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Fターム[5E346DD16]の内容

多層プリント配線板の製造 (97,916) | 各層形成の方法 (10,210) | 導体層形成の方法 (4,026) | 気相 (344) | 蒸着 (110)

Fターム[5E346DD16]に分類される特許

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【課題】複数種の部品が混載で埋設、実装される場合であっても大きな生産性と低コストを実現できる部品内蔵配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】第1の絶縁板上に、端子パッドを有する半導体チップと端子パッドに電気的に接続されたグリッド状配列の表面実装用端子とを備えた半導体素子を実装するための第1のランドと、表面実装用のチップ部品を実装するための第2のランドとを形成し、第1、第2のランド上にクリームはんだを適用し、クリームはんだを介して第1、第2のランド上に半導体素子およびチップ部品をそれぞれ載置し、クリームはんだをリフローすべく加熱して、半導体素子およびチップ部品を第1、第2のランドにそれぞれ接続し、第1の絶縁板とは別の第2の絶縁板中に、第1、第2のランドにそれぞれ接続された半導体素子およびチップ部品を埋め込むように、第1の絶縁板に積層状に第2の絶縁板を一体化する。 (もっと読む)


【課題】 接合層を介した樹脂絶縁層同士の接合の信頼性が高い薄膜配線基板を提供する。
【解決手段】 上面に凹部6を有する第1の樹脂絶縁層1aと、凹部6の底部に配置された薄膜導体層2と、第1の樹脂絶縁層1aの上に設けられた接合層4と、接合層4上に設けられた第2の樹脂絶縁層1bとを備えており、接合層4の一部が凹部6内に入り込んでいる薄膜配線基板10である。凹部6内に入り込んだ接合層4の一部による、接合面積の増加とアンカー効果が得られるため、接合層4と第1の樹脂絶縁層1aとの接合の信頼性が高い。 (もっと読む)


【課題】配線板における電気的接続の信頼性を高める。
【解決手段】第1面F1と、第1面F1とは反対側の第2面F2と、第1面F1から第2面F2まで貫通するキャビティR10(開口部)と、スルーホール300aと、を有する基板100(コア基板)と、キャビティR10に配置されるコンデンサ200と、を有する配線板10において、スルーホール300aは導体(スルーホール導体300b)で充填されてなり、スルーホール導体300bは第1面F1から第2面F2に向かって細くなっている第1導体部と第2面F2から第1面F1に向かって細くなっている第2導体部とで形成されていて、第1導体部と第2導体部とは基板100内でつながっている。 (もっと読む)


【課題】より簡易な方法で、配線板におけるビア導体の位置精度を高める。
【解決手段】配線板の製造方法が、第1絶縁層を準備することと、第1絶縁層上に導体層を形成することと、導体層上に第2絶縁層を形成することと、第2絶縁層上に導体膜を形成することと、レーザ光を照射することによって、導体膜に第1開口部を形成することと、第1開口部を通じて、導体層に含まれる位置決めマークの位置を光学的に検出することと、位置決めマークを基準にして、導体層に含まれる導体パッドを露出させる第2開口部を第2絶縁層に形成することと、を含む。 (もっと読む)


【課題】ピンホール発生が顕在化するレベルの薄厚の金属膜層を使用しても、良好な微細配線形成性が得られるプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体層、薄厚の金属膜層、特定の硬化性樹脂組成物層、内層回路基板の構成を順に有し、該硬化性樹脂組成物層の硬化物である絶縁層がデスミア工程において特定のエッチングレートを満たすことにより、上記課題を解決できることを見出した。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電気的信頼性を向上させる要求に応える配線基板およびその実装構造体を提供するものである。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る配線基板4は、ランド15と、ランド15上に形成された樹脂層10と、該樹脂層10を厚み方向に貫通してランド15の一部を露出するビア孔Vと、該ビア孔V内に形成されたビア導体12とを備え、ランド15は、導体膜18と、該導体膜18におけるビア導体12側の一主面に形成された被覆膜19とを有し、ビア導体12は、ビア孔Vの内壁およびビア孔Vに露出したランド15の一部に被着した下地膜17と、該下地膜17上に形成された導体部20とを有し、導体膜18および導体部20は、被覆膜19および下地膜17よりも導電率が高く、被覆膜19は、導体膜18よりもヤング率が大きく、且つ、下地膜17よりも厚みが大きい。 (もっと読む)


【課題】薄膜キャパシタの導電層と誘電層との界面での剥離を抑えることが可能な多層配線基板およびその製造方法、並びにこの多層配線基板を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】上部電極および下部電極の間に誘電層を有する薄膜キャパシタを備えた機能領域と、前記機能領域以外の周辺領域とを有し、前記周辺領域の少なくとも一部に、前記誘電層および導電層が積層された係留部が設けられ、前記導電層の前記誘電層に接する面のラフネスが、前記上部電極または前記下部電極の前記誘電層に接する面のラフネスよりも大きい多層配線基板。チップおよび前記多層配線基板を備えた半導体装置。 (もっと読む)


【課題】電磁障害の発生を防止することができるフレックスリジッドプリント配線板を提供する。
【解決手段】複数のリジッド部1がフレックス部2を介して一体化されて形成されたフレックスリジッドプリント配線板Aに関する。銅箔10と樹脂層5を積層して形成された銅箔付き樹脂シート11の前記樹脂層5をフレキシブル基板7に重ねて前記銅箔付き樹脂シート11を前記フレキシブル基板7に接着する。所定領域の銅箔10を所定パターン形状となるように除去して導体回路8を形成する。この領域にリジッド基板9を積層して前記リジッド部1が形成されている。前記領域以外の領域に前記フレックス部2が形成されている。前記フレックス部2の銅箔10を除去し、これにより露出した前記樹脂層5に銀を蒸着又は銀ペーストを塗布・焼成することによって、前記フレックス部2に銀系の電磁波シールド層12が形成されている。 (もっと読む)


【課題】無機層と2層以上のポリイミド層の積層体でポリイミド層同士の剥がれなどが少ない多層積層体を提供する。
【解決手段】2層以上のポリイミド層3、4が無機層1に積層された構成を有する多層積層体であって、該ポリイミド層3、4がベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類と、芳香族テトラカルボン酸無水物類とを反応させて得られるポリイミドであって、線膨張係数が−3〜10ppm/℃であり、ポリイミド層3、4と無機層1の間に、シランカップリング剤層がある多層積層体。 (もっと読む)


【課題】本発明は、実装構造体の電気的接続信頼性を向上させる要求に応える配線基板およびその実装構造体を提供するものである。
【解決手段】本発明の一形態にかかる配線基板は、交互に積層された複数の絶縁層13および導電層14を備え、複数の絶縁層13は、最外層に位置する第1絶縁層13aと、該第1絶縁層13aに接している第2絶縁層13bとを有し、導電層14は、第1絶縁層13aと第2絶縁層13bとの間に配された接続パッド18を有し、第1絶縁層13aは、厚み方向に貫通して接続パッド18を露出する貫通孔Pを具備し、接続パッド18は、貫通孔Pの開口部に向かって突出した突起部20とを具備する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、パッドとビアとの間の電気的接続信頼性を十分に確保することのできる配線基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】パッドは、配線基板から露出された金属層と、配線基板から露出された金属層とビアとの間に設けられ、ビアに含まれる金属の配線基板から露出された金属層への拡散を防止する第1の金属層と、ビアと前記第1の金属層との間に設けられ、第1の金属層よりも酸化されにくい第2の金属層とを有し、パッドを構成する金属層のうち、第2の金属層の上面が粗化処理され、パッドは、その側面、第2の金属層側の面が絶縁層により覆われ、配線基板から露出された金属層側の面が絶縁層より露出しており、絶縁層には、第2金属層の粗化処理された面を露出する開口部が形成され、開口部に第2の金属層の粗化処理された面に接続されるビアが形成され、絶縁層の上面にはビアと接続された配線が設けられている配線基板及びその製造方法。 (もっと読む)


【課題】基材除去後における製造工程数を低減することでき、かつ信頼性の高い多層配線基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】銅箔55を剥離可能な状態で積層配置してなる基材52を準備するとともに、ソルダーレジスト35を銅箔55上に形成する。ソルダーレジスト35に開口部36,37を形成するとともに、開口部36,37内に金属導体部58を形成する。金属導体部58の表面及びソルダーレジスト35の全面に異種金属層49をスパッタリングにより形成する。電解銅めっきを行い、異種金属層49上にて、接続端子41,42及び導体層26を形成する。ビルドアップ工程後、基材52を除去して銅箔55を露出させ、露出した銅箔55及び金属導体部58をエッチング除去して、接続端子41,42の表面を開口部36,37から露出させる。 (もっと読む)


【課題】半導体チップなどの電子部品が実装される配線基板の製造方法において、基板に貫通電極を信頼性よく形成すること。
【解決手段】厚み方向に貫通するスルーホールTHを備えた基板10を用意する工程と、基板10の下面に保護フィルム20を配置する工程と、スルーホールTH内に樹脂部30を充填する工程と、保護フィルム20を除去する工程と、基板10の下面にシード層40を形成する工程と、スルーホールTH内から樹脂部30を除去する工程と、シード層40をめっき給電経路に利用する電解めっきによりスルーホールTH内に金属めっき層を充填して貫通電極50を得る工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】デカップリングコンデンサを必要とすることなく、電源層間での電磁エネルギーの共振による電磁放射と電源電圧の変動を防止可能な電源構造体および回路基板を提供する。
【解決手段】2つの電源層11,13と、電源層11−13間に挟持された層間絶縁膜15とを備えた電源構造体1であり、電源層11,13のうちの少なくとも一方が、有機材料に導電性微粒子を分散させた導電性微粒子分散膜aからなることを特徴とている。また回路基板は、このような構成の電源構造体1を備えたものである。 (もっと読む)


【課題】薄膜配線層の電気抵抗変化が抑制され、かつ貫通導体と薄膜配線層との接合の信頼性が高い薄膜多層部を有する多層配線基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂絶縁層1と薄膜配線層2とが交互に積層され、上下の薄膜配線層2が、樹脂絶縁層1を厚み方向に貫通する貫通導体3に含まれるスズを主成分とする低融点金属材料3aにそれぞれ接合されて、貫通導体3によって互いに電気的に接続されてなる薄膜多層部4を有し、貫通導体3は、端部が複数の接合部Bに分割されて接合部Bが薄膜配線層2に接合されているとともに、複数の接合部Bの間に、薄膜配線層2および貫通導体3に接合された樹脂材料33が介在している。樹脂材料33によって、低融点金属材料3aと薄膜配線層2との接合面積を抑えて銅の拡散を抑制し、応力を緩和して貫通導体3と薄膜配線層2との接合信頼性を向上できる。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、電子部品との接続信頼性を向上させる要求に応える配線基板およびその実装構造体を提供するものである。
【解決手段】
本発明の一形態にかかる配線基板3は、基体11と、該基体11の上面側のみに積層された複数の絶縁層14と、基体11の下面に部分的に形成された第1接続パッド7aと、基体11と該基体11に隣接する絶縁層14との間に部分的に形成された第1導電層10aと、隣接した絶縁層14同士の間に部分的に形成された第2導電層10bと、最上層に位置する絶縁層14の上面に部分的に形成された第2接続パッド7bと、を備え、基体11および絶縁層14の平面方向の熱膨張率は、第1接続パッド7a、第1導電層10a、第2導電層10bおよび第2接続パッド7bの平面方向の熱膨張率よりも小さく、絶縁層14の平面方向の熱膨張率は、基体11の平面方向の熱膨張率よりも小さい。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電気的信頼性を向上させる要求に応え配線基板の製造方法及びその実装構造体の製造方法を提供するものである。
【解決手段】本発明の一形態にかかる配線基板の製造方法は、ポリイミド樹脂を含む第1樹脂層10aの一主面を金属層12で被覆する工程と、金属層12上に部分的に複数の導電層11を形成する工程と、アルカリ性の水溶液を用いて、導電層11の表面を粗化する工程と、導電層11の露出した表面を粗化する工程の後、第1樹脂層10aの一主面を露出させるために、平面視にて導電層11同士の間に配された前記金属層12の一部をエッチングする工程と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、電気的信頼性を向上させる要求に応える配線基板を提供するものである。
【解決手段】
本発明の一形態にかかる配線基板4は、貫通孔P1が形成された樹脂層7aと、該貫通孔内P1に配された貫通導体8aと、樹脂層7aと貫通導体8aとの間に介された介在膜9Aとを備え、該介在膜9aは、樹脂層7aに当接した第1酸化チタン膜14aと、該第1酸化チタン膜14aよりも前記貫通導体8a側に配され、第1酸化チタン膜14aに当接したチタン膜15とを有する。 (もっと読む)


【課題】複数の貫通導体が平面視で重なる場合でも、貫通導体等における機械的な破壊を抑制することが可能な多層配線基板を提供する。
【解決手段】樹脂絶縁層1と薄膜配線層2とが交互に積層され、上下の薄膜配線層2が貫通導体3によって互いに電気的に接続されてなる薄膜多層部4を有し、貫通導体3は、上下に連続する複数の樹脂絶縁層1にわたって平面視で互いに重なる位置に形成されたものを含んでおり、平面視で重なる複数の貫通導体3(3a,3b)のうちの一部が錫を主成分とする金属材料からなり、他が銅を主成分とする金属材料からなる多層配線基板5である。弾性率が低い錫を主成分とする金属材料からなる貫通導体3aによって複数の貫通導体3が平面視で重なることによる応力を緩和し、貫通導体3の内部等におけるクラック等の発生を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】 表面配線を小さくしても表面配線と表面ビア導体とを確実に接続することができ、浮遊容量を小さくすることで、より高速な素子の検査や、高速の検査ができる高信頼性の配線基板を提供する。
【解決手段】 セラミックスから成る複数の絶縁層1aが積層された絶縁基体1と、絶縁基体1の下面に形成された外部電極2と、外部電極2に接続されて絶縁基体1の上面に導出された、ビア導体を含む内部配線3とを有し、内部配線3のうち最上層の絶縁層1aを貫通して上端面が絶縁基体1の上面に露出した表面ビア導体3aが上面視で配線基板4の中心からの放射線の方向に沿った形状である配線基板である。表面ビア導体3aが位置ずれしても位置ずれ方向と反対方向に延在する部分が存在するので、表面配線5の大きさを小さくしても表面ビア導体3aと確実に接続でき、表面配線5の浮遊容量を低下させることができる配線基板となる。 (もっと読む)


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