【課題】研磨を行った後であって磁気転写を行う前の磁気記録媒体に対する異物の付着を抑制する。
【解決手段】垂直記録層が形成された磁気記録媒体１の表面にワイピングおよびバーニッシュを施した後、バーニッシュ後の磁気記録媒体１を、例えば帯電防止剤を含有する樹脂によって構成された基板カセットに収容し、表面検査・磁気転写装置１０の転写前媒体収容部１２に搬送する。表面検査・磁気転写装置１０では、転写前媒体収容部１２に配置された収容容器１２ａ（基板カセット）から磁気記録媒体１を取り出し、表面検査部１３で表面検査を行った後、磁気転写部１４において磁気記録媒体１に対するサーボ・パターンの磁気転写を行う。 （もっと読む）

【課題】本件は、ホルダに支持された基板上への製膜と、製膜後の基板のホルダからの取外しおよび新たな基板のホルダへの取付けとを繰り返す製膜方法に関し、支持爪への製膜材料の堆積を抑える。
【解決手段】ディスク状の基板３０の周面に接する支持面２２１を有し、基板周面の複数点それぞれに各支持面を当てて基板を共同で支持する複数の支持爪２２を有するホルダに基板を支持させ、ホルダに支持した状態の基板表面に製膜し、ホルダから製膜後の基板を取り出してホルダに新たな基板を支持させる過程を複数の基板について順次に繰り返すにあたり、ホルダから製膜後の基板を取り外し、新たな基板を、ホルダから取り外した基板の支持面上の支持位置からずれた位置に支持させる。 （もっと読む）

【課題】従来と同等の工程数で製造できる、耐腐食性に優れた磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】ディスク基板上に情報を記録する磁気記録層と記録機能をもたない溝部が交互に配列してなる凹凸パターンが形成された磁気記録媒体において、凸部形状のテーパ角度が１００°以上であり、凹凸パターンが形成された磁気記録媒体の磁気記録層表面に保護層が形成され、溝部（凹部）の開口部が前記保護層で封鎖され、前記凹部の内部に空洞が形成されてなることを特徴とする磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な構成で小型かつ安価に作製することができ、基板の有効な表面にわたって膜厚が均一な薄膜を高速で堆積することができるプラズマＣＶＤ装置及び薄膜形成方法を提供することを目的とする
【解決手段】真空室内に、平板状放電電極と基板とを互いに対向して設置し、真空室内に導入した反応性ガスをプラズマ発生手段によりプラズマ化し、基板上に薄膜を形成するプラズマＣＶＤ装置であって、前記基板と前記平板状放電電極との間の空間に、基板表面近傍に高密度プラズマ領域を形成するための磁界を発生させる閉ループ型磁界発生機構を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一に表面全体をカバーする耐腐食性キャップ層の必要性が存在する。
【解決手段】基板；基板上のグラニュラー磁性層；グラニュラー磁性層上のキャップ層；及びキャップ層上の、カーボン及びシリコンのうち少なくとも１種を含むオーバーコートを含み、キャップ層が２６００Ｋ未満のガラス転移温度、及び２．６Ｊ／ｍ²未満の表面エネルギーを有する材料を含む、磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】サーボデータが上書きされず、かつ再生信号が弱くなることのない磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第１の保護層を有するサーボ部と、基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第２の保護層を有する記録トラック部とを具備し、前記サーボ部と前記記録トラック部は、前記基板の表面に沿って互いに異なる領域上に形成されており、前記サーボ部の記録層の上部に形成される第１の保護層の膜厚が前記記録トラック部の記録層の上部に形成される第２の保護層の膜厚よりも厚くなっていることを特徴とする磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】成膜時の成膜対象へのパーティクル付着を抑制する。
【解決手段】発生部２で発生したプラズマを成膜部５に配置した成膜対象４へ誘導するフィルタ部３に、プラズマと共に発生するパーティクルを衝突させる衝突部６を設ける。衝突部６は、発生部２で発生したパーティクルの進路をシミュレーションし、衝突部６を設けなかった場合に成膜対象４に到達すると予測されるパーティクルの進路上に、プラズマ流を大きく遮らないようにして、配置する。衝突部６に衝突したパーティクルが、そこで進路を変えられ、或いはそこに捕捉されることで、成膜対象４へのパーティクルの到達及び付着が抑制されるようになる。 （もっと読む）

【課題】ヘッドに良好な浮上性を与え、かつ保護膜との密着性に優れた非磁性層を備えた磁気記録媒体を搭載した磁気記録装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された軟磁性層と、前記軟磁性層上に互いに分離して設けられた凸状の強磁性層からなる複数の磁性パターンと、前記複数の磁性パターン間に形成された、窒素濃度が基板側よりも表面側で高い非磁性層とを具備した磁気記録媒体を搭載したことを特徴とする磁気記録装置。 （もっと読む）

【課題】磁気記録を行う複数の磁性体記録要素が非磁性体によって分離されている磁気記録層を有する磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】各磁性体記録要素を分離する空隙には中間金属層を露出させ、一方、磁性体記録要素の上部には非金属層を形成し、これらの性質の違いにより、超臨界流体に溶解した非磁性金属の有機金属化合物を還元する際に、金属中間層表面に選択的に非磁性体金属を堆積させる。 （もっと読む）

【課題】ヘッドスライダと磁気記録媒体間に接触が発生しても大きな摩擦力が発生することなく、ヘッドスライダまたは磁気記録媒体の摩耗の発生を回避できる磁気記録媒体を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気記録媒体は、非磁性基板上に少なくとも磁性層、保護層および潤滑剤層からなり、該潤滑剤層上に水分吸着層を０．３ｎｍ以上設けたことを特徴とする。本発明は、この磁気記録媒体の製造方法を包含し、該製造方法は、（１）非磁性基板を準備し、該非磁性基板上に、少なくとも磁性層、保護層および潤滑剤層を形成し、磁気記録基板を作成する工程と、（２）前記磁気記録基板を高温高湿環境に放置し、次いで常温常湿環境に放置することで、前記潤滑剤層上に水分吸着層を０．３ｎｍ以上の膜厚で形成する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】光源の消費電力を増大させることなく、情報の記録に要する時間を短縮した情報記録媒体を提供する。
【解決手段】本発明に係る情報記録媒体１ａは、基板１１上に、連続して形成されている記録層１２を有している。記録層１２は、複数の凸部１２ａを有しており、隣接する凸部１２ａの間には、誘電体１３を介して金属体１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】パターニングされた凹凸部を有する磁性層の表面をより高精度、簡便かつ低コストに平坦化することができ、平坦化により磁気ヘッドの走査性と読み書き（ｒｅａｄ／ｗｒｉｔｅ）性を向上させることができるようになることで、更に高記録密度化を促進することができるパターン表面の平坦化方法、並びに磁気記録媒体及びその製造方法の提供。
【解決手段】基板の表面に、該表面を基準として複数の凸部が配列されたことによって形成された凹凸部を有する磁性層上に、該凹凸部における凹部の深さ以上の厚さに非磁性材料を埋設して非磁性層を形成する非磁性層形成工程と、前記非磁性層表面に樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、前記樹脂層表面に平板を大気圧以上の圧力でプレスする平板プレス工程と、前記樹脂層及び前記非磁性層をエッチングして磁性層上に平坦な非磁性層を形成するエッチング工程とを含むパターン表面の平坦化方法である。 （もっと読む）

【課題】記録再生ヘッドの浮上性を確保しつつ、ヘッド位置決め精度がよく、ＳＮ比が良好で、高温多湿環境下でも高い信頼性を示す磁気記録媒体を製造できる方法を提供する。
【解決手段】基板上に磁気記録層を成膜し、前記磁気記録層の記録部に対応する領域にマスクを形成し、前記マスクに覆われていない領域の磁気記録層の一部をエッチングガスによりエッチングして磁気記録層に凹凸を形成し、凹部に残存する磁気記録層をＮｅガスにより改質して非記録部を形成し、全面に保護膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】記録再生ヘッドの浮上性を確保しつつ、ヘッド位置決め精度がよく、ＳＮ比が良好な磁気記録媒体を製造できる方法を提供する。
【解決手段】基板上に、２層以上の多層構造を有し、少なくとも１層がＣｏＣｒＰｔ合金およびＳｉＯ₂、ＴｉＯ、ＣｒＯ₂またはＣｏＯ₂を含むグラニュラー構造を有する磁気記録層を成膜し、前記磁気記録層の記録部に対応する領域にマスクを形成し、前記マスクに覆われていない領域の磁気記録層の一部をエッチングガスによりエッチングして磁気記録層のグラニュラー層を露出させて凹凸を形成し、凹部に残存する磁気記録層のグラニュラー層を改質ガスにより改質し、前記改質反応を促進させて非記録部を形成し、全面に保護膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、中間層の凹凸パターン形成時のドライエッチングプロセスにおいて、必要部位のみを高精度に加工することができる、パターンドメディア型の磁気記録媒体の製造方法を提供することである。
【解決手段】基板上に、軟磁性層、エッチングストップ層、シード層、中間層、ハードマスク層、およびレジストを順次形成する工程、上記レジストをパターニングして、レジストパターンを得る工程、上記レジストパターンをマスクとしてハードマスク層をエッチングし、パターン状ハードマスク層を得る工程、上記レジストパターンを剥離する工程、上記パターン状ハードマスク層をマスクとして上記中間層をエッチングし、パターン状中間層を得る工程、上記パターン状ハードマスク層を剥離する工程、および磁気記録層を形成する工程であって、上記パターン状中間層上に垂直配向部を形成するとともに上記シード層上にランダム配向部を形成する工程、を含む。 （もっと読む）

【課題】磁性層のパターン形成に、反応性プラズマもしくは反応性イオンによる磁気特性の改質を行う場合、磁性層の表面が酸化またはハロゲン化し、この酸化またはハロゲン化した磁性層が原因で、磁気記録媒体の腐食（磁性層に含まれるコバルト等の磁性粒子のマイグレーション）が発生する。本願発明は、この磁性層表面の酸化またはハロゲン化が原因で発生する磁気記録媒体の腐食を防ぐことを課題とする。
【解決手段】磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法である。その方法は非磁性基板上に磁性層を形成する。この磁性層の磁気記録パターンに基づき、磁性層を分離する領域を反応性プラズマもしくは反応性イオンにさらして、その領域の磁性層を非磁性化する等により磁気特性を低下させ、次いで不活性ガスを照射することからなる。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に形成される軟磁性層と、軟磁性層上に形成される底層と、底層上に形成される複数のＣｏ合金酸化物層を有する記録層と、を備え、複数のＣｏ合金酸化物層の各層は、底層側に位置した下部層から上部層へ行くほど磁気異方性エネルギーが次第に低くなるように形成されたことを特徴とする垂直磁気記録媒体である。前記第１Ｃｏ合金酸化物層のＰｔ含量は、前記第２Ｃｏ合金酸化物層のＰｔ含量より多い。 （もっと読む）

【課題】ＣＶＤ法により基板にカーボン保護膜を成膜する際に、基板を保持するキャリアに堆積するカーボン膜を効果的に低減し、堆積膜の剥離に伴うパーティクルの発生を抑制し、かつ、キャリア表面のカーボン堆積膜を発生源とするアウトガスの放出を抑制する。
【解決手段】成膜用基板をキャリアに装着して、接続された複数のチャンバ内に順次搬送し、前記チャンバ内で、前記成膜用基板上に、少なくとも磁性膜とカーボン保護膜とを成膜することによって、磁気記録媒体を製造する方法において、前記キャリアから成膜後の磁気記録媒体を取り外す工程の後、キャリアに成膜用基板を装着する工程の前に、キャリア表面に堆積付着したカーボン保護膜をアッシング除去する工程を設ける。また、キャリア表面に堆積付着したカーボン保護膜をアッシング除去する工程の後、キャリアに成膜用基板を装着する工程の前に、キャリア表面に金属膜を成膜する工程を設ける。 （もっと読む）

【課題】ヘッドに対する耐磨耗性の低下や特性低下が少なく、保護層のカバレッジ性の低下による磁気記録層からの金属溶出、耐腐食性低下の少ない磁気記録媒体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ディスク基板上に情報を記録する磁気記録層と記録機能をもたない溝部が交互に配列してなる凹凸パターンが形成された磁気記録媒体にＡＬＤ法を用いてＡＬＤ保護層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法およびディスク基板上に情報を記録する磁気記録層と記録機能をもたない溝部が交互に配列してなる凹凸パターン形状を有し、さらに該凹凸パターン形状の上に保護層を有する磁気記録媒体において、前記保護層がＡＬＤ法を用いてＡＬＤ保護層からなることを特徴とする磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性および耐腐食性に優れた二重保護層を備えた磁気ディスクまたは磁気記録再生ヘッドおよびそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気ディスクまたは磁気記録再生ヘッドの清浄化された表面に、アルミニウム酸化窒化物、チタンアルミニウム合金酸化窒化物、シリコンアルミニウム合金酸化窒化物またはクロムアルミニウム合金酸化窒化物等の酸化窒化物からなる密着性向上のための下地層を形成し、その上にＤＬＣ層を形成する。 （もっと読む）