【課題】端面研磨工程における加工精度、生産性を高め、取り扱いが容易であり、さらに、ガラス基板積層体を解体することなく、外周端面研磨、内周端面研磨を行うことが可能なガラス基板積層治具を提供することを目的とする。
【解決手段】中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板を積層したガラス基板積層体の外周端面研磨及び／又は内周端面研磨に用いるガラス基板積層治具であって、前記磁気記録媒体用ガラス基板の円孔に挿入され、前記ガラス基板積層体の内周端面を支持し、前記磁気記録媒体用ガラス基板の位置合わせをするシャフトを有しており、前記シャフトは、シャフトの両端にクランプボルトを嵌合可能なクランプボルト嵌合部と、シャフトの周囲にガラス基板積層体を支持する軸止部と、を備えることを特徴とするガラス基板積層治具及びそれを用いた磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】外周傷の発生を抑えた磁気記録媒体の作製が可能となり、より外周側まで浮上性が安定した磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性基体上に、磁性膜、保護膜、および潤滑膜を含む磁気記録媒体をＵＶ処理する方法であって、磁気記録媒体をＵＶランプで照射するＵＶ照射工程を含み、ＵＶ照射工程が、磁気記録媒体を樹脂で保持した状態で行われる方法である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面に対してより均一に化学強化処理を施すことが可能な情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を得る。
【解決手段】円形ディスク状に形成されるガラス基板１に磁気記録層が形成される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、線状の金属部材を含む保持用治具７を準備する工程と、保持用治具７を用いてガラス基板１を化学強化処理液中に浸漬し、ガラス基板１の表面に対して化学強化処理を施す工程と、を備え、保持用治具７の周囲は、ガラス基板１が化学強化処理液中に浸漬された状態で、ガラス基板１の周りに化学強化処理液の対流が生じるように開放されている。 （もっと読む）

【課題】保持部材の長寿命化を実現することができる基板保持装置、基板洗浄装置および基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を保持するスピンチャックにおいて、鉛直方向に平行な回転軸の周りで回転可能にスピンプレート５２０が設けられる。スピンプレート５２０には、基板保持機構７００の支持部７２０が取り付けられる。支持部７２０により軸部７３０が軸部７３０の中心軸の周りで回転可能に支持される。略円柱形状を有する保持ピン７１０が、軸部７３０により周方向に回転可能に保持される。軸部７３０が回転することにより、保持ピン７１０の外周面が基板の外周端部に当接する状態と保持ピン７１０の外周面が基板の外周端部から離間する状態とに移行する。軸部７３０においては、ねじＮ１が締め込まれることにより保持ピン７１０の周方向の回転が阻止され、ねじＮ１が緩められることにより保持ピン７１０の周方向の回転が許容される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面を洗浄する工程においてガラス基板の表面がより良好に洗浄される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を得る。
【解決手段】円形ディスク状に形成されるガラス基板１に磁気記録層が形成される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、保持用治具７を用いてガラス基板１を洗浄液中に保持する工程と、洗浄液に超音波を印加し、ガラス基板１の表面に沿うように洗浄液中を伝播する超音波によってガラス基板１の表面を洗浄する工程と、を備え、ガラス基板１の表面に対して保持用治具７が超音波の伝播を遮る面積は、ガラス基板１の表面の面積に対して１％以下である。 （もっと読む）

【課題】ディスク保持装置のカバーを自動機械で外す。
【解決手段】ハードドライブディスクを入れるためのディスク保持装置１０が、ベース１６と、ベースに対して支持されるカセットと、カセット１４の上を覆って支持されるカバー１８とを含む。ベースは第１ロック面４０を含む。カバーは、カバーの端部３８，４２の近くにラッチアーム３２ａ，３２ｂを含む。ラッチアームは第２ロック面４４を有し、ベースとカバーとを共に固定するために第１ロック面は第２ロック面に受け止められる。第１ロック面と第２ロック面の少なくとも一方は、ディスク保持装置を開けるためにベースとカバーとを分離できるように、ロック面のロックを解除するためにカセットの内部に向かって内側方向に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】電圧印加手段から電圧が印加される給電部材の弾性の劣化やヘタリを評価することができる。
【解決手段】基板処理装置は、搬入口と搬出口を有するチャンバ８５と、チャンバ内にガスを供給するガス供給手段１２と、ガスをプラズマにするためのプラズマ発生手段と、基板を保持する基板ホルダ２０と、搬入口から搬入され、搬出口へと基板ホルダを保持しながら搬送するキャリア２と、基板ホルダ２０に電圧を印加するための電圧印加手段１６と、給電部材１３を可動して、該給電部材を基板ホルダ２０に接触又は非接触させることにより、電圧印加手段１６からの電圧を供給するための駆動手段１８と、給電部材１３に流れる電流を測定する電流測定手段１７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の内端面を含む全ての領域を洗浄することが可能な情報記録媒体用ガラス基板の製造方法およびその情報記録媒体用ガラス基板を備えた情報記録媒体を提供する。
【解決手段】洗浄工程において、超音波を走査させながらガラス基板１の洗浄を行なっている。これにより、ガラス基板１の全面を同時に洗浄することが可能となる。特に、ガラス基板１の孔１Ｈの内端部にも超音波が入り込むことにより、内端部の清浄度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より平滑性の向上および表面欠陥の低減を図ることができるガラス板熱処理用セッタおよびこれを用いた情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のガラス板熱処理用セッタＳＴは、処理対象のガラス板とこのガラス板を載置したガラス板熱処理用セッタＳＴとを積層した一対の積層対体を複数さらに積層した積層体を形成し、この積層体の状態で所定の熱処理を行うように用いられる、このガラス板熱処理用セッタＳＴであって、平行で互いに対向する上表面ＳＦａおよび下表面ＳＦｂと上表面ＳＦａから下表面ＳＦｂに至る端面ＥＤとを備える板状体であり、端面ＥＤの表面粗さは、上表面ＳＦａの表面粗さおよび下表面ＳＦｂの表面粗さよりも小さい。 （もっと読む）

【課題】基板を回転させる機構のコスト低減に寄与する基板回転装置を提供する。
【解決手段】センタ孔を有する基板９を回転させてキャリアに支持された基板９の支持位置を変化させる基板回転装置は、駆動源に連結され、進退動、上下動及び左右動が可能なシャフトと、シャフトの端部側に固定され、センタ孔内側の縁部分を載せて基板９を鉛直姿勢で支持するための、上方に開放された支持溝が形成されたピック３２とを有してなり、ピック３２の回転中心とピック３２との距離は、シャフトの上下動に伴い変化させることでピックの回転前後でキャリアに対する基板の位置の変化を抑え、基板９のワイパー動作を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】支持体の巻き状態の積層変形に応じた塗布厚分布を適用して積層変形が抑制された塗布済み原反を得ることによって表面平坦性に優れる磁気記録媒体を製造する。
【解決手段】背面を支持しない状態で走行させている非磁性支持体１００に対して押し出し型の塗布ヘッド１１を相対的に押しつけ、非磁性支持体１００に対して塗布ヘッド１１のスリット１１ａから塗料２００を押し出して塗布する塗布工程を有し、塗布工程において、塗布ヘッド１１の上流側で非磁性支持体１００の幅方向の張力を調整しつつ塗料２００を塗布する。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を均一の膜厚で形成することを可能とした磁気記録媒体の製造装置を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体１００の中心孔１００ａに挿通されて当該磁気記録媒体１００を吊り下げた状態で支持するハンガー機構２と、ハンガー機構２と浸漬槽１との何れか一方を他方に対して昇降操作する昇降機構３とを備え、ハンガー機構２は、その上端部が磁気記録媒体１００の内周部と当接される支持プレート４ａ，４ｂと、支持プレート４ａ，４ｂの上端部よりも下方に位置する上端部と磁気記録媒体１００の内周部との間に間隙を設けて支持プレート４ａ，４ｂと対向配置された防波プレート７ａ，７ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を均一の膜厚で形成することを可能とした磁気記録媒体の製造装置を提供する。
【解決手段】中心孔１００ａを有する円盤状の磁気記録媒体１００を液体潤滑剤Ｌの入った浸漬槽１に浸漬した後、この浸漬槽１から磁気記録媒体１００を引き上げることによって、磁気記録媒体１００の表面に潤滑剤膜を形成する磁気記録媒体の製造装置であって、磁気記録媒体１００の中心孔１００ａに挿通されて当該磁気記録媒体１００を吊り下げた状態で支持するハンガー機構２と、ハンガー機構２と浸漬槽１との何れか一方を他方に対して昇降操作する昇降機構３とを備え、ハンガー機構２は、その上端部が磁気記録媒体１００の内周部と当接される支持プレート４ａ，４ｂと、支持プレート４ａ，４ｂの下端部から磁気記録媒体１００の内周部に沿って折り曲げられた液切プレート７ａ，７ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】基板を回転させながら効率よく冷却することができる技術の実現。
【解決手段】スパッタリング装置１００の真空容器１０１内部の基板を冷却するための冷却装置であって、前記基板Ｗを冷却する基板冷却台１０４と、前記基板冷却台を冷却する冷却機構１０２と、前記基板冷却台に冷却ガスを導入する冷却ガス供給部１１０，１１１と、前記基板を前記基板冷却台から所定の間隙だけ離間させた状態で保持し、当該基板を保持した状態で回転駆動される基板回転機構１０５と、前記基板回転機構を所定の回転数で回転駆動する駆動機構１０６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板を規則正しく整列させることのできる基板整列治具を提供し、また、当該基板整列治具を用いた基板の移送方法を提供する。
【解決手段】基板１１収納する基板カセットに用いられる基板整列治具２５であって、前記基板カセットは、上部及び下部が開放したカセット本体２を備え、前記カセット本体２内部には、基板１１を整列させるために、相対向する一対の面に、上部から下部に向かって溝部７が設けられており、前記基板整列治具２５は、前記カセット本体２の開放した下部に設けられ、基板１１を整列させて保持するための溝２３が設けられたコーム２４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】キャリアからの基板の脱落を防止すると共に、キャリアを高速で搬送することができるインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】第１の支持部材４１の熱膨張による水平方向の伸びに応じて、この第１の支持部材４１が支持台４０の取付面Ｓ１に沿った方向に変位可能に支持され、第２の支持部材４２の熱膨張による水平方向の伸びに応じて、この第２の支持部材４２が第１の支持部材４２の取付面Ｓ２に沿って、第１の支持部材４１の熱膨張による水平方向の伸びを打ち消す方向に変位可能に支持され、ホルダ３の熱膨張による鉛直方向の伸びに応じて、このホルダ３が第３の支持部材４３の取付面Ｓ３に沿って、第１及び第２の支持部材４１，４２の熱膨張による鉛直方向の伸びを打ち消す方向に変位可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】従来の連続媒体から区別したパターニングされた媒体を識別するパターン転写ステップを統合した複数の基板の処理装置などの技術を提供すること。
【解決手段】ハードディスクドライブに用いるためのハードディスク上に磁気記録層をパターニングするためのインライン処理システム。ディスクは、ＭＤＣと呼ばれるラウンドプレート形状ホルダ（ｐｌａｔｅ−ｌｉｋｅ ｈｏｌｄｅｒ）の垂直方向に同時に両側に処理される。複数（１０個程）のディスクは、ＭＤＣのダイヤルキャリアでホールディングされ、１つの処理ステーションから他の処理ステーションに移動する。ＭＤＣのダイヤルキャリアは、１つまたは複数の処理源がディスクを同時に処理できるように各処理ステーションで、正常から７０°までの回転及び／または角度を提供する。このような構成は、時間節約及び要求される処理源の数と大きさの減少を提供する。磁気媒体のパターニングのためのマスク改善処理、及び充填と平坦化処理は共に用いられ、また開示される。 （もっと読む）

【課題】基板ホルダへの電圧印加効率の向上を図り、長期に渡って安定的に使用できる電圧印加装置を提供する。
【解決手段】電圧印加装置は、真空処理チャンバーと、真空処理チャンバ内に設けられた基板ホルダー２０と基板ホルダに電圧を印加するための給電部材１３と、給電部材の先端部に設けられた、ダイヤフラム式給電部２２と、真空処理チャンバーの外部に設けられ、かつ給電部材を可動して、ダイヤフラム式給電部を基板ホルダに接触又は非接触させる可動機構１８と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】片面で面出しが不可能な片面加工品の磁気ディスク用基板においても従来の触針式測定機や光学式／干渉系測定機を使用した品質の測定を行うことができる磁気ディスク用基板固定用治具及び磁気ディスク用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用基板固定用治具は、片方の面のみ加工された磁気ディスク用基板３０を検査する際に用いられる磁気ディスク用基板固定用治具１であって、磁気ディスク用基板３０の加工面３０ａと接する面２ａが加工面３０ａと同程度に研磨加工された支持部材２と、磁気ディスク用基板３０の非加工面３０ｂ側で、磁気ディスク用基板３０の穴部のテーパ状に形成された開口部と接するテーパ面３ａが磁気ディスク用基板３０の穴部と同程度に研磨加工された固定部材３とを具備し、支持部材２の面２ａと固定部材３のテーパ面３ａとで磁気ディスク用基板３０を固定する。 （もっと読む）

【課題】キャリアとベアリングとの耐摩耗性を向上させることによって、生産性の更なる向上を可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】キャリア４に保持された基板Ｗを複数のチャンバの間で順次搬送させながら成膜処理を行うインライン式成膜装置であって、キャリア４を非接触状態で駆動する駆動機構２０と、駆動機構２０により駆動されるキャリア４をガイドするガイド機構２１とを備え、ガイド機構２１は、キャリア４に設けられたガイドレール２９に係合された状態で、駆動機構２０により駆動されるキャリア４を鉛直方向にガイドする主ベアリング２８と、キャリア４を挟み込んだ状態で、駆動機構２０により駆動されるキャリア４を水平方向にガイドする副ベアリング３０とを有して、これらベアリング２８，３０とキャリア４との何れかの接触面に、コルモノイ系合金による耐摩耗処理が施されている。 （もっと読む）