Fターム[5E343EE03]の内容
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Fターム[5E343EE03]に分類される特許
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異物除去装置および異物除去方法
基板洗浄装置
【課題】回路基板に付着した洗浄液などの液体の飛散に起因する不具合の発生を抑制することができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置1は、載置台3と、ブラシ4と、ブラシ支持装置5と、駆動装置6とを備える。載置台3の載置面16には、回路基板が載置される。ブラシ4は、載置面16に載置された回路基板の実装面を掃く。駆動装置6は、ブラシ4を往復移動させるための可動部56を含む。ブラシ支持装置5は、ブラシ4が固定されるフレーム21と、ブラシ4の接触部4cの位置よりも高い位置に配置されフレーム21を移動方向M1に移動可能に案内するレール24L,24Rと、を含む。可動部56は、接触部4cの位置よりも高い位置に配置される。
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グリーンシートクリーニング装置
【課題】グリーンシートに付着している異物等を効率的かつ確実に除去することができるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】クリーニング装置が、外周部分にブラシが設けられた1対のブラシローラがグリーンシートの搬送経路を挟んで対向配置されてなる第1クリーニング部と、外周面が粘着面とされてなる複数の第1粘着ローラからなる1対の第1粘着ローラ群が、搬送経路を挟んで対向配置されてなる第2クリーニング部とを備え、1対のブラシローラのそれぞれを第1の回転軸周りに回転させつつ、グリーンシートにブラシを接触させることによって第1クリーニング処理を行い、続いて、1対の第1粘着ローラ群をなす複数の第1粘着ローラのそれぞれを第2の回転軸周りに回転させながら、グリーンシートに粘着面を接触させることによって、第2クリーニング処理を行う。
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基板クリーニング装置
【課題】基板の表面の異物をより確実に除去できる基板クリーニング装置を提供する。
【解決手段】基板クリーニング装置1は、基板11を往復移動可能な基板搬送部12と、基板搬送部12により移動される基板11の表面の異物を除去するローラユニット13と、基板搬送部12及びローラユニット13を制御するPLC14と、を備える。PLC14は、基板11を前進又は後進させるように基板搬送部12を制御して、基板11を、クリーニング回数に応じた移動回数分ローラユニット13を通過させる。基板搬送部12は、基板11を搬送するベルト21a,21bと、ベルト21a,21bを支持するプーリー22a,22b,22c,22dと、プーリー22a,22b,22c,22dを回転させるリバーシブルモータ23と、を有し、プーリー22a,22b,22c,22dの回転方向が切り換え可能である。
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残渣除去装置及び残渣除去方法
【課題】ブラシの回転により残渣を除去する方法において、柔らかい材質で構成されたブラシ用いて残渣を十分に除去できる残渣除去装置及び残渣除去方法を提供する。
【解決手段】基板に残存した異方性導電膜の残渣を除去する残渣除去装置であって、残渣に当接して所定の駆動力を受けて回転し、残渣に当接する部分が植物樹脂で構成されるブラシと、残渣を除去するための圧力を、ブラシと残渣との当接部分に加える加圧手段と、を有する。
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基板の研磨装置および研磨方法
【課題】化学的研磨を行うが、メッキ層の表面が平坦であり、メッキ層の厚さが一定であるうえ、絶縁層に残余メッキ層が残らない基板の研磨装置および研磨方法を提供する。
【解決手段】被研磨基板101が浸漬されるエッチング液入りのエッチング槽102を含む化学的研磨部109と、ブラシ110aを含む機械的研磨部112aとを含むものである。
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プラスチック層を生成する方法および装置
基板の上側に200μm未満の層厚を有したプラスチック層を製造する方法であって、
粉末散布装置によって基板上側にプラスチック粉末を塗布する工程と、
次に、基板下側を清掃する工程と、
提供したプラスチック粉末を炉内で溶解させ、その結果として、プラスチック層を基板上に形成する工程と、
この基板を冷却する工程と、を含み、
基板は、上記工程を順次連続的に運搬される。
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基板異物除去装置
【課題】プリント基板に付着した塵埃等の異物を効率的に除去する基板異物除去装置を構成する。
【解決手段】ケースAcの下部のシュラウド14の底部に開口14aを形成し、ケース内部のロールブラシ12を開口14aから下方に露出させた。ケースAcの内部には回転軸芯Xの方向に移動自在に仕切壁25を備え、ケースAcの上部には回転軸芯Xの方向に移動自在に排出筒13を備えた。基板Pの端部の位置に基づいて排出筒13を基板Pの幅方向の中央位置にセットする位置調節手段Dを備え、仕切壁25を基板Pの端部位置にセットする連係作動機構Eを備えた。
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プリント及びフレキシブル配線板クリーニングマシン
【課題】プリント及びフレキシブル配線板をそれらの間に形成する隙間のみに向かって移動させるプリント及びフレキシブル配線板クリーニングマシンを提供する。
【解決手段】フレーム内の各上クリーニングローラ21に近隣する入口に背向く位置に設けられ、プリント及びフレキシブル配線板60の前端が各上下クリーニングローラ21、23間を通過したら、プリント及びフレキシブル配線板60が継続して各上クリーニングローラ21に伴って移動することを防止する複数個の上防止ユニット41と、フレーム内の各下クリーニングローラ23に近隣する入口に背向く位置に設けられ、各上防止ユニット41と互いに平行し、プリント及びフレキシブル配線板60の前端が各上下クリーニングローラ21、23間を通過したら継続して各下クリーニングローラ23に伴って移動することを防止する複数個の下防止ユニット43を備える。
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ポリイミドフィルムの両面に金属層を有する積層体のポリイミドフィルムの両面の金属層の電気的接続方法
【課題】ビアめっきの前処理方法による金属層とめっき銅層との密着性不良が改良され、金属層とめっき銅層との密着性不良に起因する不具合を低減でき生産性の高いポリイミドフィルムの両面に金属層を有する積層体のポリイミドフィルムの両面の金属層の電気的接続方法の提供。
【解決手段】ポリイミドフィルムの両面に金属層を有する積層体のポリイミドフィルムの両面の金属層を金属めっきにより電気的に接続する方法であり、少なくとも片面の金属層とポリイミド層とにビア形成後、直径1〜10μmの砥粒を混入した液を用いたウエットブラスト法によってビア形成工程で発生した金属のバリの除去と孔内のクリ−ニング処理を同時に行なった後に、孔内に金属めっきにより金属層を形成して、形成したビアを介して両面の金属層を電気的に接続することを特徴とするポリイミドフィルムの両面に金属層を有する積層体の金属層の電気的接続方法。
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多層セラミック基板及びその製造方法
【課題】 キャビティを有する多層セラミック基板を製造するに際して、寸法精度やキャビティ底面の平面度に優れた多層セラミック基板を製造可能とする。
【解決手段】 キャビティの底面を構成する底面形成用グリーンシート32とキャビティ形状に応じた開口を形成するキャビティ形成用グリーンシートとを含む複数の基板用グリーンシートを積層して積層体33とし、積層体33の最外層となる基板用グリーンシートの表面にそれぞれ収縮抑制材グリーンシート22,29を積層した状態で当該積層体33をプレスした後、焼成することによりキャビティ11を有する多層セラミック基板1を形成する。
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基板クリーニング装置、及び基板搬送装置
【課題】 既存の加工装置や搬送装置にも容易に取り付けが可能で、各種幅寸法の回路基板にも等しく対応可能であり、異物除去効率も優れた基板クリーニング装置を提供する。
【解決手段】 異物を跳ね飛ばすための回転ブラシ12に対して基板搬送方向の上流側と下流側のそれぞれに、回路基板1の表面全幅に渡って接触する固定ブラシ13を基板クリーニング装置10のケース11に取り付ける。これにより各種寸法の回路基板1に応じて幅寄せ移動する基板搬送レール2との干渉回避のための回路基板1とケース11との隙間gを埋める。他の態様では、回転ブラシ22を回転軸方向の中央付近で会合する逆巻きの2つの螺旋状ブラシから形成し、異物を吸引するダクト14を同じくケース11の中央付近1箇所に開口する漏斗状に形成する。更に他の態様では、基板搬送レール2の幅寄せ移動によって生じるケース11の開放される面の隙間を覆うカバー31を備える。
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