および第1の層を加熱するステップと、を含むデータ記憶媒体の作製方法。本発明の方法に従って構成されたデータ記憶媒体も提供される。 (もっと読む)


【課題】本件は、基板上に磁気記録層が形成された磁気記録媒体等に関し、ノイズを増加させることなく、分解能、オーバーライト特性の改善を図る。
【解決手段】磁性体と酸化物とを組成物とする第1の記録層218と、第1の記録層218上に積層された非磁性層219と、非磁性層219の上に積層された、磁性体と酸化物とを組成物とし、酸化物の比率が第1の記録層218における酸化物の比率よりも低い第2の記録層220と、上記第2の記録層220の上に積層された、磁性体からなり実質的に酸化物を含まない第3の記録層221とを有する。 (もっと読む)


【課題】大きな保磁力を持ち、トラック幅の狭化を実現でき、しかもSNRが良い垂直磁気記録媒体を製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の垂直磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板上に、柱状の磁性粒子間に非磁性の粒界部を有するグラニュラ構造の磁気記録層と、前記磁気記録層の下に配設され、前記磁気記録層の磁性粒子の配向を制御する下地層と、を具備する垂直磁気記録媒体の製造方法であって、キャリアガスに反応性ガスを混合して行う反応性スパッタリングにより、前記下地層を成膜することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】非磁性有機物支持体上に結晶磁気異方性の高い磁性体を含む磁性層を有する磁気記録媒体における記録性を改善すること。
【解決手段】非磁性有機物支持体上に、希土類元素を含む硬磁性体表面の一部に、該硬磁性体と交換結合した軟磁性領域を有する磁性体を含む磁性層を有する磁気記録媒体。非磁性有機物支持体上に、希土類元素を含む硬磁性体を含有する塗布液を塗布することにより硬磁性層を形成すること、上記硬磁性層に含まれる硬磁性体表面の少なくとも一部に、該硬磁性体と交換結合した軟磁性領域を形成すること、を含む磁気記録媒体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】複数の磁性体記録要素を有する磁気記録層を有する磁気記録媒体の製造方法に関する。
【解決手段】(i)中間層の上に設けたアルミニウム層を陽極酸化することによりアルミニウム層をアルミナ層に変換させると同時にホールを形成し、中間層を露出させること、および(ii)アルミナ層と中間層との性質の違いにより、超臨界流体に溶解した磁性体金属の有機金属化合物を選択的に還元し、ホール底面の中間層表面に選択的かつ均一に磁性体金属を堆積させること、により磁気的かつ熱的に分離された複数の磁性体記録要素を有する磁気記録媒体を製造する方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】磁気記録を行う複数の磁性体記録要素が非磁性体によって分離されている磁気記録層を有する磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】各磁性体記録要素を分離する空隙には中間金属層を露出させ、一方、磁性体記録要素の上部には非金属層を形成し、これらの性質の違いにより、超臨界流体に溶解した非磁性金属の有機金属化合物を還元する際に、金属中間層表面に選択的に非磁性体金属を堆積させる。 (もっと読む)


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