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【課題】 基材に対して十分な密着性を有する導電パターンを印刷法により形成する方法を提供する。
【解決手段】 実施形態の導電パターンの形成方法は、絶縁基材上に第1のインクにより第1のインク層を形成する工程と、前記第1のインク層に紫外線を照射して熱可塑性樹脂の硬化膜を得る工程と、前記硬化膜上に第2のインクを所定のパターンで印刷して、その全体が前記絶縁基材に直接接しないように第2のインク層を得る工程と、前記第2のインク層を焼成する工程とを具備することを特徴とする。前記第1のインクはカチオン重合性化合物および光酸発生剤を含有し、熱可塑性樹脂の硬化膜は前記カチオン重合性化合物を重合させることにより得られる。前記第2のインクは、導電性の粒子または焼結により導電性を発現する粒子を含有し、第2のインク層の焼成によって、前記粒子の焼結体としての導電パターンが得られる。 (もっと読む)


【課題】、基材の表面を冷却したまま溶媒を除去しない場合に比べ、パターンが精度良く形成されるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】基材20を冷却する基材冷却手段22と、前記基材冷却手段によって冷却された前記基材の表面に、パターン形成材料、及び溶媒を含む組成物18を付与して該組成物のパターンを描画するパターン描画手段24と、前記基材の表面に描画された前記組成物のパターンから該基材を冷却したまま前記溶媒を除去する溶媒除去手段26と、を有するパターン形成装置10。溶媒除去後、加熱を行って分散剤を除去する加熱手段28を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】隣接する膜パターンの間隔を制御することが可能なパターン付基板の作製方法を
提供する。また、膜パターンの幅の制御が可能で、特に、幅が細く且つ厚みのあるパター
ン付基板の作製方法を提供する。また、アンテナのインダクタンスのバラツキが少なく、
起電力の高い導電膜を有する基板の作製方法を提供することを課題とする。また、歩留ま
り高く半導体装置を作製する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板、絶縁膜又は導電膜上に珪素及び酸素が結合し且つ前記珪素に不活性な
基が結合する膜を形成した後、珪素及び酸素が結合し且つ前記珪素に不活性な基が結合す
る膜表面に印刷法を用いて組成物を印刷し、組成物を焼成して膜パターンを形成すること
を特徴とする。 (もっと読む)


【課題】液滴吐出装置の導体パターン形成用インクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消できる液滴吐出装置の洗浄方法および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、導体パターン形成用インクを吐出する液滴吐出装置を洗浄する洗浄方法であって、液滴吐出装置は、導体パターン形成用インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、導体パターン形成用インクを前記液滴吐出ヘッドに搬送するための搬送路とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド本体と、振動板と、ピエゾ素子とを備え、導体パターン形成用インクを、搬送路を介して液滴吐出ヘッド内に送液し、ピエゾ素子を10kHz以上300kHz以下の周波数の印加電圧で駆動させつつ、吐出部から導体パターン形成用インクを吸引した後、吸引した導体パターン形成用インクを液滴吐出ヘッドに戻すことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】オーディオ信号処理回路に最適なTaN膜とTa膜との積層膜を使用して、TCR値が小さく、シート抵抗が大きく、実用上必要な膜厚を確保できる高抵抗の高音質抵抗膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】高音質抵抗膜は、窒化タンタル膜2aとタンタル膜2bとの積層膜2からなり、この積層膜全体として、抵抗値温度係数TCRが−50乃至+50ppm/℃であると共に、シート抵抗が100Ω/□以上であり、前記窒化タンタル膜は、半導体装置の製造工程で常温から400℃までの温度で、窒素分圧比を3乃至15%として、2.5kW以下の低パワーで、スパッタリングにより成膜されたものである。前記TaN膜のスパッタリング時の基板温度をTとし、窒素ガス分圧比をmとしたとき、前記基板温度T及び窒素ガス分圧比mは、(2/165)T+(91/33)≦m≦(1/66)T+(155/33)を満たすことが好ましい。 (もっと読む)


【課題】大画面フラットパネルディスプレイ製造工程における広範囲のスクリーン印刷であっても、かすれを防止し、版離れをし易くすることで、製造効率をあげることができるスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するため本発明のスクリーン印刷版は、枠体にスクリーンを固定し、基板にペーストを印刷する用に供するスクリーン印刷版であって、前記スクリーンと前記基板との間に、前記スクリーンの前記基板側への撓みを抑制する補助部材を設けることを特徴とする。ここで補助部材は、枠体の対向する辺に亘って、枠体に設置してあることが望ましい。 (もっと読む)


【課題】耐熱性を有する導電パターンを基板に直接印刷して形成するためのペースト組成物、FPCB(フレキシブルプリント回路板)を製造するために半田付け可能な導電性回路を形成するためのペースト組成物、及びRFIDチップと接合可能な印刷アンテナを形成するためのペースト組成物を提供する。
【解決手段】導電性粒子、ポリアミド酸、及び溶媒を備えるペースト組成物。前記ポリアミド酸を、以下の化学式1で定義し


R1及びR2を其々、N、O、及び/又はSを有する炭化水素鎖又はヘテロ原子鎖とし、或いはR1及びR2で、ベンゼン環間の架橋又は溶融を示す。 (もっと読む)


導体パターンおよびそのような導体パターンを使用し、印刷する方法が開示される。特定の実施例では、導体パターンは、導電性材料を基板上の支持体の間に配置するによって作製され得る。支持体は、所望の長さおよび/または形状を有する導体パターンを提供するために除去され得る。
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【課題】配線の表面への銅の玉状の浮き出し等が抑制されたセラミック配線基板、及びそのようなセラミック配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本セラミック配線基板1は、セラミック絶縁体11(アルミナ等からなる。)と、その表面及び/又は内部に設けられた配線12とを備え、配線は銅と、タングステン粒子等と、金属化合物粒子(アルミナ粒子等)とを含有し、金属化合物粒子の平均粒径が500nm以下であり、銅は25〜65質量部、タングステン粒子等は35〜75質量部であることを特徴とする。また、本発明のセラミック配線基板の製造方法は、複数の未焼成セラミックシート(アルミナシート等)の各々の少なくとも一面に、銅粉末と、タングステン粉末等と、平均粒径150nm以下の金属化合物粉末(アルミナ粉末等)とを含有する導電ペーストを塗布し、その後、積層し、次いで、焼成することを特徴とする。 (もっと読む)


セラミック基板用導体ペーストが、a)銀粉末およびパラジウム粉末を含む導電性金属粉末と、b)ガラス粉末と、c)有機溶媒とを含み、導電性金属粉末の平均粒径が1.2μm以下であり、ガラス粉末がBi−SiO−Bタイプのガラス粉末であり、ガラス粉末の含量がペーストの重量に基づいて1〜6重量%の範囲内である。 (もっと読む)


【課題】銅系金属層の密着性に優れ、微細エッチングが可能で、信頼性の高いフレキシブル回路基板を提供する。
【解決手段】樹脂フィルム1の表面に、シリコンに対して窒素が当量で0.5〜1.33含まれるスパッタ法による窒化シリコン層2aもしくは酸窒化シリコン層2bを形成し、さらにケイ素、アルミニウム、ニッケルから選ばれる厚み0.5〜5nmの金属膜7を形成し、さらに銅系金属層3を形成したことにより、銅系金属層3の密着性が良好となり、サイドエッチングがあまり起こらずに微細エッチングが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 絶縁層の比誘電率を増加せることなく、マイクロ波加熱による焼成が可能なセラミック配線基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 内部配線導体2、ビアホール導体3および表面配線導体4,5は、Ag系、Cu系、Pd系、Ptなどの金属導体に加えて、絶縁層よりも比誘電率の高い材料から成る添加剤を含むように構成されている。添加剤の比誘電率は7以上が好ましく、具体的には、比誘電率が高いSiC、TiO、ZrO、MgO、AlN、Cr、ZnOおよびSiから選ばれる1種または2種以上を用いることができる。これらの中でもSiC、TiO、ZrO、MgO、Cr、ZnOは、少ない添加量で比誘電率を高くすることができるので好ましい。 (もっと読む)


【課題】高温の製膜条件に依らずとも、金属銀に匹敵する低体積抵抗率、高導電性を備えた導電性被膜を得ること、及びフレキシブル回路板などの電気回路を形成した場合にその電気回路の線幅を十分細くでき、その厚みを厚くする必要のない導電性被膜を得ること。
【解決手段】酸化銀、炭酸銀、酢酸銀の1種または2種以上からなる粒子状銀化合物、還元剤、並びに分散媒及び/または分散剤からなり、前記粒子状銀化合物の平均粒径が、0.01〜10μmである導電性組成物を塗布し、加熱して得られ、体積抵抗率が3.0×10−6〜8.0×10−6Ω・cmである導電性被膜。 (もっと読む)


【課題】 十分な選択めっき性が得られるとともに、耐食性に優れる無電解ニッケル/金めっきを施すことが可能な無電解ニッケルめっき方法を提供すること。
【解決手段】 基板上に形成された金属導体配線上に第1の無電解ニッケルめっき皮膜を、当該第1無電解ニッケルめっき皮膜全量を基準としたリン含有量が6〜8質量%となるように形成する第1の無電解ニッケルめっき工程と、上記第1のニッケルめっき皮膜上に、上記第1のニッケルめっき皮膜よりもリン含有量が高い第2の無電解ニッケルめっき皮膜を形成する第2の無電解ニッケルめっき工程と、を有することを特徴とする無電解ニッケルめっき方法。 (もっと読む)


【課題】 別個の拡散層及びシード層を利用する必要性を排除した、導電性材料、好ましくはCuの、向上した拡散特性を有するメッキシード層を含む相互接続構造体を提供すること。
【解決手段】 特に、本発明は、相互接続金属の拡散特性向上のためにメッキシード層内に酸素/窒素遷移領域を設ける。メッキシード層はRu、Ir又はそれらの合金を含むことができ、相互接続導電性材料は、Cu,Al、AlCu、W、Ag、Auなどを含むことができる。好ましくは、相互接続導電性材料はCu又はAlCuである。より詳細に言えば、本発明は、上部及び底部シード領域間に挟持された酸素/窒素遷移領域を含む単一のシード層を提供する。メッキシード層内に酸素/窒素遷移領域が存在することで、メッキシードの拡散バリア抵抗が顕著に向上する。 (もっと読む)


【課題】 強度、密着性に優れる半田パッド構造にすることによって密着性、電気接続性、信頼性に優れるプリント配線板を提供する。
【解決手段】 半田パッド77Uは、Ni層72、Pd層73からなる複合層の間に形成され、該複合層上の半田76αは、鉛が含有されていない半田からなる。Pd層(パラジウム層)が半田をハジク現象などを低下させるために、半田との密着性を向上させることができる。Pd層は、金層と比較して剛性に優れているために、熱応力がPd層内で吸収されて、緩衝され、熱応力により半田バンプもしくは半田層への応力を伝達させることを低減させる。 (もっと読む)


【課題】ウィスカ形成のない、または少ないプリント配線基板用の保護層を提供する。
【解決手段】 (i)少なくとも1つの非導電性基層、(ii)少なくとも1つの銅および/または銅合金層、および(iii)スズ含有層を持つ被覆品において、層(ii)は層(i)と層(iii)との間に位置する被覆品。この被覆品は、スズ含有層(iii)が、少なくとも1種の他の金属を含有する。 (もっと読む)


基材(2)および、薄膜技術によって基材上に設けられた少なくとも1つの電子薄膜構成要素(8)、を有する、薄膜アセンブリ(1)であって、ここでベース電極(4)が基材上に提供されており、その上に、薄膜構成要素の一部を形成する、ベース電極薄膜層(21)が、上部トップ電極(9)と併せて配置されており;
この基材(2)は、絶縁材ベース体(3)と、導体層(5)としての金属コーティングと、を有する、従来知られているプリント回路基板(2)から構成され、
この導体層(5)は、ベース電極(4)を形成し、そしてこの目的のために、少なくとも薄膜構成要素(8)の位置上はスムージングされており、および
接触層(18)が、スムージングされ、必要に応じて補強された導体層(5)と、薄膜構成要素(8)の積層薄膜層(21)と、の間に、薄膜技術によって提供されており、ここで接触層が、ベース電極(4)の表面に、物理的または化学的に吸着されている、薄膜アセンブリ。

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【課題】アディティブ法によって導体回路を形成したプリント回路基板において、導体回路の電気抵抗を低くし、さらにインダクタなどの機能素子を形成したときの高周波特性などの特性を高くすることにある。また、このような導体回路を絶縁基板の熱劣化を伴わずに得ることができるようにする。
【解決手段】絶縁基板1上に形成された導体回路2を次の導電性組成物から構成する。(1)粒子状銀化合物と分散媒を含む導電性組成物(2)粒子状銀化合物と還元剤と分散媒を含む導電性組成物(3)これら導電性組成物にバインダを添加した導電性組成物(4)粒子状酸化銀とネオデカン酸銀などの三級脂肪酸銀塩を含む導電性組成物。粒子状銀化合物には、酸化銀、炭酸銀、酢酸銀、アセチルアセトン銀錯体などが用いられる。絶縁基板上にこれらの導電性組成物をスクリーン印刷などの印刷法により印刷し、温度140〜250℃、時間10秒〜120分加熱する。 (もっと読む)


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