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Fターム[5D112JJ01]の内容

磁気記録媒体の製造 (17,949) | 検査、試験、評価 (579) | 形状、構造、外観上の検査 (260)

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Fターム[5D112JJ01]に分類される特許

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【課題】HDDとしたときに、磁気ディスクに記録されているTrack情報を含むサーボ情報を安定に読み出すことを実現できる磁気記録媒体用ガラス基板を提供する。
【解決手段】本発明のガラス基板1は、内孔の全周に亘る形状プロファイルより算出されるSkおよび/またはKu、あるいはスキューネスを加味した修正同軸度ACの値が所定の範囲内である。 (もっと読む)


【課題】複数の研磨工程を経て所望の端部形状を有することとなる磁気ディスク用ガラス基板を提供。
【解決手段】先行研磨工程では、ガラス基板1の主表面の端部形状が、主表面の中央部と比べて隆起した形状となるように研磨パッド10および酸化セリウム研磨砥粒40を用いて遊星歯車運動による研磨を行う。把握工程では、先行研磨工程で得られるガラス基板の端部形状を予め把握する。決定工程では、先行研磨工程にて隆起した形状を相殺する方向に変化させることで端部形状を所望の形状とし、かつ、ガラス基板の表面粗さを、算術平均粗さ(Ra)が0.2nm以下であり、最大山高さ(Rp)が2nm以下となるように後続研磨工程に用いる研磨パッドの硬度および研磨砥粒の粒径を決定する。後続研磨工程では、決定工程で決定された硬度の研磨パッド20および決定された粒径の研磨砥粒としてコロイダルシリカ砥粒50を用いて遊星歯車運動による研磨を行う。 (もっと読む)


【課題】検査効率に優れたガラス基板検査システムを提供すること。
【解決手段】カセット30からガラス基板20を取り出す取り出し装置40と、取り出し装置40によりカセット30から取り出されたガラス基板20を検査する検査装置50とを備え、カセット30がガラス基板20を収納可能な収納位置を複数有するガラス基板検査システム10であって、収納位置毎に収納位置からガラス基板20を取り出す動作を取り出し装置40に行わせる実行部81と、収納位置毎にガラス基板20の有無を判定する有無判定部82とを有し、実行部81は、有無判定部82によりガラス基板20が無いと判定された収納位置に対する取り出し動作を取り出し装置40に行わせない。 (もっと読む)


【課題】安価な装置で簡便にレジスト膜の膜厚を測定できるようする。
【解決手段】被転写物膜厚検査方法は、所定のパターンの設けられたスタンパを被転写物用基板に塗布された光硬化樹脂剤に押圧すると共に光硬化樹脂剤にUV光線を照射し、硬化後にスタンパを剥離することによってスタンパの所定のパターンの転写された被転写物用基板を製造する際に、光硬化樹脂剤に転写されたパターンの所定箇所を観察することによって、光硬化樹脂剤の膜厚が適切であるか否かを検査する。所定のパターンが設けられていない部分に、それぞれ幅または深さの異なるパターンを膜厚測定用パターンとして設けたスタンパによって転写し、この膜厚測定用パターン内のどのパターンに光硬化樹脂が充填されているか否かを観察することによって、被転写物用基板に塗布された光硬化樹脂剤の膜厚を測定する。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板の端面を酸化セリウム砥粒の使用をできるだけ抑えながら、かつ高い研磨速度で研磨し、面取り部等の端面にキズ等の加工変質層がない磁気記録媒体用ガラス基板を得るための製造方法を提供する。
【解決手段】内周端面の研磨と外周端面の研磨のうちの少なくとも一方を、平均粒径4μm〜25μmのアルミナ粒子、ジルコン粒子等の第1の砥粒を含有する第1の研磨液を用いて研磨する第1の端面研磨工程と、第1の砥粒より平均粒径が小さい第2の砥粒を含有する第2の研磨液を用いて研磨する第2の端面研磨工程との2段階の工程を順に行うことにより研磨する。 (もっと読む)


【課題】パターンの形状測定において、対象構造が計測可能か、又はどの程度の誤差が生じるかを分光反射率測定により事前に知る。
【解決手段】繰り返しパターンを分光検出して分光反射率を求めるとともに検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量を求め、分光反射率の情報及び検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量の情報と、繰り返しパターンの屈折率と消衰係数とを含む光学的材質の情報及び繰り返しパターンの形状の情報とを用いて繰り返しパターンの形状を算出して所定の精度で繰り返しパターンを計測することが可能かを評価し、評価した結果所定の精度で計測可能と判定した場合に繰り返しパターンと同一のパターンが形成された基板を順次分光検出してパターンの形状を検査するようにした。 (もっと読む)


【課題】シアマークに起因する主表面の欠陥を抑制した磁気ディスク用ガラス基板を効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、溶融したガラスを切断してなるガラスの塊を鉛直方向下向きに落下させる落下工程と、互いに対向する一対の型から前記塊の少なくとも切断痕がはみ出すタイミングで、前記塊の落下経路の両側から、前記一対の型の面が前記塊を同じタイミングで挟み込みプレス成形することにより、板状ガラス素材を成形するプレス工程と、前記一対の型からはみ出したガラス素材を除去する除去工程と、を有することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】中央部に円孔を有する円盤状基板の内周と外周の中心ずれを測定する時間を短縮可能な、中心ずれ測定装置及びその方法を提供すること。
【解決手段】中央部に円孔を有する円盤状基板Wの内周と外周の中心ずれを測定する中心ずれ測定装置であって、内周端面C1と外周端面C2に挟まれた主平面Sの半径方向幅Bを、投光部と受光部との間に形成された計測領域DA内で円盤状基板の全周にわたって非接触で計測する計測部と、前記計測部によって計測された半径方向幅Bの最大値Bmaxと最小値Bminの差Aを演算して該差Aを用いて中心ずれを演算する演算部とを備えることを特徴とする、中心ずれ測定装置。 (もっと読む)


【課題】アルミニウム合金基板の表面にNiPめっき被膜を形成した磁気記録媒体用基板について、アルミナ砥粒を使用しない磁気記録媒体用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム合金基板の表面にNiPめっき被膜を形成した磁気記録媒体用基板の表面を研磨する際に、第1の研磨盤を用いて粉砕シリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する粗研磨工程と、第2の研磨盤を用いてコロイダルシリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する仕上げ研磨工程と含むことにより、アルミナ砥粒を使用することなく、この磁気記録媒体用基板の表面に対して良好な研磨処理を施すことができるため、従来のアルミナ砥粒を用いた場合に生じるアルミナ砥粒の磁気記録媒体用基板への突き刺さりを防ぐことが可能である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、平行度などの形状特性に優れる磁気記録媒体用ガラス基板の提供を目的とする。また、平行度などの形状特性に優れる磁気記録媒体用ガラス基板を高い生産性で研磨するガラス基板の研磨方法、及び該研磨方法を用いた研磨工程を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、磁気記録媒体用ガラス基板の上下主平面を研磨する研磨工程において、ガラス基板を研磨する両面研磨装置の上定盤及び下定盤は、内周端と外周端のある円盤形状を有し、該外周端により形成される外径が0.6m〜2mであり、下定盤は回転速度33〜49rpmで回転駆動し、上定盤は下定盤と反対方向に回転速度10〜21rpmで回転駆動し、ガラス基板を保持するキャリアは下定盤と同方向に速度2〜16rpmで公転し、ガラス基板の両主平面を押圧する上定盤と下定盤の圧力は8.0〜16.0MPaである研磨方法を有することを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法において、ガラス基板の端面研磨装置間の移動やブラシの交換をすることなく、端面の加工傷を短時間で除去し、かつ端面を高品質に平滑化することが可能な端面研磨工程を提供する。
【解決手段】端面研磨工程では、回転自在の軸心31aと、剛性が相対的に高く、軸心31aからブラシ部の先端までの長さが相対的に短い第1ブラシ部31cと、剛性が相対的に低く、軸心31aからブラシ部の先端までの長さが相対的に長い第2ブラシ部31dとを有するブラシを用いてガラス基板の端面13を研磨する。端面研磨工程は、第1ブラシ部31cと第2ブラシ部31dとをガラス基板の端面13に接触させてブラシを軸心周りに回転させる第1研磨段階と、ガラス基板の端面13とブラシの軸心31aとの間の距離が第1研磨段階よりも長くなった状態で、第2ブラシ部31dのみをガラス基板の端面13に接触させてブラシを軸心周りに回転させる第2研磨段階とをこの順に含む。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板の端面の表面状態を高いレベルで平滑に仕上げることができ、かつコストを抑制できる、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】円形ディスク形状のガラス基板1の表面に磁気記録層が形成される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、ガラス基板1を成形する工程と、ガラス基板1の端面に、遊離砥粒を含有した研磨液50を供給するとともに、表面が隙間なく密集した回転ブラシ4を回転させながら接触させて、端面を研磨する工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】複数のガラス基板の板厚測定結果に基いて複数のガラス基板をグループに分け、グループに分けた複数のガラス基板をグループ毎に一度に精密研磨する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法において、ガラス基板を工程から抜き取ることなく、ガラス基板の板厚を非接触で精度よく測定する。
【解決手段】複数のガラス基板10の板厚を測定する板厚測定工程と、板厚測定工程の測定結果に基いて複数のガラス基板10をグループに分け、グループに分けた複数のガラス基板10をグループ毎に一度に精密研磨する精密研磨工程とを含む磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、板厚測定工程では、ガラス基板10に板厚方向に所定の波長帯域を有する光Lを照射し、ガラス基板10の表面で板厚方向に反射した光aと裏面で板厚方向に反射した光bとの干渉光を受光し、受光した干渉光を波長毎に分析することにより、光Lを照射したガラス基板10の板厚を分光干渉によって測定する。 (もっと読む)


【課題】目視検査や光学検査で検出困難なキズを検出可能とし、良品の損傷を抑制可能なガラス板の品質試験方法、ガラス板の品質試験装置を提供すること。
【解決手段】ガラス板10に熱衝撃を与える処理工程を有するガラス板の品質試験方法であって、処理工程は、ガラス板10を加熱する加熱工程と、ガラス板10を冷却する冷却工程とを有し、処理工程において、ガラス板10の少なくとも一部の温度変化幅が200℃以上であって、加熱工程において、ガラス板10の加熱温度の上限がガラス板10の歪点−340℃であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電磁変換特性及び走行特性に優れた磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性支持体と、その一方の主面に形成された非磁性層と、前記非磁性層の主面に形成された磁性層とを含む磁気記録媒体の断面の輝度曲線から求めた微分曲線の第1のピークと第2のピークとの間の距離を、磁性層の平均厚さtとし、非磁性層の平均輝度値を0とし、磁性層の最高輝度値を100とした場合、磁性層の非磁性層側とは反対側の輝度値70から30までの領域の平均厚さを第1混合層の平均厚さL1とし、磁性層の非磁性層側の輝度値70から30までの領域の平均厚さを第2混合層の平均厚さL2とし、磁性層の残留磁束密度をMrとし、下記関係(1)、(2)及び(3)が成立するようにMr、t、L1及びL2を制御する。(1)0.0020μT・m≦Mr・t≦0.015μT・m(2)2nm≦L1≦6nm(3)0.1≦L2/t≦0.45 (もっと読む)


【課題】ダイヤモンドライクカーボン等のカーボン薄膜について、その膜厚を簡易な手法で評価できるようにした、カーボン薄膜の膜厚評価方法を提供する。
【解決手段】基材上に形成された厚さ100nm以下のカーボン薄膜の膜厚評価方法である。カーボン薄膜の膜厚と明度計測装置で計測したカーボン薄膜の明度との相関を求める工程と、明度計測装置によって被評価膜となるカーボン薄膜の明度を計測する工程と、計測した被評価膜となるカーボン薄膜の明度から先に求めた相関に基づき、被評価膜となるカーボン薄膜の膜厚を評価する工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 砥粒に対する洗浄性が非常に高く、かつ、悪影響を及ぼす界面活性剤などの有機物の基板表面の残留が極めて少ない電子材料用洗浄剤、または悪影響を及ぼす界面活性剤を含有せずに非常に高い洗浄性を発揮する電子材料用洗浄剤および電子材料の製造方法を提供する。
【解決手段】 還元性を有するレダクトン類(A)0.01〜10重量%と水を含有し、1重量%に希釈したときの25℃での表面張力が50mN/m以下である界面活性剤(B)の含有量が0.01重量%未満であることを特徴とする電子材料用洗浄剤を用いる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、平行度に優れる磁気記録媒体用ガラス基板の提供を目的とする。
【解決手段】ガラス基板を研磨する前の両面研磨装置の上定盤の研磨面と下定盤の研磨面の形状を、内周端における上定盤の研磨面と下定盤の研磨面との距離をDinとし、外周端における上定盤の研磨面と下定盤の研磨面との距離をDoutとしたとき、DoutからDinを引いたΔD(=Dout−Din)を−30μm〜+23μmとしてガラス基板を研磨する工程を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法により、レーザ干渉計を用いて測定する磁気記録媒体用ガラス基板の少なくとも記録再生領域における前記両主平面の平行度が2.8μm以下である磁気記録媒体用ガラス基板を提供できる。 (もっと読む)


【課題】本発明は複数の被研磨体を研磨装置のキャリアに効率良く装填することを課題とする。
【解決手段】被研磨体装填治具10は、第1の治具20の上面に第2の治具30を回動可能に重ね合わせてなる。第1の治具20は、第1の平面部22と、第1の平面部22の外周に結合された補強用リブ24とを有する。第1の平面部22は、被研磨体としてのガラス基板が通過するための複数の挿入孔40を有し、第2の治具30は、第2の平面部32にガラス基板が収納される複数の待機孔50を有する。第1の平面部22及び第2の平面部32は、中心を貫通する中心位置決め部60が設けられている。第1の平面部22及び第2の平面部32の中心位置をキャリア110の中心に位置合わせした後、挿入孔40の周方向の位置を研磨装置のキャリアの各保持孔の位置に合わせた後、各待機孔50を各挿入孔40に一致させるように第2の平面部32を周方向に回動させる。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板の内端面を含む全ての領域を洗浄することが可能な情報記録媒体用ガラス基板の製造方法およびその情報記録媒体用ガラス基板を備えた情報記録媒体を提供する。
【解決手段】洗浄工程において、超音波を走査させながらガラス基板1の洗浄を行なっている。これにより、ガラス基板1の全面を同時に洗浄することが可能となる。特に、ガラス基板1の孔1Hの内端部にも超音波が入り込むことにより、内端部の清浄度を向上させることができる。 (もっと読む)


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