【課題】複数の磁気記録媒体間の潤滑層の膜厚のバラつきを抑制し、均一な潤滑層の膜厚の磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】複数の磁気記録媒体を処理する方法であって、複数の磁気記録媒体の各々が、非磁性基体上に磁性膜、保護膜、および潤滑膜を含み、複数の磁気記録媒体をＵＶランプで照射する第１の照射工程を含み、複数の磁気記録媒体のうちの一部の磁気記録媒体をＵＶランプで追加的に照射する第２の照射工程を含む方法である。 （もっと読む）

【課題】ヘッドスペーシングの拡大、および磁性層の磁気異方性の低下を抑制することができる垂直磁気記録媒体の製造方法の提供。
【解決手段】（１）規則合金を構成する金属および炭素を含むターゲットを用いるスパッタ法によって、非磁性基板上に、規則合金の結晶粒子および炭素からなる粒界層を含む磁気記録層と、磁気記録層上に存在し、炭素からなる保護層前駆体とを形成する工程と、（２）保護層前駆体に、炭化水素系ガスに対するプラズマ放電により生成した炭化水素系イオンを照射して、保護層前駆体を保護層に変化させる工程とを含み、炭化水素系イオンは保護層前駆体に到達する際に３００ｅＶ以上のエネルギーを有することを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】保護層の厚さを２ｎｍ以下としつつも、優れた耐食性を有する磁気記録媒体を提供すること。
【解決手段】基板上に磁性層と、炭素系保護層とを含み、上記炭素系保護層の厚さが２ｎｍ以下であり、かつ、上記炭素系保護層表面の水滴に対する接触角が２５度以上６０度未満である。 （もっと読む）

【課題】平坦化の間に磁気ビットを保護する方法および装置を提供する。
【解決手段】実施形態は、炭素領域平面化の間に磁気ビットを保護するための方法を開示し、パターン化スタック上の磁気ビットおよび磁気薄膜に停止層を堆積させるステップと、停止層上に炭素充填層を堆積させるステップと、炭素領域の平面化およびエッチバックの間に停止層を用いて、炭素領域平面化の間にパターン化スタックの磁気ビットを保護するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 良好な記録再生が可能な磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体は、基板と、基板上に設けられ、磁性材料を含有する磁気記録層と、保護層とを含む。磁気記録層は、面内方向に規則的に配列されたパターンを有する記録部と、記録部の飽和磁化よりも低い飽和磁化を有する非記録部を含む。非記録部は、磁性材料と、飽和磁化の値を該記録部の飽和磁化の値よりも低下せしめる失活種と、保護層の成分とを含有する。 （もっと読む）

【課題】小さい膜厚においても高い耐久性および高い耐食性を両立することができるＤＬＣ膜の製造方法および製造装置の提供。
【解決手段】炭化水素系原料ガスの熱分解により発生させたラジカル粒子により被成膜基板上に第１層を形成する工程と、該炭化水素系原料ガスのプラズマ中で発生させたイオン粒子により第２層を形成する工程とを含むことを特徴とする第１層および第２層から構成されるＤＬＣ膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】短時間で、かつ磁気記録媒体の表面全体にわたって保護層の被覆性を評価できる方法およびその方法に用いる分析装置の提供。
【解決手段】本発明は、基板と、金属材料を含む磁性層と、該磁性層の上に形成された炭素系保護層とを少なくとも含む磁気記録媒体を対象とし、磁気記録媒体にコロイド微粒子を付着させる工程と、コロイド微粒子の付着状態を光学的に観察する工程とを含む炭素系保護層の被覆性を評価する方法に関する。また、本発明は、磁気記録媒体に対するコロイド水溶液の塗布手段と、磁気記録媒体を光学的に観察する手段とを含む、炭素系保護層の被覆性を評価する分析装置に関する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンドライクカーボン等のカーボン薄膜について、その膜厚を簡易な手法で評価できるようにした、カーボン薄膜の膜厚評価方法を提供する。
【解決手段】基材上に形成された厚さ１００ｎｍ以下のカーボン薄膜の膜厚評価方法である。カーボン薄膜の膜厚と明度計測装置で計測したカーボン薄膜の明度との相関を求める工程と、明度計測装置によって被評価膜となるカーボン薄膜の明度を計測する工程と、計測した被評価膜となるカーボン薄膜の明度から先に求めた相関に基づき、被評価膜となるカーボン薄膜の膜厚を評価する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】微小領域においても短時間で不良率抑制につながる保護膜の性質を高精度で把握する評価方法が求められている。
【解決手段】本発明は、磁気記録媒体用保護膜の所定の領域に２×１０⁴Ｖ／ｃｍから１×１０⁷Ｖ／ｃｍの範囲の所定の電場を印加しながら前記所定の領域の表面を走査し、前記所定の領域のうち絶縁破壊を起こした領域の割合と高温高湿ドライブ評価による不良率との相関をとることを特徴とする磁気記録媒体用保護膜評価方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 優れたパターンを有した磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気記録層上に凹凸パターンを有するマスクを形成し、前記マスクの凹部に対応する前記磁気記録層の領域の磁性を失活することを含むパターンド媒体の製造方法であって、前記磁気記録層の上部に設けた注入深度調節層を介したイオンビームの照射によって、前記磁気記録層の磁性を失活することを含み、磁性の失活の進行に伴って、前記注入深度調節層の膜厚が減少し、イオンビーム侵入深さが深くなるパターンド媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】異物等の噛み込みによって磁気記録媒体やマスター情報担体の表面に陥没部分等が発生することがなく、磁気転写が不完全になるのを防止できるとともに、マスター情報担体の使用可能な合計回数を高めることができ、高記録密度の磁気記録媒体を効率良く低コストで製造することが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板１の上に少なくとも垂直磁性層４が形成された磁気記録媒体Ｗと、情報信号に対応する転写パターンが形成されたマスター情報担体Ｍとを重ね合わせた後、マスター情報担体Ｍ側から磁界生成手段Ｇによって外部磁界を印加しながら、マスター情報担体Ｍから磁気記録媒体Ｗへと情報信号を磁気転写する工程を含み、磁気転写を行う際に繰り返し使用可能であるとともに、垂直配向処理が施された磁気塗料からなる保護膜１０２が表面に形成されてなるマスター情報担体Ｍを用いる。 （もっと読む）

【課題】保護膜の膜質を損なうことなく処理時間の短縮を図ることができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法は、磁性層１２を磁気分離するためのイオン注入工程に際して使用されるレジストパターン１３のアッシング工程において、基板１１を保護膜１４の成膜に適した温度にまで昇温させ、上記アッシング工程後はその基板温度を利用して保護膜１４の成膜処理を実施する。これにより、保護膜１４の膜質および成膜効率を損なうことなく、保護膜１４の成膜のための処理時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】磁気スペーシングのより一層の低減を実現することができ、しかも磁気ディスクの耐久性、特にグライド特性及びＬＵＬ耐久性に優れ、近年の急速な高記録密度化に伴う磁気ヘッドの超低浮上量のもとで、また用途の多様化に伴う非常に厳しい環境耐性のもとで高信頼性を有する磁気ディスクを提供する。
【解決手段】基板上に、少なくとも磁性層と炭素系保護層と潤滑層を順次形成する磁気ディスクの製造方法において、分子構造中にパーフルオロポリエーテル主鎖を有し、且つ芳香族基またはホスファゼン環を有する潤滑剤化合物を含む潤滑剤組成物を上記保護層上に成膜して潤滑層を形成した後に、磁気ディスクに対して、酸素濃度が５体積％以下である窒素ガスまたは不活性ガス雰囲気下で、且つ雰囲気温度を５０〜１８０℃の範囲に調整して紫外線照射を施す。 （もっと読む）

【課題】磁気スペーシングのよりいっそうの低減を実現することができ、近年の急速な高記録密度化に伴う磁気ヘッドの低浮上量のもとで、また用途の多様化に伴う非常に厳しい環境耐性のもとで高信頼性を有する磁気ディスクを提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも磁性層と保護層と潤滑層が順次設けられた磁気ディスクであって、前記潤滑層は、分子構造中にパーフルオロポリエーテル主鎖を有し、且つ分子の中心付近の位置に、
−O-CH₂-CH(OH)-CH₂-CH₂-CH(OH)-CH₂-O−
または
−O-CH₂-CH(OH)-CH(OH)-CH₂-O−
で示される構造を有する磁気ディスク用潤滑剤化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の保護層をＣＶＤ法等で作製する場合において、磁気転写に用いられるパターン形成体の繰り返し使用回数が減少するのを抑制する。
【解決手段】基板上に、スパッタ法を用いて、密着層、軟磁性下地層、配向制御層、非磁性下地層、および垂直記録層を順次積層し（ステップ２０１〜２０５）、得られた積層体に対し、垂直記録層の磁化の向きを一方向に揃えるために第１の向きの直流磁界を印加する初期磁化を行い（ステップ２０６）、初期磁化が施された積層体に、予めサーボ・パターンに対応した凹凸が形成されたマスタ情報記録体を密着させ、第１の向きとは逆となる第２の向きに直流磁界を印加することによってサーボ・パターンを積層体に磁気転写し（ステップ２０７）、サーボ・パターンが磁気転写された積層体の垂直記録層上に、プラズマＣＶＤ法を用いて保護層を積層する（ステップ２０８）。 （もっと読む）

【課題】潤滑油を磁気媒体に付着させる方法および装置を提供する。
【解決手段】１つの実施例における方法は、潤滑油を収容する貯槽にガスをポンプ注入するステップを含み得る。また、本方法は、ガスを、潤滑油から潤滑油分子を抽出する超臨界流体に変化させて、超臨界流体と潤滑油分子との混合物を生じさせるステップを含み得る。さらに、本方法は、潤滑油分子を磁気媒体上に付着させるために混合物を利用するステップを含み得る。 （もっと読む）

【課題】保護層の表面に形成される潤滑剤膜の膜厚分布のバラツキを無くして、この潤滑剤膜の保護層に対する被覆率を飛躍的に高めることを可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板３１の上に少なくとも磁性層３４を形成した後に、減圧した成膜室内に炭素を含む原料の気体を導入し、この気体をプラズマによりイオン化し、このイオンを用いて非磁性基板３１の表面に炭素膜からなる保護層３５を形成した磁気記録媒体の製造方法であって、保護層３５を形成した後に、水素水を含む洗浄液を用いて磁気記録媒体を洗浄する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】研磨を行った後であって磁気転写を行う前の磁気記録媒体に対する異物の付着を抑制する。
【解決手段】垂直記録層が形成された磁気記録媒体１の表面にワイピングおよびバーニッシュを施した後、バーニッシュ後の磁気記録媒体１を、例えば帯電防止剤を含有する樹脂によって構成された基板カセットに収容し、表面検査・磁気転写装置１０の転写前媒体収容部１２に搬送する。表面検査・磁気転写装置１０では、転写前媒体収容部１２に配置された収容容器１２ａ（基板カセット）から磁気記録媒体１を取り出し、表面検査部１３で表面検査を行った後、磁気転写部１４において磁気記録媒体１に対するサーボ・パターンの磁気転写を行う。 （もっと読む）

【課題】保護層の表面に形成される潤滑剤膜の膜厚分布のバラツキを無くして、この潤滑剤膜の保護層に対する被覆率を飛躍的に高めることを可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板３１の上に少なくとも磁性層３４を形成した後に、減圧した成膜室内に炭素を含む原料の気体を導入し、この気体をプラズマによりイオン化し、このイオンを用いて非磁性基板３１の表面に炭素膜からなる保護層３５を形成した磁気記録媒体の製造方法であって、保護層３５を形成した後に、水素水を含む洗浄液を用いて磁気記録媒体を洗浄する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルを移動しながら基板を処理することができ、かつ、密閉チャンバの内部空間の狭空間化を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】密閉チャンバ２は、密閉された内部空間を区画する隔壁９を有している。密閉チャンバの内部空間でウエハＷが保持される。密閉チャンバ２には、移動ノズルとしての形態を有する処理液ノズル４が設けられている。処理液ノズル４を支持するノズルアーム１５は、隔壁９に形成された通過孔１４を介して密閉チャンバ２の内外に跨って延びている。このノズルアーム１５は、密閉チャンバ２外に配置された直線駆動機構３６によって駆動されるようになっている。隔壁９とノズルアーム１５の外表面との間は、第３シール構造によってシールされるようになっている。 （もっと読む）