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Fターム[5D112FB19]の内容

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【課題】 パターンド媒体における磁性ドットごとの反転磁界のばらつきを低減することで、高密度の情報の記録再生が可能な磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体は、基板、基板上に形成された補助層、補助層上に形成された少なくとも一層の垂直磁気記録層を含む。垂直磁気記録層は、磁性ドットパターンを有する。垂直磁気記録層は、鉄及びコバルトのうち1つの元素と、プラチナ及びパラジウムのうち1つの元素とを含有する合金材料からなる。また、この合金材料はL1構造を有し、(001)面配向している。補助層は、磁性ドットパターンで覆われたドット状の第1の領域と、磁性ドットパターンで覆われていない第2の領域を有する。第1の領域は、(100)面配向したニッケル及び鉄のうち1つの金属からなる。第2の領域は、第1の領域に用いられた金属の酸化物を含有する。 (もっと読む)


【課題】マスター情報担体の繰り返し転写できる使用可能回数を向上させることのできる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板1の上に、少なくとも、軟磁性下地層2と、直上の層の配向性を制御する配向制御層3と、磁化容易軸が前記非磁性基板に対して垂直に配向した垂直磁性層4とを、この順で形成する磁気記録媒体の製造方法であって、CoCr合金を含むターゲットを使用し、窒素を含むスパッタリングガスを用いる反応性スパッタリング法によって、第1配向制御層3aを成膜する第1成膜工程と、第1配向制御層3a上に、スパッタリング法を用いて、RuまたはRu合金からなる第2配向制御層3bを成膜する第2成膜工程とを行うことにより、前記配向制御層3を形成する磁気記録媒体の製造方法とする。 (もっと読む)


【課題】L10型FePt磁性合金薄膜からなる磁気記録層を適用した磁気記録媒体の表面平坦性を改善し、磁気ヘッドと磁気記録媒体の間の距離(スペーシング)を十分に詰めて高密度記録に適合した分解能で記録再生動作が出来るようにする。
【解決手段】磁気記録層14は、Fe及びPtを主原料とする磁性合金と、カーボン、酸化物、窒化物から選ばれる少なくとも一種の非磁性材料を含有する複数の磁性層21,22により構成される。基板側に位置する第一の磁性層21は、FePt合金を主原料とする磁性合金粒子と前記非磁性材料を主原料とする粒界部が分離したグラニュラー構造を有し、第一の磁性層よりも表面側に位置する第二の磁性層22は、FePt合金と前記非磁性材料とが第一の磁性層におけるFePt磁性合金粒子の直径よりも微細な状態で混ざり合った均質な構造を有するように作製する。 (もっと読む)


【課題】 良好な信号対ノイズ比(SNR)特性と良好な熱揺らぎ耐性を有する磁気記録媒体を用いて、高密度記録を行う。
【解決手段】 基板と、軟磁性層と、軟磁性層上に形成された多層下地層と、多層下地層上に形成された連続膜型磁気記録層とを含む磁気記録媒体。多層下地層は、銅からなり、(100)面配向した面心立方格子構造をもつ結晶粒子を含有する第1の下地層、第1の下地層上に形成された銅及び窒素からなる第2の下地層、及び第2の下地層上に島状に形成された第3の下地層を含む。連続膜型磁気記録層は、Fe及びCoのうち少なくとも一種の元素、及びPt及びPdのうち少なくとも一種の元素を含有し、L1構造を持ち、主として(001)配向した磁性結晶粒子を含む。 (もっと読む)


【課題】結晶配向性の向上と結晶粒径の微細化とを両立でき、高記録密度化及び高SN比を達成できる垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の垂直磁気記録媒体100は、基板100と、基板100上に設けられた第一下地層150aと、第一下地層150a上に設けられた第二下地層150bと、第二下地層150b上に設けられ、グラニュラー構造を有する磁性材料を含有する主記録層160とを含む積層膜を有する垂直磁気記録媒体100であって、主記録層160を構成する磁性材料がCoCrPt合金を含有し、第二下地層150bを構成する材料がRu−Co酸化物合金を含有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電気磁気変換特性を向上させ、よりいっそうの高記録密度化に対応可能な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録方式での情報記録に用いる垂直磁気記録媒体であって、基板上に、少なくとも軟磁性層と下地層と磁気記録層とを備える垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記下地層は、スパッタリング成膜により形成され、成膜時のガス圧が低ガス圧にて成膜される低ガス圧成膜層と、成膜時のガス圧が高ガス圧にて成膜される高ガス圧成膜層からなる。そして、前記高ガス圧成膜層は、成膜レートを段階的に低下させた多層成膜により形成する。 (もっと読む)


【課題】高いSNRを確保しつつ信頼性を向上することが可能な垂直磁気ディスクの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる垂直磁気ディスクの製造方法の構成は、基板上に、第1の圧力の雰囲気ガス下でRuまたはRu合金からなる第1下地層を成膜する第1下地層成膜工程と、第1の圧力より高い第2の圧力の雰囲気ガス下でRuまたはRu合金からなる第2下地層を成膜する第2下地層成膜工程と、第1の圧力より高く且つ第2の圧力よりも低い第3の圧力の雰囲気ガス下で、RuまたはRu合金を主成分とし酸化物を副成分とする第3下地層を成膜する第3下地層成膜工程と、第3下地層より上層に、柱状に成長したCoCrPt合金を主成分とする磁性粒子の周囲に酸化物を主成分とする非磁性物質が偏析して粒界部が形成されたグラニュラ磁性層を成膜するグラニュラ磁性層成膜工程と、を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 保護層の耐摩耗性や耐衝撃性等の耐久性を向上し、保護層の膜厚が3nm以下に制限されたとしてもスクラッチ等の諸問題を回避可能な、垂直磁気記録媒体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基体110上に少なくとも、柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造の磁気記録層122と、磁気記録層より上に設けられた非磁性のバリア層124と、バリア層より上に設けられ基体主表面の面内方向に磁気的にほぼ連続した補助記録層126と、補助記録層より上に設けられカーボンを主体とする保護層128と、保護層の上に設けられた潤滑層130と、を備え、保護層は、ラマンスペクトルのDピークの高さ(Dh)とGピークの高さ(Gh)の比(Dh/Gh)が0.70以上0.95以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】垂直磁気記録層の磁性粒子の粒度分布を改善し、記録再生特性の良好な垂直磁気記録媒体を得る。
【解決手段】磁気記録層の下に、不活性ガス雰囲気でスパッタされた、ルテニウムまたは第1のルテニウム合金からなる第1非磁性下地層と、不活性ガス雰囲気で、第1非磁性下地層をスパッタするときの圧力よりも高い圧力でスパッタされた、ルテニウム、及び第2のルテニウム合金のうち一方からなる第2非磁性下地層との間に、ルテニウムとシリコンからなる非磁性テンプレート層が設けられた構造を有する多層下地層を設ける。 (もっと読む)


【課題】記録トラック幅MWWを劣化させることなくSNRの向上を図ることにより、さらなる高記録密度化を実現可能にする垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の代表的な構成は、基板110上に少なくとも、磁性粒子を含有する第1磁性層161を成膜する工程と、第1磁性層の上方にRu合金を主成分とする第1分断層171を成膜する工程と、第1分断層の上方に、磁性粒子を含有する第2磁性層162を成膜する工程と、第2磁性層の上方にRu合金を主成分とする第2分断層172を成膜する工程と、第2分断層の上方に、少なくともCoとCrとPtとを含有する第3磁性層163を成膜する工程と、を包含し、スパッタリング法を用いて成膜する際の雰囲気ガスの圧力を、第2磁性層は第1磁性層よりも低圧にし、第3磁性層は第2磁性層よりも低圧にすることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高いSNR、熱安定性、記録性能を同時に満たす垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板上に、磁性層軟磁性下地層、磁性層の配向と偏析を制御するための下地層、その下地層上に形成された酸化物を含有するCoとCrとPtを主体とする合金磁性材料からなる磁性層、その磁性層の上に形成された酸化物を含まないCoとCrとPtを主体とする強磁性金属層とを有する。酸化物を含む磁性層は二層以上の層から構成され、強磁性金属層に隣接する層のCr濃度が23at.%以上32at.%以下であり、隣接する層間のCr濃度の差が25at.%以下であり、最もCr濃度の低い層は酸化物が強磁性粒子を取り囲んだグラニュラー構造を有し逆磁区核形成磁界が159.2kA/m以上である。 (もっと読む)


【課題】よりいっそうの高記録密度化に対応可能な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録方式での情報記録に用いる垂直磁気記録媒体であって、基板上に少なくとも軟磁性層と中間層と磁気記録層とを備える垂直磁気記録媒体の製造方法において、中間層を連続するN層(但しNは少なくとも3以上の整数)で構成し、まずRuを主成分とする1層目の成膜を行い、次いで、成膜時のガス圧を1層目より高く又は同一に設定して、Ruもしくは酸素又は酸化物を含有させたRuを主成分とする2層目の成膜を行い、2層目以降は上層へいくほど酸素含有量が同一又は増加するように調整する。 (もっと読む)


【課題】凸凹パターンの記録層を平坦化する磁気記録媒体の製造方法において、表面の平坦度を向上する。
【解決手段】記録層32−1を形成する凸凹パターンを平坦化するため、高研磨レートの第1の充填材36の上に、低研磨レートの第2の充填材38を設け、研磨する。研磨時間を長くすることなく、必要な部分のみが、低研磨レートとなるようにできる。これにより、製造効率、製造マージン等を損なうことなく、表面の高平坦性を得ることが可能である。 (もっと読む)


【課題】近年の急速な高記録密度化に伴う磁気ヘッドの低浮上量のもとで、また用途の多様化に伴う非常に厳しい環境耐性のもとで、良好な信頼性特性を有する磁気ディスクを提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも磁性層と保護層が設けられた磁気ディスクであって、カーボン60(C60)をエッチング用のガスとして用いたESCA(エスカ)にて測定される磁性層中のアルゴン(Ar)含有量が許容値となるように磁性層の成膜条件、具体的には成膜時のガス圧を設定し、この設定した成膜条件により磁性層を形成する。 (もっと読む)


【課題】平滑度の高く、高硬度で緻密な炭素膜の形成方法、前記炭素膜を保護膜として用いて記録密度を向上させ、生産効率を高めた磁気記録媒体の製造方法及び前記炭素膜の形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】カソード電極104と、アノード電極105と、基板ホルダ102と、を備えた成膜室101内を排気した後に、第2の導入管111から不活性ガスAを導入して、カソード電極104の加熱を行うクリーニング工程と、不活性ガスAの導入を止めて前記成膜室101内を排気した後に、第1の導入管103から導入した原料ガスGを前記カソード電極104で加熱して、カソード電極104とアノード電極105との間で放電させ、カソード電極104又はアノード電極105と基板ホルダ102に支持された基板Dとの間で電圧を印加して基板D上に炭素膜を形成する成膜工程と、を有する炭素膜の形成方法を用いることにより、上記課題を解決できる。 (もっと読む)


【課題】垂直磁性層の高い垂直配向性を維持し、更なる高記録密度化を可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも非磁性基板の上に、軟磁性下地層と、直上の層の配向性を制御する配向制御層11と、磁化容易軸が非磁性基板に対して主に垂直に配向した垂直磁性層とを積層してなる磁気記録媒体の製造方法であって、垂直磁性層を2層以上の磁性層12〜14から構成し、各磁性層12〜14を構成する結晶粒子が配向制御層11を構成する結晶粒子と共に厚み方向に連続した柱状晶S1〜S3を形成するように各層を結晶成長させる際に、基板を冷却しながら又は基板を冷却した直後に、配向制御層11の積層を行う。 (もっと読む)


【課題】表面の平滑性に優れた磁気記録媒体を、高い生産性で製造することが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】磁性層2に、磁気記録パターン20として、凸部からなる磁気記録領域21と、該磁気記録領域21の間の凹部からなる境界領域22とを形成する磁気記録パターン形成工程と、次いで、非磁性基板1に負のバイアスを印加しながら、スパッタリング法を用いて非磁性膜12を形成することで、磁気記録領域21上の非磁性膜12(12a)を、境界領域22上の非磁性膜12(12b)よりも薄くする非磁性膜形成工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】多層磁気記録層の形成に際して、層界面での磁性層と非磁性層との混合層の発生を抑制しつつ、磁性層又は非磁性層と残留ガスとの反応生成物の発生を抑制すること。
【解決手段】磁気記録媒体の製造方法であって、真空チャンバ内でスパッタ処理を繰り返し実行することにより、基板上に磁性層と非磁性層とを交互に複数積層した多層磁気記録層を形成する磁気記録層形成工程を含み、磁気記録層形成工程は、各磁性層又は各非磁性層の積層を終了してから次の非磁性層又は磁性層の積層を開始するまで、所定の時間だけ、スパッタ処理の放電を停止すると共に、真空チャンバ内の到達真空度が所定値以下となるように、所定の時間中に、真空チャンバ内を排気する。 (もっと読む)


【課題】大きな保磁力を持ち、トラック幅の狭化を実現でき、しかもSNRが良い垂直磁気記録媒体を製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の垂直磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板上に、柱状の磁性粒子間に非磁性の粒界部を有するグラニュラ構造の磁気記録層と、前記磁気記録層の下に配設され、前記磁気記録層の磁性粒子の配向を制御する下地層と、を具備する垂直磁気記録媒体の製造方法であって、キャリアガスに反応性ガスを混合して行う反応性スパッタリングにより、前記下地層を成膜することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 下地層の皮膜の強度を高めることで信頼性を向上しつつ、高いSNRを確保することが可能な垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体の構成は、ディスク基体110上に少なくとも、ルテニウムからなる下地層118と、Co系合金からなり結晶粒子が柱状に成長したグラニュラー構造を有するグラニュラー層(非磁性グラニュラー層120、磁気記録層122)を備える垂直磁気記録媒体100において、下地層は、ディスク基体に成膜速度を、低速度から高速度または高速度から低速度のいずれかで変化させて成膜したことを特徴とする。 (もっと読む)


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