【課題】 ステージ上面の平面度及び剛性を向上させる。
【解決手段】 上面側に吸引用流路形成溝５を有するベース板４の上側に、多数の吸引用小孔２を穿設した吸着板６を重ね、ベース板４と吸着板６との合わせ面にてベース板４のすべての吸引用流路形成溝５よりも外側となる外周部に、Ｏリング８を配置してその外側を固定ボルト９で固定する。吸着板６の下面におけるＯリング８よりも内側で且つベース板４の吸引用流路形成溝５と干渉しない位置に設けたねじ穴１０に、ベース板４に設けたボルト挿通孔１１に下側から挿通させた引きボルト１２を締め込むことで、吸着板６のＯリング８よりも内側に設けてあるねじ穴１０の部分を、ベース板４に密着させて、真空吸着ステージ１ａを形成する。引きボルト１２により吸着板６のＯリング８よりも内側の部分を、ベース板４に密着させることで、吸着板６の上向き凸状の変形を防止させる。 （もっと読む）

【課題】絶縁被覆層の種類にかかわらず、回路層を絶縁被覆層で被覆する前後での回路抵抗の変化が十分に抑制されたメンブレン配線板を提供すること。
【解決手段】絶縁基材１と、絶縁基材１上に設けられ、導電粉を含む導電性ペーストにより形成された回路層２ａを絶縁被覆層２ｂで被覆してなる少なくとも１つの回路部２と、を備えるメンブレン配線板１００であって、回路層２が、９０％以上のゲル分率を有する樹脂成分を含むメンブレン配線板１００。 （もっと読む）

【課題】
複雑な印刷パターンや開口部内に非印刷部が存在するような印刷パターンを印刷する場合であっても、充分な量のペーストの転写量が確保でき、さらに印刷時のスキージ圧によるメタルマスクの短寿命化の防止が可能となるペースト印刷用のメタルマスク。
【解決手段】
開口内に架橋部が存在するメタルマスクであって、少なくとも架橋部の硬度を印刷パターン開口部を形成する層の硬度よりも高くした、ペースト印刷用のメタルマスク。
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【課題】１回のスクリーン印刷で被印刷物上に転写されるペーストの量を多くすることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷装置１５は、基板シート１０を載置する印刷定盤１２と、印刷定盤１２の上方に配置され、導電性ペースト６０が充填される貫通穴２０ａを有するスクリーン版２０と、所定の押し込み圧力Ｆ_１でスキージ駆動部３０により下方に押されるとともに、スクリーン版２０上を走行するスキージ３２と、を備えている。スクリーン版２０は、一対の張設具２１および張設具水平駆動部２５により所定のテンションＦ_２で張設されている。ここで、スキージ駆動部３０および張設具水平駆動部２５は、充填時における第１押し込み圧力および第１テンションが、転写時の第２押し込み圧力および第２テンションよりも大きくなるよう、制御部１８により制御される。 （もっと読む）

【課題】薄膜の抵抗値を必要以上に高くすることなく、従来よりも微細化および高歩留り化を実現することが可能な金属薄膜の形成方法を提供する。
【解決手段】触媒材料を含むインク２Ａが転写された基板４０に対し、無電解めっき処理を施す。基板４０上のうちのインク２Ａの転写領域に対し、金属薄膜４２が選択的に形成される。また、平板ブランケット１を用いてインク２を転写させると共に、転写工程において加圧圧縮により接触を行う。位置合わせが容易となると共に接触の際の圧力が全体として均一化され、金属薄膜４２を形成する際の歩留りが向上する。また、インク２中に、金属薄膜４２の材料自体ではなく、無電解めっき処理の触媒材料が含まれるようにする。従来と比べ、金属薄膜４２の抵抗値が低くなると共に、パターンの微細化が容易となる。 （もっと読む）

【課題】粗大ボイドやクラックの発生が抑制された金属多孔質体からなる導電接続部材形成用導電性ペーストを提供する。
【解決手段】固体粒子（Ｐ）と有機分散媒（Ｄ）とを含む導電性ペーストであって、該導電性ペースト中には固体粒子（Ｐ）と有機分散媒（Ｄ）との割合（Ｐ／Ｄ）が５０〜８５質量％／５０〜１５質量％（質量％の合計は１００質量％）となるように配合されており、該固体粒子（Ｐ）が平均一次粒子径１〜１５０ｎｍの導電性金属微粒子（Ｐ１）８０〜９５体積％と、平均粒子径０．５〜１０μｍの昇華性又は熱分解性を有し、かつ有機分散媒（Ｄ）に不溶である有機粒子（Ｐ２）２０〜５体積％（体積％の合計は１００体積％）とからなる、ことを特徴とする導電性ペースト。 （もっと読む）

【課題】金属粒子の接合により形成される配線の電気抵抗を小さくする。
【解決手段】導電性微粒子１１Ａは、コア材１２と、そのコア材１２を覆い、コア材１２より低い融点を有する金属材１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】版離れ角度を略一定としつつ、印圧のばらつきを抑制したスクリーン印刷方法を提供すること。
【解決手段】被印刷物Ｔを配置する工程と、スクリーン版４を配置する工程と、スキージ５を移動させてスクリーン印刷により印刷する工程とを備えたスクリーン印刷方法であって、印刷工程では、版枠１１ａが版枠１１ｂよりも被印刷物Ｔの印刷面Ｔａから離れるように版枠１１ａを上昇させて第一の補正角度θ１を付加すると共にステージ３がスクリーン版４から離れる方向に下降させて第二の補正角度θ２を付加することで、版離れ角度θが略一定となるように調整して印刷を行い、第一の補正角度θ１を付加するための版枠１１ａの移動による補正移動量の変化量をスキージ５の移動に併せて小さくし、第二の補正角度θ２を付加するためのステージ３の移動による補正移動量の変化量をスキージ５の移動に併せて大きくする。 （もっと読む）

【課題】フレーク状銀粉を配合した樹脂硬化型の導電性ペーストを用いて回路（配線）を形成した場合、良好な配線のライン直線性（ラインのエッジの凹凸の程度）が得られる特性を併せ持つフレーク状銀粉及びその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーク状銀粉を配合した樹脂硬化型の導電性ペーストを用いて回路（配線）を形成した場合の配線のライン直線性を、配合するフレーク状銀粉の粒度分布を調整することにより向上させる。前記ライン直線性は、配合するフレーク状銀粉の（Ｄ_９０−Ｄ_１０）／Ｄ_５０の値が１．５を超えることにより、良好なライン直線性が得られる。また、ナトリウム含有量が低くかつ、粒度分布の広い銀粉を湿式反応により生成し、フレーク化処理することにより、ナトリウム含有量が低く、かつ、（Ｄ_９０−Ｄ_１０）／Ｄ_５０の値が１．５を超える特性を併せ持つフレーク状銀粉を得る製法。 （もっと読む）

【課題】金属板とセラミックス基板とが確実に接合され、熱サイクル信頼性の高いパワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板、このパワーモジュール用基板を備えたパワーモジュール及びこのパワーモジュール用基板の製造方法、ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス基板１１の表面に、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる金属板１２，１３が積層されて接合されたパワーモジュール用基板１０であって、金属板１２，１３には、Ａｇが固溶されており、金属板１２，１３のうちセラミックス基板１１との界面近傍におけるＡｇ濃度が０．０５質量％以上１０質量％以下の範囲内に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機能性薄膜を高品質かつ異物が少なく印刷する上で有利な機能性薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】基板定盤106上に、ガラス基板107を載置した後、印刷開始指示によって印刷動作が開始される。この間、アニロックスロール101上にはインキが供給されドクタリングが継続的に実施され平滑にドクタリングされた表面が常に保持されている。ドクタリングする際の速度は本発明に従って決定される。すなわち、ドクターロール１０２でアニロックスロール１０１上の余剰インキを掻き落とす際のアニロックスロール１０１表面の周速度をＶ１、インキの粘度をη、インキの表面張力をσとした時、Ca＝ηV1/σであらわされる数値の範囲が0.002≦Ca≦0.03の範囲となるようにアニロックスロール１０１表面の周速度Ｖ１が設定される。 （もっと読む）

【課題】膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるとともに残留ペーストを効率よく除去することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】メタルマスク１における上面に対して所定長さのスキージ１４を相対的に摺接させながら回路パターンとなるペーストをメタルマスク１の表面に供給するスキージヘッド１３と、メタルマスク１の下面をクリーニングする所定長さを有するクリーニングノズル３６と、を備え、メタルマスク１が、各開口部および架橋部が設けられたグリット部と、グリット部が複数、かつ、平行に配列され、各グリット部の長手方向端部の終端開口部に連続する帯状のバスバー部とを有し、クリーニングノズル３６が、クリーニングノズル３６の長手方向がバスバー部の長手方向に対して平行である。 （もっと読む）

【課題】膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】メタルマスク１における上面に対して所定長さのスキージ１４を相対的に摺接させながら回路パターンとなるペーストをメタルマスク１の表面に対して所定の圧力で供給するカートリッジ式のスキージヘッド１３を備え、メタルマスク１が、回路パターンの長手方向に沿って各開口部が配列されているとともに、各開口部の間において回路パターンの長手方向に対して交差する方向に沿って架橋部が設けられ、スキージヘッド１３が、各開口部および架橋部の配列方向に対して直交する方向に対して交差する方向にスキージ１４の長手方向が沿うように相対的に配置されるとともに、スキージ１４が、各開口部および架橋部の配列方向に対して直交する方向に沿って相対的に移動する。 （もっと読む）

【課題】微細電子回路を安価かつ簡便に作製する方法を提供することを課題とする。特に従来法では困難であった印刷法を利用する高精細な回路描画を達成することを課題とする。
【解決手段】特定の窒素原子含有オリゴマー鎖がπ共役縮合芳香環に結合した化合物を薄膜化し、光照射することにより、導電性またはキャリア移動特性を付与する。光照射をレーザー光線による走査あるいはフォトマスクを利用して実施することにより、微細回路を印刷法で形成可能である。 （もっと読む）

【課題】十分な厚い塗布膜厚でかつ高解像力及び高寸法精度のある優れた像を安定的に印刷することができるマスク面塗布材料押込みスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
【解決手段】枠101に張られた紗102の裏側の表面に大小の孔または画線パターンの孔を開口したマスキングシート103を配置し、紗102の表側には前記マスキングシート103の開口に印刷用塗布材料を押し込み、または掻き取るための第１スキージーを配置し、更に前記マスキングシート103の裏側には前記マスキングシート103の裏面に摺動させて前記マスキングシートの開口部内に印刷用塗布材料を押し込みながら前記マスキングシート103の裏面から余分の印刷用粘性塗料を掻き取るための第２スキージー105を配置したマスク面塗布材料押込みスクリーン印刷装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、導体パターンにクレータが発生することを抑制できるスクリーン刷版及びスクリーン印刷法を提供することである。
【解決手段】導体パターンをセラミックグリーンシート上にスクリーン印刷法により形成する際に用いられるスクリーン刷版。刷版本体１１には、導体パターンを形成するための孔１２であって、直線状領域１４ａ，１４ｂと該直線状領域１４ａ，１４ｂを接続する屈曲領域１６とからなる孔１２が設けられている。屈曲領域１６には孔１２を分断する架橋１８が設けられている。直線状領域１４ａ，１４ｂには孔１２を分断する架橋１８が設けられていない。 （もっと読む）

【課題】膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷装置１０およびスクリーン印刷方法は、基材１１の表面に帯状の回路パターンを形成するために、基材１１を支持する支持台１２と、基材１１の表面の一部を覆う被覆部と、基材１１の一部が露出する複数の開口部と、各開口部の間において回路パターンの長手方向に対して交差する方向に沿って設けられた架橋部とを有するメタルマスク１と、メタルマスク１における上面に所定長さのスキージ１４を摺接させながら回路パターンとなるペーストをメタルマスク１の表面に対して所定の圧力で供給するカートリッジ式のスキージヘッド１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布した塗布液を光により硬化させて電極などのパターンを形成するパターン形成装置において、アスペクト比の高いパターンを短時間で形成する。
【解決手段】吐出ノズル部５２下面の吐出口５２１から基板Ｗ上に塗布された塗布液Ｐに対し、ノズル走査移動方向（Ｘ方向）における左右両側から吐出ノズル部５２を挟むように設けた１対のライトガイド５５１，５５２からＵＶ光を照射する。ライトガイド５５１，５５２の光出射面５５１ａ，５５２ａが吐出口５２１から基板Ｗに鉛直方向に下ろした垂線の足Ｑを向く方向とされているので、光Ｌ1，Ｌ2は塗布液Ｐの側面にも照射される。 （もっと読む）

【課題】膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】メタルマスク１における上面に対して所定長さのスキージ１４を相対的に摺接させながら回路パターンとなるペーストをメタルマスク１の表面に対して所定の圧力で供給するカートリッジ式のスキージヘッド１３と、を備え、メタルマスク１が、回路パターンの長手方向に沿って各開口部が配列されているとともに、各開口部の間において回路パターンの長手方向に対して交差する方向に沿って架橋部が設けられ、スキージヘッド１３が、各開口部および架橋部の配列方向に対して直交する方向にスキージ１４の長手方向が沿うようにメタルマスク１に対して相対的に配置されるとともに、スキージ１４が、各開口部および架橋部の配列方向に沿ってメタルマスク１に対して相対的に移動する。 （もっと読む）

【課題】 絶縁基板の上面から側面にかけて配線導体が被着されており、生産性および外部接続信頼性の向上が容易な配線基板、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 セラミック焼結体からなる複数の絶縁層２ａが積層されてなる四角板状の積層体２、および積層体２の上面から上面の１つの外辺を越えて側面にかけて折れ曲がって被着された、この折れ曲がった部分が積層体２の１つの側面を被覆する補助絶縁層３からなる絶縁基板１と、補助絶縁層３の上面の中央部から折れ曲がった部分の露出表面にかけて被着された配線導体４とを備え、補助絶縁層３の折れ曲がった部分の露出表面に被着された配線導体４が外部電気回路に対向して接続される配線基板９である。絶縁基板１の上面から側面にかけて配線導体４が一体的に被着されているため、生産性の向上、および配線導体４の厚みばらつきの抑制による外部接続信頼性の向上が容易である。 （もっと読む）