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Fターム[5D112FB08]の内容

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【課題】垂直磁性層の高い垂直配向性を維持し、更なる高記録密度化を可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも非磁性基板の上に、軟磁性下地層と、直上の層の配向性を制御する配向制御層11と、磁化容易軸が非磁性基板に対して主に垂直に配向した垂直磁性層とを積層してなる磁気記録媒体の製造方法であって、垂直磁性層を2層以上の磁性層から構成し、各磁性層を構成する結晶粒子が配向制御層11を構成する結晶粒子と共に厚み方向に連続した柱状晶を形成するように各層を結晶成長させる際に、配向制御層11をCoCr合金で形成し、この配向制御層11をスパッタリングガスに窒素を混合した反応性スパッタリングにより成膜すると共に、成膜時に前記非磁性基板に対して負のバイアス電圧を印加する。 (もっと読む)


【課題】垂直磁性層の高い垂直配向性を維持し、更なる高記録密度化を可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも非磁性基板の上に、軟磁性下地層と、直上の層の配向性を制御する配向制御層11と、磁化容易軸が非磁性基板に対して主に垂直に配向した垂直磁性層とを積層してなる磁気記録媒体の製造方法であって、垂直磁性層を2層以上の磁性層から構成し、各磁性層を構成する結晶粒子が配向制御層11を構成する結晶粒子と共に厚み方向に連続した柱状晶を形成するように各層を結晶成長させる際に、配向制御層11をCoCr合金で形成し、この配向制御層11をスパッタリングガスに窒素を混合した反応性スパッタリングにより成膜することで、CoCr合金に3〜15原子%の範囲で窒素をドープさせる。 (もっと読む)


【課題】小さい膜厚においても高い耐久性および高い耐食性を両立することができるDLC膜の製造方法および製造装置の提供。
【解決手段】炭化水素系原料ガスの熱分解により発生させたラジカル粒子により被成膜基板上に第1層を形成する工程と、該炭化水素系原料ガスのプラズマ中で発生させたイオン粒子により第2層を形成する工程とを含むことを特徴とする第1層および第2層から構成されるDLC膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】プロセスダメージや工程増加を招くことなく、表面凹凸を小さくできる磁気記録媒体を製造する。
【解決手段】基板上に強磁性記録部を所望のトラックパターン又はビットパターンに形成した磁気記録媒体の製造方法であって、基板40上に強磁性体膜44を形成した後、強磁性体膜44上に該膜44をトラック間又はビット間で分離するための領域上に開口を有するマスク45を形成する。次いで、B系ガスを照射することにより、強磁性体膜44のガスが照射された部分を、B含有量を15at%以上にして非磁性化する。 (もっと読む)


【課題】 プロセスダメージや工程増加を招くことなく、表面凹凸を小さくできる磁気記録媒体を製造する。
【解決手段】 基板上に強磁性記録部を所望のトラックパターン又はビットパターンに形成した磁気記録媒体の製造方法であって、基板40上に強磁性体膜44を形成した後、強磁性体膜44をトラック間又はビット間で分離するための領域にB薄膜51を形成する。次いで、B薄膜51にイオンを照射することにより、強磁性体膜44のB薄膜51が形成された部分を、B含有量を15at%以上にして非磁性化する。 (もっと読む)


【課題】従来の連続膜媒体の作製プロセスに近い簡便な方法を用い、磁気記録層において配向分散を抑制しつつ磁気クラスターサイズを減少させることができる下地層の分離構造を形成し、かつ下地層の薄膜化による記録性能の高性能化が可能な垂直媒体の提供。
【解決手段】非磁性基体上に少なくとも下地層および磁気記録層が順次積層されてなる垂直磁気記録媒体であって、前記下地層は結晶粒子と非晶質結晶粒界とからなり、該結晶粒子が、(成長初期の底面積)>(上部の面積)である形状を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。 (もっと読む)


【課題】薄膜化してもコロージョン耐性、機械的耐久性、潤滑層との密着性、ヘッドの浮上安定性に優れた保護層を備えた磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも磁性層と炭素系保護層と潤滑層が順次設けられた磁気記録媒体の製造方法であって、前記炭素系保護層は、前記磁性層側に形成される下層と、前記潤滑層側に形成される上層とを備え、炭化水素系ガスを用いて化学気相成長(CVD)法で前記下層を形成し、次いで、炭化水素系ガスと窒素ガスの混合ガスを用いて前記上層を形成した後、該上層の表面を窒素化する処理を施す。 (もっと読む)


【課題】本発明は、摺動耐性や腐食耐性等の耐久性を向上させつつ、薄膜化を図ることのできる保護層を備える磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 基体上110に少なくとも、磁気記録層122と、保護層126とを、この順に備える垂直磁気記録媒体100において、保護層126は表層側に希ガスの原子を含有し、かつ、保護層のラマン分光法におけるGピークの高さをGhとし、Dピークの高さをDhとし、Gピークの蛍光を含んだバックグラウンド強度をBとし、Gピークの蛍光を除いたピーク強度をAとした場合、保護層126のラマン分光法による測定結果は、Dh/Ghが0.78〜0.96であり、B/Aが1.31〜1.34であることにより、保護層を薄膜化可能であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】平滑度の高く、高硬度で緻密な炭素膜の形成方法、前記炭素膜を保護膜として用いて記録密度を向上させ、生産効率を高めた磁気記録媒体の製造方法及び前記炭素膜の形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】カソード電極104と、アノード電極105と、基板ホルダ102と、を備えた成膜室101内を排気した後に、第2の導入管111から不活性ガスAを導入して、カソード電極104の加熱を行うクリーニング工程と、不活性ガスAの導入を止めて前記成膜室101内を排気した後に、第1の導入管103から導入した原料ガスGを前記カソード電極104で加熱して、カソード電極104とアノード電極105との間で放電させ、カソード電極104又はアノード電極105と基板ホルダ102に支持された基板Dとの間で電圧を印加して基板D上に炭素膜を形成する成膜工程と、を有する炭素膜の形成方法を用いることにより、上記課題を解決できる。 (もっと読む)


【課題】垂直磁性層の密度及び硬度が低下することなく、優れた記録再生特性及び熱揺らぎ特性の両方を得ることが可能な磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体、並びに、高記録密度特性に優れた磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】垂直磁性層4の少なくとも一部を、Coが主成分であるとともに、Cr、Si、Ta、Al、Ti、W、Mgの群の中から選ばれる少なくとも1種類以上の非磁性金属の酸化物を含むグラニュラー構造の磁性層として形成し、垂直磁性層4をスパッタリング法で形成するためのターゲットを、Coの酸化物と、Cr、Si、Ta、Al、Ti、W、Mgの群の中から選ばれる少なくとも1種類以上の非磁性金属とCoとの化合物を含むとともに、ターゲット中に含有される酸素の比率を、垂直磁性層4に含有させる酸素の比率よりも高い比率とし、垂直磁性層4を形成する際のスパッタリングガス圧を1Pa以下とする。 (もっと読む)


【課題】磁気記録層からのCoの溶出を抑制するとともに、膜厚が3nm以下の、磁気記録媒体用保護層の形成方法を提供することにある。
【解決手段】(1)基体と該基体上に形成される金属膜層とを含む積層体の上に、炭化水素ガスを原料として用いるプラズマCVD法によって保護膜を形成する工程であって、上記炭化水素ガスの流量が50sccm以上200sccm以下であり、放電電流が0.1A以上0.3A以下である、保護膜の形成工程と、(2)工程(1)で形成した保護膜の表面処理工程であって、(2a)アルゴンガス中でのプラズマ処理、及び(2b)窒素ガスを含むガス中でのプラズマ処理を含む表面処理工程と、を含むことを特徴とする磁気記録媒体用保護膜の形成方法。 (もっと読む)


【課題】磁性パターン間に非磁性の分離領域を短時間で形成することができ、ディスクリートトラック媒体やビットパターンド媒体のような磁気記録媒体を製造するのに有効な方法を提供する。
【解決手段】第1の膜厚を有する磁気記録層上にレジストを形成し、前記レジストに対してスタンパをインプリントして凹凸パターンを転写し、前記磁気記録層の第1の領域上にレジストのパターンを形成し、アルコールガスを用いたイオンビームエッチングにより、前記磁気記録層の第1の領域以外の第2の領域において、前記第1の膜厚の磁気記録層の表面部をエッチングし前記磁気記録層を改質して、前記第1の領域の第1の膜厚の磁気記録層よりも薄い第2の膜厚を有する非磁性層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】凹凸パターンで形成された記録層を有し記録層の磁気特性の変化が生じにくい信頼性が高い磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体10は、基板と、該基板の上に所定の凹凸パターンで形成され該凹凸パターンの凸部が記録要素14Aを構成する記録層14と、記録要素14Aの間の凹部16を充填する充填部18と、を有し、該充填部18は金属系材料の主充填材料と窒素とを含んでなり、且つ、主充填材料の原子数及び窒素の原子数の合計値に対する窒素の原子数の比率が充填部18の上面部18Aにおいて充填部18の下部18Bにおけるよりも高くなるように充填部18中に窒素が偏って分布している。 (もっと読む)


【課題】FeやCoを含有する材料を容易に腐食させない磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】非磁性基板10上に磁性層30を形成する工程と、磁性層30に凹部65を形成する工程と、凹部65の露出面を覆うように耐食性膜60を形成する工程と、耐食性膜60に覆われた凹部65を埋めるように非磁性層40を形成して、磁気的に分離された磁性層からなる磁気記録パターンを形成する工程と、を有する磁気記録媒体122の製造方法を用いることにより、上記課題を解決できる。 (もっと読む)


【課題】バイアスアークが発生しない電圧で保護膜の膜質変化を簡単に制御でき、磁気記録層を保護するために十分な硬度と潤滑層との間の十分な密着力を有する炭素系保護層を備えた磁気ディスクを得ること。
【解決手段】本発明の磁気ディスクの製造方法は、ディスク基体上に少なくとも磁気記録層を形成する磁気記録層形成工程と、前記磁気記録層上に炭素系保護層を形成する保護層形成工程と、前記炭素系保護層上に潤滑層を形成する潤滑層形成工程と、を具備し、前記保護層形成工程は、高周波プラズマを用いたCVD法により前記磁気記録層上に前記炭素系材料を成膜する成膜工程と、前記成膜した炭素系材料膜に対して窒素ガスで窒化処理する工程と、を含み、前記成膜工程において、前記高周波プラズマの周波数を相対的に高い周波数から相対的に低い周波数に変化させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】大きな保磁力を持ち、トラック幅の狭化を実現でき、しかもSNRが良い垂直磁気記録媒体を製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の垂直磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板上に、柱状の磁性粒子間に非磁性の粒界部を有するグラニュラ構造の磁気記録層と、前記磁気記録層の下に配設され、前記磁気記録層の磁性粒子の配向を制御する下地層と、を具備する垂直磁気記録媒体の製造方法であって、キャリアガスに反応性ガスを混合して行う反応性スパッタリングにより、前記下地層を成膜することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高硬度で緻密な炭素膜を形成することが可能な炭素膜の形成方法を提供する。
【解決手段】減圧された成膜室101内に炭素を含む原料の気体Gを導入し、この原料の気体Gを、通電により加熱されたフィラメント状のカソード電極104と、その周囲に設けられたアノード電極105との間で放電によりイオン化し、このイオン化した気体を基板Dの表面に加速照射するときに、永久磁石109による磁場を印加することによって、基板Dの表面に向かって加速照射されるイオン化した気体のイオン密度を高めて、この基板Dの表面に硬度が高く緻密性の高い炭素膜を形成することができる。 (もっと読む)


【課題】カソードと被成膜基板との間の距離を長くすることにより、被成膜基板に緻密で高硬度な薄膜を成膜できるプラズマCVD装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るプラズマCVD装置は、チャンバー2内に配置されたカソード電極3と、カソード電極3の周囲を囲むように設けられたアノード電極4と、カソード電極3及びアノード電極4に対向するように配置される被成膜基板1を保持する保持部と、フロート電位とされるプラズマウォール8と、カソード電極3に接続された交流電源5と、アノード電極4に接続された直流電源7と、被成膜基板1に電気的に接続された直流電源12と、を具備し、円筒形状のプラズマウォール8の内径が100mm以上200mm以下であり、カソード電極3と被成膜基板1との間の距離が200mm以上300mm以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、同一の組成で形成される連続した2層間におけるパーティクルの付着を防止することにより、垂直磁気記録媒体の歩留まりの向上および記録再生特性の改善が可能な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ディスク基体110上に複数の層をスパッタリングによって成膜する垂直磁気記録媒体の製造方法において、複数の層のうち、少なくとも2つの連続する層を、同一チャンバーにおいて同一のターゲットを用いて1つのプロセスタイム内でスパッタ条件を異ならせて成膜することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】制御された蒸気の供給を可能とする。
【解決手段】液体又は固体の物質を保持する保持部4と、保持部を冷却する冷却手段5と、保持部の温度を検知する検知手段6と、検知手段により検出した温度に基づき、冷却手段を制御する制御手段7と、を有し、制御手段により、冷却手段を用いて保持部の温度を制御することで、液体又は固体の物質の気化又は昇華を制御して、物質の蒸気を供給する。蒸気供給装置の置かれた雰囲気での、液体又は固体から気化又は昇華した蒸気の圧力を測定する手段9又は10を有し、制御手段は、測定された圧力に基づき蒸気の圧力が所定の値になるように保持部の温度を制御する。 (もっと読む)


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