【課題】
周囲の温度変化による抵抗値への影響を少なくし、制御回路のオペアンプの利得の変動を抑制した回路を提供して、高分解能化をはかることができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子線を偏向させる偏向手段を制御する制御手段は増幅回路を備え、該増幅回路は、自身の周囲温度に対する抵抗値変化が第一の特性を有する第一の抵抗と、自身の周囲温度に対する抵抗値変化が第一の特性とは逆の特性を有する第二の抵抗とを一体化した構造を有する抵抗体を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）