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Fターム[5E346DD17]の内容

多層プリント配線板の製造 (97,916) | 各層形成の方法 (10,210) | 導体層形成の方法 (4,026) | 気相 (344) | スパッタリング (196)

Fターム[5E346DD17]に分類される特許

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【課題】複数種の部品が混載で埋設、実装される場合であっても大きな生産性と低コストを実現できる部品内蔵配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】第1の絶縁板上に、端子パッドを有する半導体チップと端子パッドに電気的に接続されたグリッド状配列の表面実装用端子とを備えた半導体素子を実装するための第1のランドと、表面実装用のチップ部品を実装するための第2のランドとを形成し、第1、第2のランド上にクリームはんだを適用し、クリームはんだを介して第1、第2のランド上に半導体素子およびチップ部品をそれぞれ載置し、クリームはんだをリフローすべく加熱して、半導体素子およびチップ部品を第1、第2のランドにそれぞれ接続し、第1の絶縁板とは別の第2の絶縁板中に、第1、第2のランドにそれぞれ接続された半導体素子およびチップ部品を埋め込むように、第1の絶縁板に積層状に第2の絶縁板を一体化する。 (もっと読む)


【課題】 接合層を介した樹脂絶縁層同士の接合の信頼性が高い薄膜配線基板を提供する。
【解決手段】 上面に凹部6を有する第1の樹脂絶縁層1aと、凹部6の底部に配置された薄膜導体層2と、第1の樹脂絶縁層1aの上に設けられた接合層4と、接合層4上に設けられた第2の樹脂絶縁層1bとを備えており、接合層4の一部が凹部6内に入り込んでいる薄膜配線基板10である。凹部6内に入り込んだ接合層4の一部による、接合面積の増加とアンカー効果が得られるため、接合層4と第1の樹脂絶縁層1aとの接合の信頼性が高い。 (もっと読む)


【課題】収縮抑制シートを用いて無収縮焼成を行う場合に、グリーンシート積層体と収縮抑制シートとの密着性を高くでき、それにより、収縮バラツキを抑制できる多層セラミック基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】脱脂工程において、収縮抑制シート23の平面方向における収縮率が0.05%以下と小さいので、脱脂工程及びその後の焼成工程におけるグリーンシート積層体31の収縮率が小さくなり、収縮バラツキも小さくなる。また、脱脂工程における収縮抑制シート23の収縮率がグリーンシート積層体31の収縮率より大きいので、収縮抑制シート23とグリーンシート積層体31との密着性が向上する。よって、グリーンシート積層体31の収縮を抑制することができる。従って、収縮バラツキを抑制することができるので、多層セラミック基板5における寸法バラツキを低減することができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、無収縮セラミック基板及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明による無収縮セラミック基板の製造方法は、ビア電極が形成されたセラミック基板を用意する第1段階と、上記セラミック基板にシード層を形成する第2段階と、上記シード層にめっき層を形成する第3段階と、を含むことができる。 (もっと読む)


【課題】半導体チップとの接続信頼性の優れた配線基板を提供すること。
【解決手段】オーガニック配線基板10の基板主面11側には、樹脂絶縁層21〜23と導体層24とを積層した第1ビルドアップ層31が形成されている。第1ビルドアップ層31における最表層の導体層24は、半導体チップをフリップチップ実装するための複数の接続端子部41を含む。複数の接続端子部41は、ソルダーレジスト25の開口部43を介して露出している。各接続端子部41は、半導体チップの接続領域51と、接続領域51から平面方向に延設されかつ接続領域51よりも幅が狭く形成された配線領域52とを有する。配線領域52の表面のはんだ濡れ性は接続領域51の表面のはんだ濡れ性よりも低くなっている。 (もっと読む)


【課題】コンデンサ内蔵基板に形成される配線パターンの設計自由度の低下を抑えることが出来、且つ特性不良が発生し難い積層構造体を提供する。又、その様な積層構造体を備えたコンデンサ内蔵基板の製造方法を提供する。
【解決手段】積層構造体において、第1電極層11は、誘電体層3のうちコンデンサを構成する第1部分31にて、該第1部分31の表面に形成されている。第2電極層12は、第1部分31の裏面に形成されている。第1導電層21は、誘電体層3のうち第1部分31とは異なる第2部分32にて、該第2部分32の表面に形成されると共に、第1電極層11から離間して配置されている。第2導電層22は、第2部分32の裏面に形成されると共に、第2電極層12から離間して配置されている。第1導電部41は、第2部分32をその表面から裏面に貫通すると共に、第1導電層21と第2導電層22とを互いに電気的に接続している。 (もっと読む)


【課題】 配線導体および薄膜配線層と貫通導体との電気的な接続信頼性が高い薄膜配線基板を提供する。
【解決手段】 上面に配線導体11が形成されたセラミック基板1と、セラミック基板1の上面に積層された接合層2と、接合層2の上面に積層された薄膜配線層3とを備えており、接合層2に貫通導体21が設けられているとともに、貫通導体21を介してセラミック基板1の配線導体11と薄膜配線層3とが電気的に接続されており、貫通導体21は、上端部21aおよび下端部21bにおける弾性率が中央部21cにおける弾性率よりも小さい薄膜配線基板である。貫通導体21の上下端部21a,21bにおいて熱応力が緩和され、熱応力による貫通導体21の上下端部21a,21bにおけるクラック等の発生が抑制される。そのため、配線導体11および薄膜配線層3と貫通導体21との電気的な接続信頼性が高い。 (もっと読む)


【課題】多層硬軟性印刷回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】軟性フィルム11の一面または両面に回路パターン23が形成されたベース基材10を準備するステップと、ベース基材10のフレキシブル領域Fの回路パターン23を保護するレーザ遮断層50を形成するステップと、レーザ遮断層50が形成されたベース基材10の少なくとも一面に複数のパターン層を積層するステップと、複数のパターン層の上面に絶縁剤を介在して銅箔層53を形成し、ビアホールAまたは貫通孔Cが形成された外部パターン層を積層するステップと、外部パターン層に形成されたビアホールAまたは貫通孔Cと、フレキシブル領域Fとにウインドーを設けてレーザ加工するステップと、レーザ加工された外部パターン層を銅メッキし、銅メッキ層の一部領域をエッチングして外部回路パターンを形成するステップと、を含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、半導体パッケージ基板及び半導体パッケージ基板の製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例によると、パッドが形成されたキャリア基板を準備する段階と、前記パッドの上部に絶縁層を形成する段階と、前記キャリア基板を除去する段階と、前記絶縁層及び前記パッドの上部に回路層を形成する段階と、前記パッドの一部をエッチングし、前記絶縁層の内部に開口部を形成する段階と、を含む半導体パッケージ基板の製造方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】導体回路層と該導体回路層を覆う接着層との密着性を向上させることが可能なプリント配線板を提供する。
【解決手段】第1絶縁層11と、第1絶縁層11上に形成された第1導体回路層12と、第1導体回路層12上に形成された第2導体回路層13と、第1導体回路層12及び第2導体回路層13を覆うように、第1絶縁層11上に形成された接着層16と、接着層16上に形成された第2絶縁層17とを備え、第1絶縁層11と平行な面内での少なくとも一方向において、第1導体回路層12の幅よりも、第2導体回路層13の幅のほうが広く、第1絶縁層11の上面11aと第1導体回路層12の側面12aと第2導体回路層13の下面13aとに囲まれる凹状の空間18に、接着層16が、第1導体回路層12の側面12aに沿って、充填されている。 (もっと読む)


【課題】より簡易な方法で、配線板におけるビア導体の位置精度を高める。
【解決手段】配線板の製造方法が、第1絶縁層を準備することと、第1絶縁層上に導体層を形成することと、導体層上に第2絶縁層を形成することと、第2絶縁層上に導体膜を形成することと、レーザ光を照射することによって、導体膜に第1開口部を形成することと、第1開口部を通じて、導体層に含まれる位置決めマークの位置を光学的に検出することと、位置決めマークを基準にして、導体層に含まれる導体パッドを露出させる第2開口部を第2絶縁層に形成することと、を含む。 (もっと読む)


【課題】配線板における電気的接続の信頼性を高める。
【解決手段】第1面F1と、第1面F1とは反対側の第2面F2と、第1面F1から第2面F2まで貫通するキャビティR10(開口部)と、スルーホール300aと、を有する基板100(コア基板)と、キャビティR10に配置されるコンデンサ200と、を有する配線板10において、スルーホール300aは導体(スルーホール導体300b)で充填されてなり、スルーホール導体300bは第1面F1から第2面F2に向かって細くなっている第1導体部と第2面F2から第1面F1に向かって細くなっている第2導体部とで形成されていて、第1導体部と第2導体部とは基板100内でつながっている。 (もっと読む)


【課題】ピンホール発生が顕在化するレベルの薄厚の金属膜層を使用しても、良好な微細配線形成性が得られるプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体層、薄厚の金属膜層、特定の硬化性樹脂組成物層、内層回路基板の構成を順に有し、該硬化性樹脂組成物層の硬化物である絶縁層がデスミア工程において特定のエッチングレートを満たすことにより、上記課題を解決できることを見出した。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電気的信頼性を向上させる要求に応える配線基板およびその実装構造体を提供するものである。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る配線基板4は、ランド15と、ランド15上に形成された樹脂層10と、該樹脂層10を厚み方向に貫通してランド15の一部を露出するビア孔Vと、該ビア孔V内に形成されたビア導体12とを備え、ランド15は、導体膜18と、該導体膜18におけるビア導体12側の一主面に形成された被覆膜19とを有し、ビア導体12は、ビア孔Vの内壁およびビア孔Vに露出したランド15の一部に被着した下地膜17と、該下地膜17上に形成された導体部20とを有し、導体膜18および導体部20は、被覆膜19および下地膜17よりも導電率が高く、被覆膜19は、導体膜18よりもヤング率が大きく、且つ、下地膜17よりも厚みが大きい。 (もっと読む)


【課題】薄膜キャパシタの導電層と誘電層との界面での剥離を抑えることが可能な多層配線基板およびその製造方法、並びにこの多層配線基板を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】上部電極および下部電極の間に誘電層を有する薄膜キャパシタを備えた機能領域と、前記機能領域以外の周辺領域とを有し、前記周辺領域の少なくとも一部に、前記誘電層および導電層が積層された係留部が設けられ、前記導電層の前記誘電層に接する面のラフネスが、前記上部電極または前記下部電極の前記誘電層に接する面のラフネスよりも大きい多層配線基板。チップおよび前記多層配線基板を備えた半導体装置。 (もっと読む)


【課題】クラックの発生を抑制してパッドの密着強度を高め、製品としての信頼性の向上を図り、ひいてはマザーボード等との接続信頼性の向上に寄与すること。
【解決手段】配線基板10は、パッド11Pと、パッド11Pを覆い、その表面からパッド11Pの表面が露出し、その裏面にパッド11Pの裏面が露出する開口部VH1が設けられた最外層の絶縁層12と、開口部VH1内に形成されたビアと、絶縁層12の裏面に形成され、ビア13に接続された配線層13とを備え、パッド11Pは絶縁層12に埋設されて、パッド11Pの側面及び裏面が絶縁層12に接している。このパッド11Pは、第1の金属層21と、第1の金属層21上に設けられた第2の金属層22と、第2の金属層22上に設けられ、ビア13に接続された第3の金属層23とを有し、第2の金属層22の周縁部がパッド11Pの周縁部から内側に後退している。 (もっと読む)


【課題】その製造工程の歩留まり向上する事ができるセラミック多層基板を提供する。
【解決手段】複数のセラミック製のグリーンシート(グリーンシート11A、11B、11C)を焼成して形成されたセラミック基板部2と、セラミック基板部2内部に形成された内部配線部7と、セラミック基板部2の表面に設けられた凹部5と、凹部5の内部に配置され、内部配線部7と電気的に接続されたチップ型電子部品3と、セラミック基板部2上に、湿式めっき法にて形成された金属層(第1の金属層16、第2の金属層17から形成された外部電極部9や、電子回路パターン配線部10)と、を有するセラミック多層基板1において、凹部5のチップ型電子部品3上から充填されたガラス部15、を有することを特徴とするセラミック多層基板1としたので、セラミック多層基板1の製造工程の歩留まり向上する事ができる。 (もっと読む)


【課題】平坦性によるインピーダンス整合及び設計自由度が高く、高密度実装が可能な多層配線基板及びその製造方法並びに半導体装置を提供する。
【解決手段】多層配線基板10は、基板11の上部に絶縁層12を備え、これと対称に基板11の下部に絶縁層13を備える。これらの絶縁層は、ポリイミド樹脂により形成されており、基板11に対してキャスティングによりビルドアップして形成される。ビルドアップされた絶縁層12,13のいずれか又は両方が、基板の流れ方向であるMD方向と、基板の垂直方向であるTD方向とにおいて強度を同じに設定している。 (もっと読む)


【課題】複数の層に電子部品12aを内蔵させることを可能とする。
【解決手段】積層プリント配線板3aは、第1配線板11aと、第1配線板11aに積層された第2配線板11cと、第1配線板11a及び第2配線板11cの間に配置された電子部品12aと、電子部品12aの周囲に配置されたスペーサ11bとを備える。スペーサ11bとして、片方の面にのみ配線回路23bが形成された、第1配線板11a、第2配線板11cと同様な片面基板を用いる。 (もっと読む)


【課題】リジッド部とフレキシブル部を構成する基板材料が同じでありながら、高い硬度を有するリジッド部と、屈曲性が良好で配線抵抗が低いフレキシブル部とを備えたリジッドフレキシブル基板、および、その製造方法を提供すること。
【解決手段】可撓性の絶縁性基板と、該絶縁性基板の少なくとも一方の表面に形成された導体配線層とを有するプリント基板を用いて作製され、導体配線層の密度が低いフレキシブル部と、該フレキシブル部よりも導体配線層の密度が高いリジッド部を有するリジッドフレキシブル基板であって、前記リジッド部の表面の少なくとも一部に平面電極を備え、前記平面電極が、Snを含有する第1金属と該第1金属よりも高い融点を有する第2金属との反応により生成する300℃以上の融点を有する金属間化合物を含み、前記第2金属の表面に最初に生成する金属間化合物の格子定数と前記第2金属の格子定数との差が、前記第2金属の格子定数に対して50%以上であることを特徴とする、リジッドフレキシブル基板。 (もっと読む)


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